硅微陀螺仪

作品数：67被引量：187H指数：7
导出分析报告
相关领域：航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
相关作者：杨波施芹裘安萍李宏生夏敦柱更多>>
相关机构：东南大学南京理工大学哈尔滨工程大学教育部更多>>
相关期刊：《固体电子学研究与进展》《机械工程学报》《舰船电子工程》《电子测量技术》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪
《传感技术学报》2023年第1期1-8,共8页夏敦柱 姚默晗 杜森 
国家自然科学基金项目(61871125)。
设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带...
关键词：多环盘式陀螺仪 三波腹 双闭环电路 Boost升压电路 正交误差校正 
高精度MEMS硅微陀螺仪正交误差设计被引量：1
《微纳电子技术》2022年第8期795-800,830,共7页董晓亮 张志勇 杨拥军 
正交误差是影响振动式硅微陀螺仪测量精度的主要因素之一,设计并制备了一种具有正交误差校正功能的高精度振动式微电子机械系统(MEMS)硅微陀螺仪。阐述了振动式硅微陀螺仪的工作原理,分析了正交误差产生的机理,并介绍了正交误差对陀螺...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 硅微陀螺仪 正交误差 有限元仿真 真空封装 绝缘体上硅(SOI) 
高抗振双质量块硅微陀螺仪被引量：3
《微纳电子技术》2022年第6期558-563,569,共7页张志勇 杨拥军 任臣 徐淑静 付迪 
设计并制备了一种高抗振双质量块硅微陀螺仪。阐述了双质量块陀螺仪的工作原理,分析了陀螺仪抗振性能较差的原因。在此基础上,采用差分梳齿电容检测结构和双质量块耦合结构对陀螺仪敏感结构进行了优化,通过抑制线振动共模干扰信号、提...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 双质量块 立体集成封装 圆片级气密封装 
硅微陀螺仪低功耗数字相敏解调ASIC设计被引量：1
《半导体技术》2022年第3期222-230,共9页郑天涌 裘安萍 夏国明 赵阳 
国家自然科学基金资助项目(62074078)。
为了避免相敏解调引入的1/f噪声,同时进一步提高集成度、降低功耗,实现高精度硅微陀螺仪的全数字输出,设计了一种硅微陀螺仪数模单片集成电路。首先,针对已有的Σ-Δ模数转换器(ADC)交流量化方案,设计了一种基于数字滤波系统的信号链预...
关键词：硅微陀螺仪 专用集成电路(ASIC) 相敏解调 低功耗设计 1/f噪声 
基于参数激励的MEMS陀螺电馈通抑制方法被引量：2
《中国惯性技术学报》2018年第6期817-821,829,共6页赵鹤鸣 郑奋 程梦梦 徐大诚 郭述文 
国家自然科学基金重点项目(61434003)
由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰。为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统。在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐...
关键词：硅微陀螺仪 参数激励法 刚度系数 电馈通干扰 
硅微陀螺仪高精度数字化相敏解调ASIC被引量：2
《光学精密工程》2018年第9期2159-2168,共10页赵阳 夏国明 施芹 裘安萍 
国家自然科学基金资助项目(No.61701236)
为了抑制相敏解调引入的闪频(1/f)噪声,实现硅微陀螺仪的高精度片上数字化输出,设计了一种基于sigma-delta模数转换器的相敏解调ASIC。首先,提出了一种量化硅微陀螺仪驱动及检测载波信号的低闪频噪声数字化方案,建立了sigma-delta模数...
关键词：硅微陀螺仪 专用集成电路 sigma-delta模数转换 相敏解调 闪频(1/f)噪声 
基于激励-校准法的硅微陀螺仪模态匹配控制电路研究被引量：4
《传感技术学报》2018年第3期363-367,共5页吴磊 杨波 王刚 
航空科学基金项目(20150869005)
提出了一种基于激励-校准法的硅微陀螺仪实时模态匹配控制电路,利用了检测模态的幅度响应信号关于其谐振频率对称的特点,采用双边激励信号激励检测模态,通过比较双边信号的响应幅度大小来获得相应的调谐电压,实现模态匹配。介绍了静电...
关键词：硅微陀螺仪 模态匹配 激励-校准 静电负刚度 零偏 
硅微陀螺带通ΣΔ闭环检测环路设计
《传感技术学报》2017年第1期88-93,共6页祝云峰 吴志强 朱欣华 苏岩 
国家自然科学基金项目(61301214)
本文研究了SDM调制器在陀螺闭环检测中的应用,主要针对其闭环检测的结构设计和参数获取作了相应的研究和阐述。硅微机械陀螺敏感模态为二阶模态,基于SDM调制器的设计原理,结合DSToolbox来设计整个闭环检测电路,得到闭环检测电路的结构...
关键词：硅微陀螺仪 闭环检测 SIGMA delta调制器 参数获取 信噪比 
基于神经网络的多尺度多参数硅微陀螺仪研究（英文）
《传感技术学报》2016年第8期1160-1164,共5页徐韩 曾超 黄清华 
国防预先研究项目(编号涉密)
由于硅微陀螺仪工艺加工导致漂移误差进而影响INS测量精度,所以硅微陀螺仪的漂移估计成为研究的重点。硅微陀螺仪精度受多种因素的影响,因此很难对非平稳非线性输出硅微陀建立准确的误差模型。提出一种的基于小波神经网络的多尺度和多...
关键词：偏移估计 MEMS陀螺仪 神经网络 小波分析 
基于低频调制激励的硅微陀螺仪自动模态匹配技术被引量：6
《中国惯性技术学报》2016年第4期542-547,560,共7页杨成 李宏生 徐露 朱昆朋 
江苏省科技支撑计划项目(BE2014003-3);预研基金资助项目(9140A09011313JW06119)
根据二阶质量-弹簧-阻尼系统的幅频特性和相频特性关于谐振频率对称的特点,提出了一种低频振荡激励的实时模态匹配技术,根据检测模态的输出响应来判别驱动模态和检测模态的匹配程度。首先简要介绍了带频率调谐功能的双质量线振动硅微陀...
关键词：负刚度效应 硅微陀螺仪 低频振荡调制 模态匹配 自动频率调节 
全选清除导出
共7页<1234567>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部