任臣

作品数：17被引量：23H指数：3
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发文主题：微电子机械系统MEMSMEMS陀螺MEMS陀螺仪专用集成电路更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《电子设计工程》《微电子学》《半导体技术》更多>>
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用于三轴MEMS加速度计的集成数字调理电路被引量：1
《微纳电子技术》2024年第6期138-147,共10页王晓 任臣 杨拥军 
基于0.18μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺,设计了一种用于三轴微电子机械系统(MEMS)加速度计的集成数字调理电路,实现了三轴加速度信号的数字后处理。该数字调理电路采用级联积分梳状(CIC)与有限冲击响应(FIR)相结合的滤波器形式,有...
关键词：数字调理电路 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 级联积分梳状(CIC)滤波器 有限冲击响应(FIR)滤波器 时分复用 温度补偿 
应用于MEMS陀螺仪的SoC设计
《计算机测量与控制》2023年第4期295-300,共6页刘昊哲 任臣 王晓 杨拥军 
为了解决微电子机械系统(MEMS)陀螺仪体积较大、冗余的计算资源浪费等问题,对Cortex-M3内核的数据处理能力及总线架构进行了研究,设计了一款应用于MEMS陀螺仪的智能化、小型化、低功耗的片上系统(SoC);通过分析温度对陀螺输出信号的影响...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺 CORTEX-M3 集成化 片上系统(SoC) 
一种振动测量用电容式硅基MEMS加速度计被引量：4
《微纳电子技术》2023年第1期108-115,共8页王宁 杨拥军 任臣 温彦志 
为了解决目前微电子机械系统(MEMS)加速度计在振动测量领域量程小和振动测量精度低等问题,基于绝缘体上硅(SOI)加工工艺,设计并制作了一款梳齿电容式MEMS加速度计。通过提高工作模态频率和干扰模态频差,提升了加速度计振动环境适应性;...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 加速度计 绝缘体上硅(SOI) 振动测量 高精度 
高抗振双质量块硅微陀螺仪被引量：2
《微纳电子技术》2022年第6期558-563,569,共7页张志勇 杨拥军 任臣 徐淑静 付迪 
设计并制备了一种高抗振双质量块硅微陀螺仪。阐述了双质量块陀螺仪的工作原理,分析了陀螺仪抗振性能较差的原因。在此基础上,采用差分梳齿电容检测结构和双质量块耦合结构对陀螺仪敏感结构进行了优化,通过抑制线振动共模干扰信号、提...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 双质量块 立体集成封装 圆片级气密封装 
跷跷板式MEMS加速度计锚点与梁优化设计
《微纳电子技术》2022年第4期348-355,共8页任臣 杨拥军 陈鹏旭 
作为敏感外界加速度的器件,微电子机械系统(MEMS)加速度计容易受到外界应力的影响。而跷跷板式加速度计采用直梁的结构形式,其温度性能、抗冲击和过载能力都较差,在梁及其连接处会因应力集中,造成加速度计结构发生形变甚至损伤。因此为...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 跷跷板式加速度计 锚点 梁 有限元分析 
一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器被引量：2
《半导体技术》2022年第4期325-331,共7页任臣 杨拥军 
为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准...
关键词：专用集成电路(ASIC) 微电子机械系统(MEMS) 三级运算放大器 密勒补偿 高精度电容传感器 
Si MEMS陀螺仪的正交耦合补偿技术被引量：1
《微纳电子技术》2022年第2期156-161,共6页任臣 王宁 杨拥军 王晓 
为了减小正交耦合误差对硅微电子机械系统(MEMS)陀螺仪性能的影响,提高陀螺仪零偏精度,对MEMS陀螺仪正交耦合补偿技术进行研究。建立MEMS陀螺仪动力学模型,分析正交耦合产生的原因,介绍了各类正交耦合补偿机理。设计了一款可实现静电刚...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 绝缘体上硅(SOI) 正交耦合补偿 现场可编程门阵列(FPGA) 
应用于MEMS惯性器件的高精度Σ-Δ调制器被引量：1
《半导体技术》2021年第12期926-931,共6页李明昊 杨拥军 任臣 付迪 
为了实现微电子机械系统(MEMS)惯性器件的高精度数字化输出,设计了一款单环5阶Σ-Δ调制器。利用Matlab在系统级完成了Σ-Δ调制器的结构设计,确定调制器为带有零点优化的级联积分器前馈(CIFF)结构,并在Simulink中完成了调制器非理想模...
关键词：微电子机械系统(MEMS)惯性器件 Σ-Δ调制器 斩波放大器 高速动态比较器 回踢噪声 
基于SID算法的MEMS陀螺仪测控系统设计
《传感器与微系统》2019年第12期100-102,106,共4页王亚林 杨拥军 任臣 
传统的微机电系统(MEMS)微陀螺仪解调算法抗噪声能力差、硬件资源消耗多,提出了一种同步积分解调算法(SID),用于MEMS陀螺闭环测控电路中,实现了驱动/检测信号解调输出。三阶同步积分器构成解调器。仿真分析表明:SID具有更快的响应时间,...
关键词：微陀螺 同步积分解调 锁相环 自动增益控制 ΣΔ环路滤波器 
MEMS陀螺仪驱动接口ASIC设计被引量：4
《微电子学》2019年第4期529-533,共5页王亚林 杨拥军 任臣 
基于0.18μm CMOS工艺,设计了一种用于MEMS陀螺仪驱动闭环的专用集成电路,实现了MEMS陀螺仪的高精度、集成式和数字化驱动。陀螺仪采用静电力驱动,基于自激振荡原理,结合自动增益控制方法,实现了恒幅恒频振动。设计了电容/电压转换器、...
关键词：自激振荡 自动增益控制 电容/电压转换 模数转换器 
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