微陀螺

作品数：205被引量：465H指数：9
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类蛛网状盘式谐振微陀螺的抗冲击性能与结构误差仿真分析
《飞控与探测》2023年第5期14-22,共9页樊波 郭述文 
国家自然科学基金(61434003);湖南省教育厅科学研究一般项目(22C0219)。
具有导航级潜能的盘式谐振微陀螺是国际研究最热门的一类微机械陀螺,在此基础上设计了一款频率裂解小的类蛛网状盘式谐振微陀螺。通过有限元仿真软件进行了模态分析和冲击分析,仿真结果表明,类蛛网状盘式谐振微陀螺工作模态与寄生模态...
关键词：微机械 盘式谐振陀螺 抗冲击特性 结构误差 仿真分析 
芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析被引量：3
《中国惯性技术学报》2023年第9期932-939,954,共9页魏雯强 鲁征浩 陈方 申冲 石云波 曹慧亮 
国家重点研发计划(2022YFB3205000);国家自然科学基金(U2230206);国家基础加强计划技术领域基金(021-JCJQ-JJ-0315);装备发展部预研领域基金(80917010501)。
微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀...
关键词：微机械陀螺仪 敏感结构 单结构三轴 正交集成 陀螺阵列 
科氏效应微机械陀螺的驱动结构优化设计
《天津理工大学学报》2023年第4期8-14,共7页史归回 郝淑英 麦名豪 张昆鹏 张香玲 王文 
国家自然科学基金(12072234);大学生创新创业训练计划项目(202010060107)。
科氏力影响微陀螺的检测输出,从而影响陀螺仪的实际工作性能。以一种4自由度微陀螺为研究对象,在推导动力学方程的基础上,采用复指数法求解驱动及检测方向的幅频响应;考虑驱动结构参数对科氏力的影响,通过无量纲化及约束条件确定驱动结...
关键词：科氏力 微陀螺 响应面法 遗传算法 
纳米光栅三轴MOEMS陀螺设计与仿真分析被引量：3
《传感器与微系统》2023年第4期55-58,共4页罗戴钟 金丽 李孟委 
国家自然科学基金资助项目(62005253);山西省高等学校科技创新项目(2020L0267)。
设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统(MOEMS)陀螺,详细阐述了纳米光栅三轴MOEMS陀螺的工作原理,建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度。仿真结果表明:x,y,z轴陀螺结构灵敏度分别为42.76,43.63,76.79 nm/((°)·s^(-1))。对...
关键词：纳米光栅 微陀螺 三轴 单片集成 
速度反馈中时滞参数对多自由度微陀螺动态响应的影响
《天津理工大学学报》2023年第1期53-58,共6页畅兆敏 郝淑英 张昆鹏 张琪昌 李伟雄 
国家自然科学基金(12072234,11872044)。
将速度反馈控制器引入到微机械陀螺仪中,建立系统控制简化模型,通过对加入非线性刚度的系统动力学方程进行求解分析,进一步研究了时滞参数对多自由度微陀螺系统的影响规律。结果表明:时滞参数能有效调节系统检测响应的峰值和谐振频率,...
关键词：多自由度微陀螺 速度反馈 时滞参数 动态响应 
高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪
《传感技术学报》2023年第1期1-8,共8页夏敦柱 姚默晗 杜森 
国家自然科学基金项目(61871125)。
设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带...
关键词：多环盘式陀螺仪 三波腹 双闭环电路 Boost升压电路 正交误差校正 
时滞位置反馈对一类梳齿型微陀螺振动系统复杂动力学行为的控制被引量：1
《振动与冲击》2022年第20期18-27,共10页尚慧琳 蒋慧敏 秦波 
国家自然科学基金面上项目(11472176)。
以一类典型的静电驱动梳齿型微机械陀螺动力学模型为研究对象,首先,建立微陀螺结构的二自由度振动模型,并考虑微陀螺结构的实际情况对该模型进行一定的简化;其次,通过多尺度法得到主共振条件下周期解的解析形式及其稳定性,结合数值模拟...
关键词：微陀螺 振动跳跃 吸合不稳定 异宿分岔 时滞反馈控制 安全域 
多环谐振微陀螺性能参数的有限元计算
《飞控与探测》2022年第4期76-81,共6页卢浩琳 张卫平 谷留涛 冯军 
国家自然科学基金(61574093);国家重点实验室基金(614280504010317);上海市专业技术服务平台资助(19DZ2291103);上海航天技术研究院-上海交大航天先进技术联合研究中心自主项目(USCAST2016-5)。
多环谐振陀螺是目前最具发展前景的MEMS陀螺之一,如何快速对多环谐振陀螺进行参数优化设计已成为研究热点。从多环谐振陀螺的基本结构出发,通过理论研究,发现影响机械灵敏度和机械热噪声的主要结构参数为陀螺的谐振频率、有效质量、角...
关键词：多环谐振微陀螺仪 有限元(FEM) 谐振频率 角度增益 有效质量 
高精度MEMS硅微陀螺仪正交误差设计被引量：1
《微纳电子技术》2022年第8期795-800,830,共7页董晓亮 张志勇 杨拥军 
正交误差是影响振动式硅微陀螺仪测量精度的主要因素之一,设计并制备了一种具有正交误差校正功能的高精度振动式微电子机械系统(MEMS)硅微陀螺仪。阐述了振动式硅微陀螺仪的工作原理,分析了正交误差产生的机理,并介绍了正交误差对陀螺...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 硅微陀螺仪 正交误差 有限元仿真 真空封装 绝缘体上硅(SOI) 
高抗振双质量块硅微陀螺仪被引量：3
《微纳电子技术》2022年第6期558-563,569,共7页张志勇 杨拥军 任臣 徐淑静 付迪 
设计并制备了一种高抗振双质量块硅微陀螺仪。阐述了双质量块陀螺仪的工作原理,分析了陀螺仪抗振性能较差的原因。在此基础上,采用差分梳齿电容检测结构和双质量块耦合结构对陀螺仪敏感结构进行了优化,通过抑制线振动共模干扰信号、提...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 双质量块 立体集成封装 圆片级气密封装 
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