单频激光干涉仪

作品数：26被引量：99H指数：7
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关于单频激光干涉仪非线性误差修正方法的研究
《光电子技术》2024年第4期306-310,316,共6页黄超杰 李文博 常胜利 陈玉超 徐静雯 
提出了一种针对单频激光干涉仪的误差补偿算法。该算法通过判断一个采样周期内数据量是否大于阈值来保证精度要求,从而增强算法的稳定性。同时,使用Matlab编写文中算法以及Heydemann修正法中最小二乘椭圆拟合算法进行对比,通过对比实验...
关键词：单频激光干涉仪 误差修正 非线性误差 非正交误差 
一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究被引量：8
《计量学报》2020年第6期676-681,共6页金涛 唐一揆 乐燕芬 刘芳芳 雷李华 
国家自然科学基金(51605297,51705324);上海市自然科学基金(16ZR1423000)。
针对单频激光干涉仪在位移测量中存在的非线性误差问题,研究了一种基于几何距离最小化的Heydemann修正算法,使用Jamin干涉仪和纳米位移台搭建了验证性实验。Jamin干涉仪是一种基于平面镜的差分结构单频干涉仪,当被测物体移动时,干涉仪...
关键词：计量学 差分平面镜干涉仪 Heydemann修正 非线性误差 
基于激光光斑圆心偏移计算的导轨直线度测量被引量：2
《中国计量大学学报》2018年第4期367-372,共6页赵军 褚丹丹 许新科 郭天太 孔明 
国家自然科学基金项目(No.51476154;51404223);国家重点研发计划项目(No.2017YFF0205501);质检公益性行业科研专项项目(No.201410009)
提出了一种基于激光束光斑圆心位置偏移计算的导轨直线度测量方法,能够实现对导轨直线度的测量.从激光干涉仪发射出一束激光,打到安装在导轨移动靶标上的平面反射镜,激光束反射回来最终被CCD相机接收,获得光斑图像,多次等距离移动平面...
关键词：单频激光干涉仪 直线度 图像处理 最小二乘法 
基于USB接口的单频激光干涉仪计数卡设计被引量：3
《工具技术》2017年第12期134-136,共3页卢鹏 刘殊 刘洋 邓上 
介绍了一种基于USB总线的单频激光计数卡。重点阐述了该数据采集卡的总体设计与实现,讨论了四倍频细分辨向电路、锁存电路以及USB接口电路的设计原理与实现方案,给出了电路的仿真波形。通过测试及用户实际使用证明,该计数卡稳定性好,抗...
关键词：USB 单频激光干涉仪 数据采集 
单频激光干涉仪正交信号的高精度处理被引量：11
《光学精密工程》2017年第9期2309-2316,共8页夏豪杰 胡梦雯 张欣 
国家自然科学基金资助项目(No.51375138);国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(No.51427805)
为了提高单频激光干涉仪正交信号相位细分辨向的可靠性与重复性,本文在正交信号Heydemann误差模型和数字信号处理技术的基础上,提出一种结合误差修正和相位细分辨向技术的正交信号高精度误差补偿算法。该算法采用基于最小二乘法的矩阵...
关键词：单频激光干涉仪 正交信号 误差补偿 细分辨向 测量精度 
单频激光干涉仪采样系统设计
《科技广场》2013年第9期35-38,共4页胡高山 林淞 
国家"十二五"国家科技支撑计划<纳米位移定位控制技术和系统的研发>(编号:2011BAK15B09)
为了解决在纳米级,甚至亚纳米级高精度位移测量时,激光干涉仪测量数据读数精度不高的问题,本文将改进型的Edlen公式引进到激光干涉仪软件程序中,提高激光干涉仪的读数准度,并且扩大其工作范围。改进型Edlen公式的使用和对程序的改写,使...
关键词：激光干涉仪 数据采集系统 改进型Edlen公式 亚纳米级 
单频激光干涉仪非线性误差优化方法研究
《计量学报》2013年第2期122-127,共6页黄雷 马宏 马钟焕 杨璐 
国家863高技术研究发展计划资助项目（2007AA701203）
为减小非线性误差对单频激光干涉仪测量精度及稳定性的影响，分析了引起其非线性误差的各种因素。利用琼斯矩阵推导出该系统光学参量的数学表达式。采用常规的优化调校方法提高系统精度会带来其它参数性能降低。提出改善单频激光干涉仪...
关键词：计量学 单频激光干涉仪 非线性误差 最优控制优化调校 干涉条纹对比度 灵敏度 
单频激光干涉仪中偏振分光棱镜误差与补偿
《光学学报》2012年第F12期147-153,共7页魏勇 杨军 
国家自然科学基金（60927008,41174161）和科技部国际合作专项（2010DF22770,2011DFB11520）资助课题.
提出了单频激光干涉仪中偏振分光棱镜（PBS）误差的在线补偿方法。研究了入射条件对PBS偏振特性的影响，定量给出了斜入射时PBS的琼斯矩阵；研究了PBS的偏振误差对单频激光干涉仪的影响，通过对光源输入光偏振态和PBS入射角度的调制，...
关键词：测量 激光干涉仪 偏振分光棱镜 偏振误差 在线补偿 琼斯矩阵 
自适应系统在单频激光干涉仪上的应用研究
《计量学报》2012年第5期395-399,共5页黄雷 马宏 马钟焕 尹子 
吉林省质量技术监督局立项项目
通过对单频激光干涉仪焦平面上等倾干涉条纹的能量分析和环境因素带来的随机噪声分析，研制一种自适应系统。该系统采用了四阶累积量计算法、信号滤波和信号直流分量提取算法。实验结果表明，可有效处理噪声信号，提取信号直流分量，从...
关键词：计量学 自适应 单频激光干涉仪 直流分量 等倾干涉条纹能量 
基于FPGA的单频激光干涉仪高速相位检测器设计与实现被引量：4
《光电子技术》2012年第1期11-14,共4页闫冠屹 谌雅琴 孙利群 章恩耀 
国家科技重大专项资助项目(2009zx04012-61-02)
设计并实现了一种对正交信号进行高速相位检测的FPGA电路,并将其成功应用于自制单频激光干涉测长系统中。该电路主要采用CORDIC算法并使用流水线结构,同时为了矫正实际测量时正交信号存在的畸变,增加了信号修正处理部分。仿真和实验结...
关键词：激光干涉仪 现场可编程门阵列 相位检测 坐标旋转计算机 
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