激光干涉

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基于激光干涉仪的大型机床运动轴垂直度检测方法分析
《机床与液压》2025年第7期47-50,共4页刘莹 赵红 刘芳 
针对重大型机床加工范围广、运动行程长,传统方法无法有效检测任意两线性轴全行程范围内垂直度的问题,提出一种利用激光干涉仪测量机床两运动轴间对角线的方法。从原理分析了对角线垂直度检测方法的可行性,并介绍对角线垂直度检测所需...
关键词：机床运动轴 对角线 垂直度检测 激光干涉仪 
系统误差补偿接口在定位精度提升中的应用
《设备管理与维修》2025年第7期122-126,共5页代远望 李娟 
几何精度和定位精度是数控机床的重要参数。安装调试和环境因素等会影响机床的定位精度,特别是丝杆螺距误差的影响尤为明显。对设备定位精度影响大的丝杆螺距误差进行分析,采用雷尼绍XL-80型激光干涉仪进行软件误差补偿,并给出三菱M80...
关键词：误差补偿 定位精度 激光干涉仪 
扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
《中国光学(中英文)》2025年第2期224-236,共13页王新宇 李文昊 王玮 刘兆武 姜珊 周文渊 巴音贺希格 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3606100);国家自然科学基金资助项目(No.U21A20509,52275554)。
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身...
关键词：扫描干涉场曝光系统 衍射波前 工作台位移测量 双频激光干涉仪 误差分析 
基于激光干涉测量的高精度机床自动化控制系统设计
《自动化应用》2025年第5期24-26,共3页袁洪超 
设计了一种基于激光干涉测量技术的高精度机床自动化控制系统,旨在提升机床加工精度和效率。通过激光干涉仪实时获取运动误差数据,结合多轴伺服控制和神经网络误差补偿,实现纳米级定位精度。结果表明,该系统显著减小了机床误差,提高了...
关键词：激光干涉测量 机床自动化 误差补偿 纳米级精度 
基于可溯源光栅的高精度位移测量系统研究及不确定度分析
《计量学报》2025年第2期151-159,共9页高启元 施玉书 张树 史舟淼 王康 胡佳成 
国家重点研发计划(2022YFF0605501,2022YFF0605502,2022YFF0605505)。
通过构建以光栅栅距校准值作为栅距量值的可溯源光栅位移测量系统,实现量值从米定义到光栅位移测量系统的传递。分析了光栅与读数头之间的对位误差对栅距和干涉信号对比度的影响。并进行系统的静态稳定性实验和与激光干涉仪的位移测量...
关键词：几何量计量 可溯源光栅 光栅位移测量系统 对位误差 激光干涉仪 不确定度 
激光频率波动对空间引力波探测激光干涉测量的影响分析
《空间科学学报》2025年第1期179-188,共10页刘宇 张玉珠 彭晓东 赵梦园 杨震 唐文林 强丽娥 
空间引力波探测激光干涉测量系统噪声是决定探测任务成败的关键因素.激光频率噪声是最重要的噪声之一,有必要分析激光频率波动对测量结果的影响和各参数的变化对测量结果影响的百分比(重要程度).由于在地面难以模拟空间环境,仿真分析是...
关键词：引力波探测 空间激光干涉 激光干涉仿真 激光频率噪声 灵敏度分析 
凝结液膜厚度的一种激光干涉测量方法
《工程热物理学报》2025年第2期575-583,共9页苗玉祥 常立民 孙路易 侯博 王良璧 
国家自然科学基金项目(No.5206609,No.51776093);甘肃省高等学校科技成果转化项目(No.18ZCILA007)。
通过激光干涉法对竖直玻璃管内的凝结液膜厚度进行动态测量。结果表明,当加热功率较小时,液膜厚度随着管径的增大而增加,液膜的不稳定性随之增强;当加热功率逐渐增大时,液膜厚度随之先增加后减小。管径比较小时,液膜厚度随着加热功率的...
关键词：管内凝结 激光干涉 液膜厚度 
基于铌酸锂晶体的光束精密指向控制技术研究(特邀)
《光子学报》2025年第2期39-49,共11页赵卫岗 呼新荣 葛锦蔓 刁文婷 冯野 
国家重点研究发展计划(No.2022YFC2203804);重点实验室基金(No.2023-JCJQ-LB-007);陕西省重点项目(No.2023KXJ-267);国家自然科学基金(No.62071376)。
系统对比分析现有光束指向控制技术,提出了一种基于铌酸锂晶体的高精度电光光束指向控制方法。采用光轴对称结构,有效降低了电光晶体系统的有效热光系数,显著提升了器件的环境适应性能。数值计算和物理仿真证明了光束偏转的可行性。器...
关键词：空间引力波探测 激光干涉测量 光束指向控制 电光晶体 半物理地面验证 
望远镜指向抖动与波前畸变耦合的仿真分析(特邀)
《光子学报》2025年第2期50-57,共8页王鹏 张洪霄 林旭东 李明 
国家重点研究发展计划(No.2022YFC2203800)。
现有的模型中耦合噪声的提取方法精度不足,提出采用精度更高且速度较快的差分进化算法提取耦合噪声。基于该方法并结合蒙特卡洛仿真给出了满足噪声指标1 pm/Hz^(1/2)和10 pm/Hz^(1/2)@0.1 mHz~1 Hz时的望远镜出瞳波前质量与指向抖动指标...
关键词：空间引力波探测 星间激光干涉 望远镜 波前畸变 指向抖动 
基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究
《电子制作》2025年第4期93-95,共3页朱充 
由于现有的检测技术信号放大效果差,振幅测量误差大,为此开展基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究。先利用半导体激光干涉仪进行微振动信号采集,以及对采集到的信号进行预处理。然后解析出物体的微振动信号,采用多普勒信号处理方...
关键词：半导体 激光干涉仪 微振动 检测 
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