真空封装

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一种真空封装X波段重频高功率微波系统
《强激光与粒子束》2025年第4期10-16,共7页敖宇 杨德文 滕雁 陈昌华 张锋 黄磊 
国家自然科学基金项目(12175182)。
传统上通常采用外接真空泵组来获取和维持高功率微波系统的真空状态,但这会显著增加系统的体积和重量,限制其实际应用场景。为了实现高功率微波系统的轻小型化,提升其实用性,针对X波段重频高功率微波系统,设计研制了一种真空封装装置。...
关键词：高功率微波 轻小型化 真空封装 陶瓷绝缘子 非蒸散型吸气剂泵 
硅微加速度计产品技术发展概览 2
《海陆空天惯性世界》2025年第1期151-152,共2页秦和平 胡利 
2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴MEMS...
关键词：真空封装 3DS 硅微加速度计 MEMS器件 随机游走 晶圆级 芯片级 工艺平台 
非制冷红外探测器真空寿命研究
《红外技术》2024年第12期1448-1452,共5页孙俊伟 孔祥盛 胡汉林 刘继伟 王兴祥 李松华 
非制冷红外探测器近年来在军用和民用领域快速发展,探测器的真空封装影响着组件的寿命,真空失效也是探测器最常见的失效模式。本文在非制冷红外探测器陶瓷封装的基础上,分析封装结构和工艺,以阿伦尼乌斯方程为加速寿命模型,研究吸气剂...
关键词：非制冷红外探测器 真空封装 吸气剂 环氧胶 
基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法
《传感器与微系统》2024年第10期146-149,共4页张浩威 侯虎旺 赵旸 张鹏 
国家自然科学基金资助项目(12172348)。
典型的光学检漏方法需要对整幅干涉图甚至多幅干涉图进行图像处理,过程相对复杂。本文结合MEMS器件封装结构的对称特性以及变形分布特征,提出了一种简单、快捷的十字中心定位算法。通过确定干涉图案中心点坐标,获取中心线光强分布,进而...
关键词：真空封装 激光干涉 光学检漏 十字中心定位法 
季鹰归未
《语文学习》2023年第10期57-58,共2页曹清诺 
当一包包真空封装的食品从传送带滚入集装箱里,凭借便捷的交通几小时内发往全国各地之时;当知名品牌的连锁店闪烁的霓虹灯点亮了城市的每个角落之时:那一碗驱车十个小时才能品到一口的"乡味",是否还如当年的鲈鱼羹之于张季鹰那般,对生...
关键词：知名品牌 连锁店 真空封装 集装箱 霓虹灯 传送带 吸引力 
长寿命半球谐振陀螺真空保持技术
《压电与声光》2023年第4期531-534,共4页于鑫海 刘奎 苏定宁 赵思晗 段杰 李绍良 赵万良 
半球谐振陀螺是一种高精度长寿命的陀螺仪,具有小型化和轻量化的特点,最长具备连续工作15年的能力。随着半球陀螺的长时间工作,受材料放气和焊缝漏率的影响,真空度的下降对陀螺谐振子的精度影响逐渐增大,又因陀螺轻量化的要求,需要精确...
关键词：半球谐振陀螺 真空封装 空气阻尼 放气速率 吸气剂 
浅谈立体化薄膜吸气剂如何提升除气能力
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第5期49-52,共4页韩凤芹 
随着消费类需求的日益增长,尤其是手机、智能可穿戴设备的需求,使MEMS小型化、高集成化的需求井喷式增长,很多产品中晶圆级封装技术已经逐步替代传统封装模式,部分器件因为性能的要求,封装的真空度要求很高。本文提出了一种与CMOS工艺...
关键词：晶圆级真空封装 吸气剂 立体化 侧壁面积 
热管真空灌装封装系统研制及参数优化
《上海电力大学学报》2022年第6期546-550,共5页徐蓬章 马素霞 尹建国 钱海 胡洲 吴华振 
国家重点研发计划(2020YFB0606300);山西省揭榜招标项目(202001101014)。
热管真空灌装封装技术是制作热管的关键技术。工业上运用广泛的方法是“沸腾排气法”,但该方法存在质量控制精度差和真空度不足等缺陷。常见的热管封装技术为冷焊技术,但封装过程中容易导致真空破坏。针对这些不足,研制了一种热管真空...
关键词：热管制作 真空封装 灌装方法 液压装置 
十水硫酸钠/膨胀蛭石薄膜复合相变材料的制备及性能分析
《储能科学与技术》2022年第10期3142-3150,共9页吴渝 冀志江 王永超 解帅 王静 马超 
绿色建筑材料国家重点实验室自立项目(ZA-69)。
利用膨胀蛭石(EV)丰富的孔隙结构,采取真空吸附法和薄膜真空封装技术制备了一种十水硫酸钠/膨胀蛭石薄膜复合相变材料(简称薄膜相变材料)。用扫描电子显微技术(SEM)、X射线衍射技术(XRD)、自制温度参比相变潜热测试箱等表征测试手段,分...
关键词：十水硫酸钠 膨胀蛭石 薄膜真空封装 过冷 相分离 
高精度MEMS硅微陀螺仪正交误差设计被引量：1
《微纳电子技术》2022年第8期795-800,830,共7页董晓亮 张志勇 杨拥军 
正交误差是影响振动式硅微陀螺仪测量精度的主要因素之一,设计并制备了一种具有正交误差校正功能的高精度振动式微电子机械系统(MEMS)硅微陀螺仪。阐述了振动式硅微陀螺仪的工作原理,分析了正交误差产生的机理,并介绍了正交误差对陀螺...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 硅微陀螺仪 正交误差 有限元仿真 真空封装 绝缘体上硅(SOI) 
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