MEMS器件

作品数：326被引量：577H指数：11
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北京遥测技术研究所MEMS工程中心
《遥测遥控》2025年第1期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力...
关键词：薄膜压力传感器 遥测技术 高温压力传感器 加速度传感器 MEMS传感器 MEMS器件 MEMS技术 洁净厂房 
硅微加速度计产品技术发展概览 2
《海陆空天惯性世界》2025年第1期151-152,共2页秦和平 胡利 
2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴MEMS...
关键词：真空封装 3DS 硅微加速度计 MEMS器件 随机游走 晶圆级 芯片级 工艺平台 
Au-Sn共晶键合工艺参数对MEMS器件性能的影响研究
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2024年第12期261-263,共3页戴诗歌 龚亚飞 华秀竹 翟豪 
本文研究了Au-Sn共晶键合工艺参数对MEMS(微机电系统)器件性能的影响。通过设计并优化Au-Sn共晶键合多层材料结构和密封环图形,分析了组分配比、键合前处理、键合温度等关键参数对MEMS器件气密性、剪切强度及漏率等性能指标的影响。实...
关键词：MEMS器件 Au-Sn共晶键合 工艺参数 气密性 剪切强度 漏率 
基于MEMS器件的捷联惯性导航仿真研究
《计算机与数字工程》2024年第10期2880-2885,共6页罗昊 王直 
基于MEMS陀螺仪和加速度计的工作特性,介绍捷联惯性导航系统姿态解算方法,通过对器件的姿态、速度、位置进行更新算法,之后利用载体运动得来的数据用Matlab捷联惯性导航程序进行仿真,再利用与组合导航程序进行整体对比。试验结果表明,...
关键词：捷联惯性导航 姿态解算 更新算法 MATLAB 
北京遥测技术研究所MEMS工程中心
《遥测遥控》2024年第5期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m^(2),是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压...
关键词：薄膜压力传感器 遥测技术 高温压力传感器 加速度传感器 MEMS传感器 MEMS器件 MEMS技术 洁净厂房 
MEMS器件可靠性评价标准分析及建议
《环境技术》2024年第8期23-27,共5页尹丽晶 张魁 崔波 
本文研究了MEMS器件的失效模式和失效机理,进行了归纳总结;基于其模式和失效机理,分析了MEMS器件的可靠性试验项目和相关试验标准,总结了可靠性试验现状。最后,针对以上情况对MEMS器件可靠性试验的标准体系建设和完善提出了建议,进行了...
关键词：MEMS器件 可靠性 标准 
MEMS器件湿法腐蚀工艺均匀性的提升技术被引量：1
《电子工艺技术》2024年第3期17-20,共4页闾新明 姚阳文 
针对湿法腐蚀工艺下晶圆面内均匀性大于5%、湿法工艺无法兼容低成本和高质量的难点,研究了湿法工艺各个参数对片内均匀性的影响。分别讨论了腐蚀槽温度、晶圆进出腐蚀槽时间、晶圆出腐蚀槽到进水槽的时间间隔以及腐蚀槽循环流量对8英寸...
关键词：麦克风 腐蚀均匀性 温度 时间 流量 
党建引领企业打破技术垄断
《光彩》2023年第12期55-55,共1页无 
在公司党支部的带领下,经过全体员工的不懈努力,公司现已拥有知识产权72项,荣获国家、省、市、县级相关资质20余项,打破了国外巨头的技术垄断,实现了射频滤波器技术的国产化贵州汉天下科技(集团)有限公司成立于2012年9月,是一家集半导...
关键词：综合性企业 半导体集成电路 非公企业 荣誉称号 知识产权 党建引领 MEMS器件 技术垄断 
抗高过载MEMS器件双层异质防护结构的仿真研究被引量：1
《传感器与微系统》2023年第11期15-18,共4页冯登虎 石云波 赵锐 陈玉楠 张鹏 闫晓朋 
山西省基础研究计划面上资助项目(202103021224206)。
针对MEMS器件的缓冲防护,建立了以响应加速度峰值比来评估结构缓冲性能的不同厚度比双层异质防护结构动力学响应模型。通过数值仿真,外层环氧树脂与内层聚氨酯厚度比为2︰1的双层防护结构缓冲性能最佳。其响应加速度峰值比可达到0.47,...
关键词：MEMS器件 双层异质 缓冲吸能 粘弹性材料 二阶系统 
融合卡尔曼改进小波的姿态传感器滤波方法被引量：3
《自动化与仪表》2023年第9期110-114,119,共6页王静静 秦刚 李腾 
为解决XGZT-XXX型姿态传感器输出噪声大且受复杂环境干扰的问题,该文提出基于时间序列建模的卡尔曼联合改进小波去噪的滤波方法。该方法通过建立ARMA时间序列模型作为卡尔曼滤波器的输入完成首次滤波;而后使用改进的小波模糊阈值去噪将...
关键词：MEMS器件 ARMA模型 小波模糊阈值 ALLAN方差 信噪比 
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