云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 刘瑞文

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高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器: 《微纳电子技术》2024年第12期81-89,共9页乔靖评焦斌斌刘瑞文孔延梅云世昌赵成圆刘鑫叶雨欣杜向斌余立航贾士奇王子龙李思博; 国家重点研发计划(2022YFB3205803)。; 真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该...; 关键词：微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器硅丝式高精度宽量程

氧化镓悬臂式薄膜日盲探测器及其电弧检测应用: 《物理学报》2024年第9期279-286,共8页张裕刘瑞文张京阳焦斌斌王如志; 国家重点研发计划(批准号:2021YFB3500403)资助的课题; 金属-半导体-金属(MSM)型氧化镓薄膜探测器的性能高度依赖于氧化镓薄膜的均匀性,工艺难度较高,对规模化、量产化薄膜探测器提出了挑战.本文首次在量产化悬臂式薄膜芯片表面物理沉积氧化镓薄膜,实现了一个五对叉指电极结构的MSM型氧化镓...; 关键词：氧化镓日盲探测器电弧检测

用于高密度三维集成的TSV设计: 《微纳电子技术》2023年第11期1857-1862,共6页乔靖评贾士奇刘瑞文焦斌斌陈静宇孔延梅叶雨欣杜向斌云世昌余立航; 国家重点研发计划(2021YFB2011700)。; 三维集成技术的发展需要高密度和高深宽比的硅通孔(TSV)阵列。由于TSV填充材料与TSV衬底材料之间的热膨胀系数不匹配,TSV在使用或加工过程中会出现严重的热应力问题,造成器件失效甚至是晶圆损坏。设计了一种具有低热应力和高深宽比的中...; 关键词：硅通孔(TSV) 三维集成热应力高密度高深宽比

惯性导航微系统三维集成研究进展被引量：3: 《微电子学与计算机》2023年第1期18-30,共13页王楷孔延梅蒋鹏杜向斌叶雨欣鞠莉娜曹志勇刘瑞文焦斌斌; 随着“摩尔定律”日趋放缓,微系统封装集成技术成为“超越摩尔”最有前景的技术之一.惯性微系统技术是在微机电系统(MEMS)基础上,将多种传感器通过异质异构集成技术,在硅基片上进行3D集成,开发出具有多种功能的芯片级的微小型电子系统,...; 关键词：MEMS 惯性器件微系统异质定位导航三维集成

一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测试方法: 《红外与毫米波学报》2019年第6期798-804,共7页刘超侯影傅剑宇刘瑞文魏德波陈大鹏; 国家自然科学基金(61601455,61874137);北京市科委重点研发计划(Z191100010618005)~~; 红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能。精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义。二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一。基于二极管型红外热探测器的...; 关键词：红外热探测器二极管电学等效测试热学参数

非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）被引量：2: 《微纳电子技术》2018年第9期617-624,共8页张强刘瑞文吕文龙侯影魏德波刘超薛惠琼傅剑宇王玮冰; National Natural Science Foundation of China(61601455,61335008);National High-Tech R&D Program of China(863 Program)(2015AA042605);Leading Cooperation Team Between Chinese Academy of Science and Peking University(XMXX201200019933); 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结...; 关键词：电压温度系数(VTC) PN结二极管红外焦平面阵列(IRFPA) 灵敏度微电子机械系统(MEMS)

晶圆级热电堆探测器测试技术的研究被引量：2: 《制造业自动化》2015年第18期1-5,共5页叶雨欣焦斌斌孔延梅刘瑞文陈志强; 国家高技术研究发展计划:具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用(SS2013AA041109);江苏省自然基金:类太阳能翼板微结构的非制冷红外焦平面阵列的研究(BK2012219); MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛,其需求量也日益增加。因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心问题。当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成本的...; 关键词：红外测试技术热电堆探测器晶圆级测试

基于可编程多轴控制器的红外传感器片上测试系统设计被引量：1: 《科学技术与工程》2014年第34期213-218,共6页叶雨欣焦斌斌孙灵芳孔延梅刘瑞文; 国家高技术研究发展计划(SS2013AA041109)资助; 探针测试台是一种传统半导体工艺中间测试设备,用于在硅片划片前测试电子器件性能、良率,并给出其在晶圆上分布的映射图表。目前国内外自动或半自动探针测试台都是针对传统IC电路设计,采用封闭式结构,无法根据传感器多变的特性、复杂的...; 关键词：可编程多轴控制器(programmable MULTI-AXIS controller PMAC) 自动探针台开放式数控系统

用PECVD制备高抗腐蚀性能SiN_x薄膜的工艺研究被引量：3: 《功能材料》2010年第11期1907-1910,共4页刘瑞文焦斌斌欧毅陈大鹏; 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z323); 研究了一种可抗高温强碱溶液腐蚀的氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积(PECVD)生长工艺。通过X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振仪、湿法腐蚀等手段分析了所生长薄膜的元素含量、折射率、抗腐蚀特性等性质随淀积工艺条件的改变所产生的...; 关键词：等离子增强化学气相淀积(PECVD) SiNx薄膜湿法腐蚀

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