基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究  

作　　者：朱充 

机构地区：[1]南京中安半导体设备责任有限公司,江苏南京210000

出　　处：《电子制作》2025年第4期93-95,共3页Practical Electronics

摘　　要：由于现有的检测技术信号放大效果差,振幅测量误差大,为此开展基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究。先利用半导体激光干涉仪进行微振动信号采集,以及对采集到的信号进行预处理。然后解析出物体的微振动信号,采用多普勒信号处理方法提取出有用的振动信息。计算测量信号与振动位移信息之间的线性关系绘制时域波形图。最后观察图中振动信号随时间的改变情况,从而判断设备运行状态。实验结果表明,经过放大器调整后的信号,其幅值成功提升至3V,展现出了稳定的放大效果,且未观察到明显的信号失真或相位偏移现象;振幅测量的相对误差小于2.5%,实现良好的检测效果。

关 键 词：半导体 激光干涉仪 微振动 检测 

分 类 号：TH744.5[机械工程—光学工程]