MEMS加速度计

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硅微加速度计产品技术发展概览
《海陆空天惯性世界》2025年第2期151-152,共2页秦和平 胡利 
国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院...
关键词：MEMS加速度计 微电子机械系统 硅微加速度计 国防科技大学 仪器研究所 北京航天 技术发展现状 哈尔滨工业大学 
基于温度扫描方式的MEMS加速度计温度补偿研究
《现代信息科技》2024年第23期11-14,共4页王建东 吴亚坤 徐海 朱军 
当工作环境的温度发生变化时,MEMS加速度计的误差会随之而变大。针对这种情况,采取了一种温度补偿措施:对加速度计的零偏和标度因数进行温度建模,记录一定温度范围内加速度计输出数据的变化情况,对采集到的加速度计输出数据采用最小二...
关键词：加速度计 温度补偿 温度建模 最小二乘法拟合 
基于AD7124的高精度MEMS加速度计信号处理系统
《半导体光电》2024年第5期792-797,共6页唐宇莎 张伟 郭子龙 
国家自然科学基金资助项目(61372016);北京市教育委员会科技计划重点项目(KZ201711232030);传感器北京市重点实验室开放课题基金资助项目(2022CGKF002).
为降低加速度计存在的零点漂移对测量精度的影响,满足低量程微机械(MEMS)加速度计的测量精度和漂移需求,设计了一种基于AD7124的高精度MEMS加速度计信号处理系统。以STM32F303CBT6为核心控制器,驱动高精度模/数(A/D)转换芯片AD7124进行...
关键词：微机械加速度计 AD7124 脉冲宽度调制 加权移动平均滤波 零点漂移 
基于数据驱动的MEMS加速度计自检测自校正技术研究
《计算机测量与控制》2024年第10期53-61,共9页薛健 张博亚 尹可 付杰 付洪硕 凤雷 刘冰 
国家重点研发计划(2022YFB3207504)。
MEMS加速度计是一种用于测量载体加速度的微型集成系统,已被广泛应用于生产生活中;然而MEMS器件在使用过程中易由内外因素影响出现故障,若不能及时检测故障并校正故障数据,将会使得系统无法准确感知外界环境进而导致控制出现偏差,因此...
关键词：MEMS加速度计 自检测 自校正 近传感器计算 数据驱动 
高冲击下MEMS加速度计的柔性止挡结构设计
《计量与测试技术》2024年第9期9-11,共3页李伦 陈悦 杨琴 张楚昂 何江波 刘瑞祥 
国家自然科学基金(项目名称:MEMS超声电机的行波畸变机理及抑制方法研究,项目编号:52205604);四川省自然科学基金(项目名称:高精度MEMS谐振地震检波器研究,项目编号:2022NSFSC2013)。
止挡结构是提升MEMS加速度计冲击可靠性的常用技术之一。由于在高冲击载荷作用下会发生断裂,因此,本文通过动力学仿真设计了柔性止挡结构,并将质量块上的冲击碰撞区域设计为三根柔性梁和三个止挡凸台。同时,基于ANSYS动力学模块,分析了1...
关键词：MEMS加速度计 柔性止挡 断裂失效 冲击可靠性 动力学仿真 
基于六位置法和KF的MEMS加速度计补偿方法
《现代信息科技》2024年第16期10-13,19,共5页王建东 冉国 徐海 朱军 
MEMS传感器以其体积小、廉价等优点备受关注,然而,其误差相对较高。由于相同规格的MEMS惯性传感器存在误差特性的差异,建立准确的传感器误差模型成为一项颇具挑战性的任务。低准确度的MEMS惯性传感器误差,主要涉及零偏、标准化规范影响...
关键词：六位置法 卡尔曼滤波 MEMS加速度计 标定 
一种用于MEMS加速度计温度性能提升的双质量全差分结构
《微纳电子技术》2024年第7期120-125,共6页陈鹏旭 任臣 杨拥军 
微电子机械系统(MEMS)加速度计作为应力敏感器件,很容易受到外界应力的影响,尤其是对温度应力非常敏感,MEMS加速度计的温度性能成为了制约加速度计性能提升的关键因素。为了提高MEMS加速度计的温度性能,减小温度漂移,提出了一种新型的...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 加速度计 双质量全差分结构 温度性能 有限元分析 
用于三轴MEMS加速度计的集成数字调理电路被引量：1
《微纳电子技术》2024年第6期138-147,共10页王晓 任臣 杨拥军 
基于0.18μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺,设计了一种用于三轴微电子机械系统(MEMS)加速度计的集成数字调理电路,实现了三轴加速度信号的数字后处理。该数字调理电路采用级联积分梳状(CIC)与有限冲击响应(FIR)相结合的滤波器形式,有...
关键词：数字调理电路 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 级联积分梳状(CIC)滤波器 有限冲击响应(FIR)滤波器 时分复用 温度补偿 
MEMS石英振梁加速度计数据采集与精度补偿系统设计
《导航与控制》2024年第3期34-46,共13页李波 焦舰 董鑫宇 李村 白冰 
国家重点研发计划(编号:2021YFB3201500);上海航天科技创新基金(编号:SAST2023-056)。
温度是影响石英振梁加速度计精度和稳定性的主要因素之一,工作环境温度的变化会引起加速度计精度和稳定性降低。为了提升加速度计在变温环境下的精度保持能量,可通过温度补偿技术降低由温度引起的加速度计漂移。为了实现MEMS石英振梁加...
关键词：MEMS加速度计 测频系统 数据采集 温度补偿 
一种分时差分的频率调制MEMS加速度计
《中国惯性技术学报》2024年第6期598-603,612,共7页汪鹏 黄丽斌 丁徐锴 
装备预研项目(50917020201)。
为提升MEMS加速度计温度适应性,设计了频率调制和分时差分方法。基于静电刚度效应,将敏感质量块因加速度产生的位移变化调制成谐振频率的变化,兼顾了位移检测的温度系数较低与谐振频率检测不易受电路噪声干扰的优点,且采用单个谐振器在...
关键词：MEMS加速度计 静电刚度频率调制 分时差分 
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