硅微加速度计

作品数：59被引量：114H指数：5
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硅微加速度计产品技术发展概览
《海陆空天惯性世界》2025年第2期151-152,共2页秦和平 胡利 
国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院...
关键词：MEMS加速度计 微电子机械系统 硅微加速度计 国防科技大学 仪器研究所 北京航天 技术发展现状 哈尔滨工业大学 
硅微加速度计产品技术发展概览 2
《海陆空天惯性世界》2025年第1期151-152,共2页秦和平 胡利 
2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴MEMS...
关键词：真空封装 3DS 硅微加速度计 MEMS器件 随机游走 晶圆级 芯片级 工艺平台 
硅微加速度计产品技术发展概览
《海陆空天惯性世界》2024年第12期151-152,共2页秦和平 胡利 
引言目前,无人机、巡飞弹、防空导弹、智能炮弹等先进武器在战争中被频繁使用;现代战争对双方武器装备的现代化和自主可控提出了更高的要求,对惯性传感器高精度、微型化、敏捷量产的需求更为迫切。加速度计是一种测量载体运动加速度的...
关键词：惯性传感器 牛顿第二定律 批量生产 硅微加速度计 MEMS技术 运动加速度 测量方式 自主可控 
基于PSO优化SVM的MEMS加速度计温度补偿方法研究被引量：1
《现代电子技术》2018年第10期58-62,66,共6页刘滔 徐大诚 赵鹤鸣 
国家自然科学基金重点项目(61434003);装备预研基金项目(9140A09032015)~~
温度对MEMS加速度计性能的影响至关重要。结合扭摆式硅微加速度计的结构及温度特性,采用基于自适应权重的粒子群优化算法来优化支持向量机算法,创建MEMS加速度计温度补偿模型,并利用STM32F405RG64实现实时温度补偿系统。实验结果表明,...
关键词：MEMS加速度计 扭摆式硅微加速度计 粒子群优化算法 自适应权重 支持向量机 温度补偿 
闭环硅微加速度计非线性补偿（英文）被引量：4
《中国惯性技术学报》2016年第3期394-398,共5页肖鹏 刘林 王小斌 孙俊杰 余才佳 
国际合作项目--高精度微机电系统制造技术合作研究(2011DFA72370)
为了降低闭环硅微加速度计的非线性,分析了其主要误差源并提出了相应的补偿方法。首先,分析了闭环状态下检测质量块偏离几何中心位置所造成的非线性问题,并确定了电路零位是主要误差源;其次,利用闭环反馈控制进行了非线性的优化分析;最...
关键词：加速度计 闭环模式 反馈控制 非线性补偿 
常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高被引量：5
《光学精密工程》2016年第5期1050-1056,共7页严斌 尹永刚 董景新 
总装备部十二五预研基金资助项目(No.20114113015)
考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计(MSRA)的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针对结构热膨胀导致的应力进行了建模仿真,并根据仿真结果优化设计了一种低热应力的双端固支梁的结构来降...
关键词：硅微加速度计 谐振梁 结构优化 温度补偿 零偏稳定性 
硅微加速度计温度特性分析与误差补偿被引量：7
《传感器与微系统》2016年第1期25-28,共4页王增跃 李孟委 刘国文 
兵器预研支撑基金资助项目(622010750514/5);武器装备预研基金资助项目(9140A20040514BQ04293;9140A20040515BQ04283)
环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建立温度补偿模型，对于实际工程应用至关重要。在-20-60℃温度区间，通过实验得到微加速度计的零偏...
关键词：硅微加速度计 温度影响分析 Lorentz曲线 零偏 标度因数 
基于LM_BP神经网络模型的MEMS加速度计温度补偿方法研究被引量：4
《仪表技术与传感器》2015年第11期30-33,共4页杨志梅 周小龙 徐大诚 
国家科技支撑计划(2015BAZ05750)
随着MEMS加速度计应用领域的不断广泛,其温度性能越来越受到重视。在研究扭摆式硅微加速度计结构与温度特性的基础上,采用改进LM_BP神经网络来构建MEMS加速度计的补偿模型,通过实时温度变化优化出温度补偿模型参数,进而实现实时温度补...
关键词：扭摆式硅微加速度计 神经网络 温度补偿 标度因数 零偏稳定性 
硅微电容式加速度计热致封装效应的层合分析被引量：1
《传感技术学报》2015年第7期953-957,共5页周铭 徐大诚 郭述文 
国家自然基金重点项目(61434003)
由封装结构热失配引入的应力和结构变形会对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应。为描述该效应,一种基于缩减刚度矩阵的层合板模型被用来对硅微电容式加速度计的封装进行了建模。利用经典层合理论,由计算封装热失配引入的应变和...
关键词：MEMS 硅微加速度计 热致封装效应 层合板 缩减刚度矩阵 
差分电容硅微加速度计检测电路研究被引量：5
《传感技术学报》2015年第3期347-351,共5页王猛 肖鹏 徐林鹏 王玉朝 滕霖 
国际科技合作项目(2011DFA72370);惯性十二五预研项目
针对硅微加速度计中微小差分电容检测,提出了一种基于调制解调方法的闭环检测电路,介绍了该闭环检测系统的原理框图和实现途径。分析了基于单路载波的前置电容-电压(C-V)转换电路,证明了基于相关芯片的解调方法的有效性,其解调效率仅对...
关键词：微加速度计 检测电路 差分电容 调制解调 
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