晶圆级热电堆探测器测试技术的研究  

The wafer level testing research of the thermopile detector

作　　者：叶雨欣[1] 焦斌斌[1] 孔延梅 刘瑞文[1] 陈志强[3] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所,北京100029 [2]昆山光微电子有限公司,昆山214028 [3]东北电力大学自动化工程学院,吉林132012

出　　处：《制造业自动化》2015年第18期1-5,共5页Manufacturing Automation

基　　金：国家高技术研究发展计划:具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用(SS2013AA041109);江苏省自然基金:类太阳能翼板微结构的非制冷红外焦平面阵列的研究(BK2012219)

摘　　要：MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛,其需求量也日益增加。因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心问题。当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成本的一半以上。由于目前测试技术及设备的限制,其测试基本都是由人工逐一完成,从而限制了其成本。针对这一产业需求,研制一种热电堆探测器的批量化自动测试系统具有明确的市场价值。围绕热电堆红外探测器的工作特性,特别是环境温度及激励温度对器件工作的影响,构建了一套针对晶圆级红外热电堆探测器特殊测试需求的批量化测试系统。

关 键 词：红外测试技术 热电堆探测器 晶圆级测试 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]