微电子机械系统

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应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证
《微纳电子技术》2025年第5期80-86,共7页许鹏 聂靖宇 王伟忠 李保岭 
为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊...
关键词：热泵空调系统 压力温度传感器 模块化装配 压阻式微电子机械系统(MEMS) 无引线封装 
碳化硅-玻璃-碳化硅阳极键合界面性能分析
《微纳电子技术》2025年第4期152-159,共8页刘淑文 阴旭 刘翠荣 许兆麒 于秀秀 王强 
国家自然科学基金(52375365)。
碳化硅(SiC)因其优异的高温性能和稳定性,被广泛认为是新一代高温半导体器件封装的理想材料。利用两步阳极键合工艺实现了碳化硅-玻璃-碳化硅的可靠连接。两步键合过程中,第一步和第二步中的峰值电流存在较大差异,尤其在第二步键合过程...
关键词：阳极键合 微电子机械系统(MEMS)封装 碳化硅-玻璃-碳化硅 富碳层 键合强度 
用于苯系物快速分离的微型气相色谱柱
《半导体技术》2025年第3期248-253,共6页李文博 祝雨晨 李之睿 马少杰 曾睿 赵斌 冯飞 
新一代人工智能国家科技重大专项(2018AAA0103100);上海科技创新行动计划医学创新研究专项(22Y11900600)。
苯、甲苯、乙苯和二甲苯等苯系物(BTEX)因化学性质相似、分子结构相近,通常难以快速分离。基于微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种以SE-54为固定相的含有高密度椭圆柱阵列的微型气相色谱柱(μGCC),该μGCC表面积大、深宽比高。研究结...
关键词：微型气相色谱柱(μGCC) 高密度椭圆柱阵列 快速分离 苯系物(BTEX) 微电子机械系统(MEMS) 
MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
《微纳电子技术》2025年第3期99-120,共22页杨真 陈靖元 张朕泽 祝梦娇 黄家宝 孙学成 雷冲 
广西自然科学基金面上项目(2023JJA170157);广西类脑计算与智能芯片重点实验室开放基金(BCIC-23-K8);广西师范大学研究生教育创新计划项目(JGY2023041);广西高校集成电路与微系统重点实验室开放基金(ICM-24-03)。
微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微型线圈 磁敏传感器 巨磁阻抗传感器 磁通门传感器 
硅微加速度计产品技术发展概览
《海陆空天惯性世界》2025年第2期151-152,共2页秦和平 胡利 
国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院...
关键词：MEMS加速度计 微电子机械系统 硅微加速度计 国防科技大学 仪器研究所 北京航天 技术发展现状 哈尔滨工业大学 
光纤FPI高温压力传感器的设计与仿真
《微纳电子技术》2025年第2期105-115,共11页田野 曹咏弘 吕晶 
航空发动机的内部环境严苛,为保证发动机正常运行需要实时监测压气室、燃烧室等关键部位的动态压力信号和温度信号。基于法布里珀罗干涉原理,以蓝宝石作为材料,建立了传感器整体结构模型并级联光栅结构作为温度补偿,通过理论和仿真分析...
关键词：光纤高温压力传感器 法布里珀罗干涉仪(FPI) 光栅 蓝宝石薄膜 微电子机械系统(MEMS) 
一种小体积MEMS传感器数据记录仪
《微纳电子技术》2025年第1期110-117,共8页尚义航 赵凯明 段俊萍 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(52175555);国家自然科学基金创新群体资助项目(51821003);山西省基础研究计划资助项目(20210302123074)。
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传...
关键词：传感器数据记录仪 微电子机械系统(MEMS) 小体积 高抗过载 低功耗 
采用锯齿肋壁强化硅基MEMS微通道相变换热
《微纳电子技术》2024年第12期39-46,共8页李振 王楠 周喜超 杨斌 彭勇 曲玉珊 
国家重点研发计划(2021YFB2400103);国家电网公司科技项目(527899230003)。
为提升微通道相变换热器综合性能,包括同时实现降低沸腾起始过热度、提高传热系数和抑制沸腾传热不稳定性,提出了一种具有锯齿形肋壁的硅基微电子机械系统(MEMS)微通道结构,并对常规并联微通道与锯齿肋壁微通道开展了对比实验研究。结...
关键词：锯齿肋壁 流动沸腾 微电子机械系统(MEMS)微通道 强化传热 流动不稳定性 
硅基高压电容器的制作方法
《电子工艺技术》2024年第6期19-21,共3页杨志 董春晖 王敏 王敬轩 商庆杰 付兴中 张力江 
基于微电子机械系统(MEMS)工艺,给出一种硅基高压电容器结构及工艺制作方法。设计得到了容值为2 nF、芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.3 mm的硅基电容器。研究了制作该结构的工艺方案,解决了工艺过程中的关键技术,并给出了工艺结果。最终,实现...
关键词：硅基电容器 微电子机械系统(MEMS) 高压 TSV技术 
高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
《微纳电子技术》2024年第12期81-89,共9页乔靖评 焦斌斌 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 
国家重点研发计划(2022YFB3205803)。
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程 
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