激光干涉仪

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扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
《中国光学(中英文)》2025年第2期224-236,共13页王新宇 李文昊 王玮 刘兆武 姜珊 周文渊 巴音贺希格 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3606100);国家自然科学基金资助项目(No.U21A20509,52275554)。
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身...
关键词：扫描干涉场曝光系统 衍射波前 工作台位移测量 双频激光干涉仪 误差分析 
基于可溯源光栅的高精度位移测量系统研究及不确定度分析
《计量学报》2025年第2期151-159,共9页高启元 施玉书 张树 史舟淼 王康 胡佳成 
国家重点研发计划(2022YFF0605501,2022YFF0605502,2022YFF0605505)。
通过构建以光栅栅距校准值作为栅距量值的可溯源光栅位移测量系统,实现量值从米定义到光栅位移测量系统的传递。分析了光栅与读数头之间的对位误差对栅距和干涉信号对比度的影响。并进行系统的静态稳定性实验和与激光干涉仪的位移测量...
关键词：几何量计量 可溯源光栅 光栅位移测量系统 对位误差 激光干涉仪 不确定度 
基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究
《电子制作》2025年第4期93-95,共3页朱充 
由于现有的检测技术信号放大效果差,振幅测量误差大,为此开展基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究。先利用半导体激光干涉仪进行微振动信号采集,以及对采集到的信号进行预处理。然后解析出物体的微振动信号,采用多普勒信号处理方...
关键词：半导体 激光干涉仪 微振动 检测 
用于超高分辨率位移测量的迈克尔逊激光器
《宇航计测技术》2025年第1期7-12,共6页秦晓敏 刘子捷 王志洋 史航博 卢子奇 史田田 陈景标 
科技创新2030“量子通信与量子计算机”重大项目(2021ZD0303200);国家自然科学基金项目(62405007)资助。
高分辨率位移测量对于光刻机、精密加工、生物探测等领域具有重要的作用。提出一种基于迈克尔逊激光器的新型位移测量方案,与传统激光干涉方案采用电子细分干涉条纹方法不同,该方案将位移测量溯源到激光频率测量,实现位移的高分辨率测...
关键词：高分辨率 几何量测量 拍频 激光器 激光干涉仪 
基于激光干涉仪对天文底片扫描仪两轴气浮运动平台垂直度的测量
《工业控制计算机》2025年第1期4-6,9,共4页王亮亮 商正君 杨美婷 杨静 董姗 赵建海 于涌 
国家重点研发计划政府间国际科技创新合作专项(2021YFE0103400)资助;国家自然科学基金(12073062)。
上海天文台开展高精度天文底片专用扫描仪的自主研制,垂直度误差是扫描仪所用两轴线性气浮运动平台的关键技术指标之一。基于直线度的干涉测量原理,使用RENISHAW XL80激光干涉仪及光学直角尺搭建垂直度测量光路,对两轴线性气浮式运动平...
关键词：激光干涉仪 气浮运动平台 直线度 垂直度 
数控机床导轨位置误差激光干涉仪测量及分析
《现代工业经济和信息化》2024年第12期114-115,143,共3页徐艳萍 
数控机床的进给运动过程中需要把握导轨的位置,目前多是通过人工测试的方式,其明显存在精度上的不足。因此,应用激光干涉仪到数控机床导轨位置误差测量领域,对x轴轨道上以等距离方式布置测试点,并展开测试分析。研究结果表明:预测结果...
关键词：机床导轨 激光干涉仪 位置误差 公差 实验验证 
关于单频激光干涉仪非线性误差修正方法的研究
《光电子技术》2024年第4期306-310,316,共6页黄超杰 李文博 常胜利 陈玉超 徐静雯 
提出了一种针对单频激光干涉仪的误差补偿算法。该算法通过判断一个采样周期内数据量是否大于阈值来保证精度要求,从而增强算法的稳定性。同时,使用Matlab编写文中算法以及Heydemann修正法中最小二乘椭圆拟合算法进行对比,通过对比实验...
关键词：单频激光干涉仪 误差修正 非线性误差 非正交误差 
线位移传感器动态校准装置测量不确定度评定
《工业计量》2024年第6期60-62,共3页陈静 杨璐 万凌锋 刘振彪 邹成娜 
自然科学基金-科市联合项目(2022JJ90049)。
现有校准线位移传感器的方法均为静态、非连续的检测方法,存在效率低、精度差等缺陷。文章基于激光干涉仪为主标准器设计了线位移传感器的动态校准装置,并对装置进行了测量不确定度评定,结果表明该装置有效提升了校准效率及精度。
关键词：线位移传感器 激光干涉仪 动态校准 不确定度评定 
金属筛网在镓基液态金属校准激光干涉仪中引入的误差分析
《光学技术》2024年第6期730-736,共7页胡志豪 钱月 陈磊 张喆 李晶晶 张祐诚 郑东晖 
中央高校基本科研业务费专项资金(30923010934);国家自然科学基金(6200512)。
以液态金属平面作为基准标定立式激光干涉仪时,由于液态金属的高反射率会导致光强无法匹配,难以得到对比度良好的干涉图。为解决这一问题,采取利用金属筛网的衰减光强方法。该方法利用金属筛网的衍射效应来衰减光强,使得光强匹配,并进...
关键词：干涉测量 金属筛网 液面绝对检验 镓基液态金属 干涉仪误差标定 
高精度线位移传感器全自动校准装置
《上海计量测试》2024年第6期49-51,56,共4页马车 赵米锋 杨曦 朱锴 高锦东 杜龙 袁小淞 
为提高线位移传感器校准工作的效率和校准的准确度,研制一台符合国家校准规范要求的,合理、准确、高效的线位移传感器全自动校准装置,采用激光干涉仪作为长度标准,利用闭环控制的方式驱动直线运动单元做定点往复运动,上位机自动记录和...
关键词：线位移传感器 校准 自动化 激光干涉仪 
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