MEMS技术

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相关机构：上海交通大学中国科学院中国科学院电子学研究所黑龙江大学更多>>
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矿用振动传感器的研究现状与发展趋势
《煤矿机械》2025年第4期96-99,共4页李文韬 钱科 张涛 
系统综述了矿用振动传感器的研究现状与发展趋势,分析了目前存在的主要问题,并对未来的发展方向进行了展望。研究表明,矿用振动传感器技术在材料、工艺、无线传感网络(WSN)和智能化设计方面取得了显著进展,未来在环境适应性、低功耗设...
关键词：MEMS技术 WSN 智能传感器 低功耗设计 智能化 
北京遥测技术研究所MEMS工程中心
《遥测遥控》2025年第2期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力...
关键词：薄膜压力传感器 遥测技术 角速率传感器 MEMS传感器 MEMS技术 洁净厂房 产品生产线 创新平台 
北京遥测技术研究所MEMS工程中心
《遥测遥控》2025年第1期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力...
关键词：薄膜压力传感器 遥测技术 高温压力传感器 加速度传感器 MEMS传感器 MEMS器件 MEMS技术 洁净厂房 
基于MEMS技术的数字波浪传感器设计
《海洋测绘》2024年第6期49-53,共5页高振斌 唐原广 赵曙东 董陆涛 
国家重点研发计划(2022YFB3207400);国家自然科学基金(42150203)。
为提升波浪传感器的性能,实现传感器的小型化,设计了一种基于微机电系统(micro electro mechanical systems,MEMS)技术的波浪传感器。该设计采用数字滤波算法对采集的波浪信号进行滤波处理,并通过姿态校正获取垂向加速度,将处理后的加...
关键词：波浪传感器 数字滤波 姿态校正 频域积分 波高统计 
基于MEMS技术的工业设备振动监测系统研究
《工业仪表与自动化装置》2024年第6期75-80,共6页信敬科 
中国职业技术教育学会教学工作委员会职业教育教学改革项目(1910318)。
随着工业设备监测节点的大规模增加以及监测时长的提升,如何在大规模振动信号中进行有效监测成为当前亟待解决的问题。因此,研究提出了一种微机电系统技术基础上的工业设备振动监测系统。通过微机电系统技术的加速度计以及哈希算法进行...
关键词：MEMS 振动信号监测 哈希算法 工业设备 信号采集 
基于MEMS技术的电子信息传感器设计与应用
《中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术》2024年第12期185-188,共4页李春丽 
在当今科技飞速发展的时代,电子信息传感器作为获取信息的关键器件,其重要性日益凸显。而基于MEMS技术的电子信息传感器更是以其独特的优势,在众多领域展现出巨大的应用潜力。本研究聚焦于基于 MEMS 技术的电子信息传感器设计与应用,旨...
关键词：MEMS技术 电子信息传感器 微型化 
硅微加速度计产品技术发展概览
《海陆空天惯性世界》2024年第12期151-152,共2页秦和平 胡利 
引言目前,无人机、巡飞弹、防空导弹、智能炮弹等先进武器在战争中被频繁使用;现代战争对双方武器装备的现代化和自主可控提出了更高的要求,对惯性传感器高精度、微型化、敏捷量产的需求更为迫切。加速度计是一种测量载体运动加速度的...
关键词：惯性传感器 牛顿第二定律 批量生产 硅微加速度计 MEMS技术 运动加速度 测量方式 自主可控 
应用微芯桩传感器的拉裂型边坡危岩体临崩倾斜变形特征现场实测研究被引量：1
《岩土力学》2024年第11期3399-3415,共17页贺铮 谢谟文 吴志祥 赵晨 孙广存 徐乐 
国家重点研发计划课题(No.2023YFC3081400,No.2019YFC1509602)。
边坡危岩体崩塌的监测预报一直是地质灾害防灾研究的重点和薄弱环节。基于微电子机械系统(micro-electromechanical system,简称MEMS)技术构建了危岩体微小倾斜角度与强振加速度的“采集-计算-传输”机制,研制了微芯桩传感器,实现了危...
关键词：拉裂型危岩体 倾斜变形 崩塌预测模型 崩塌前兆 MEMS技术 微芯桩 
MEMS技术中的电镀工艺与应用分析
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2024年第11期131-134,共4页罗乔 龚清乾 邹瑜 秦兰 
江西省教育厅科学技术研究项目“微型加速度开关齿型结构的理论模型建立与应用研究”项目编号GJJ2209315。
本文主要简单介绍了MEMS技术和电镀工艺的相关内容,阐述了MEMS技术中的电镀工艺,探讨了MEMS技术中电镀工艺的应用,旨在加强对电镀工艺的研究,满足MEMS技术的应用需求,转变传统的电镀工艺模式,实现MEMS技术制备器件的批量生产,促进器件...
关键词：MEMS技术 电镀工艺 应用 
基于MEMS技术的微型热导检测器设计与研究
《传感器世界》2024年第11期20-26,共7页冉莹玲 
热导检测器(Thermal Conductivity Detector)是气相色谱仪各种不同检测器中比较常用的一种,在石油化工、冶金、煤炭等行业内,热导检测器已是不可缺少的分析工具。文章以微型热导检测器作为研究对象,研究了微型热导传感器设计中的几个关...
关键词：热导检测器 微型化 灵敏度 电路设计 
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