雷李华

作品数：44被引量：85H指数：5
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供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
发文主题：光栅纳米校准计量学膜厚更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术电子电信理学更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《应用光学》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
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基于ICEEMDAN-HT的双光栅干涉间距数字化校准研究
《红外与激光工程》2024年第12期147-158,共12页朱言瑧 李智玮 刘丽琴 管钰晴 张玉杰 郭创为 李强 刘一 蔡晋辉 万军 雷李华 
计量与校准技术实验室基金项目(JLKG2024001B001);国家市场监督管理总局科技计划项目(2023MK025);国家重点研发计划项目(2021YFF0603300);上海市市场监督管理局项目(D00RJ2310);上海市优秀学术/技术带头人项目(21XD1425000)。
双光栅零差干涉的非线性因素对于信号的相位提取精度容易产生影响,进而导致干涉测距精度下降。提出了一种基于改进自适应噪声的完备集合经验模态分解融合希尔伯特变换(ICEEMDANHT)的双光栅干涉间距数字化校准方法。在经验模态分解算法...
关键词：光栅间距校准 信号处理 自溯源 平面光栅 
一种基于偏振相机的应力测量方法及其误差校正
《应用光学》2024年第6期1212-1218,共7页金能 高志山 郭珍艳 郑杰 车啸宇 袁群 朱丹 雷李华 傅云霞 
国家自然科学基金(62175107,62205148);国家重点研发计划(2022YFF0706302);上海市自然科学基金(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)。
基于Muller矩阵和Stokes矢量测量原理,提出了一种利用圆偏振光、无旋转元件的应力测量和在线误差校正方法。该方法通过偏振相机获取的光强信息计算出待测样品的相位延迟,对相位延迟进行溯源便可得到样品的应力分布。通过分析标准1/4波...
关键词：相位延迟 应力测量 波片 偏振相机 误差校正 
基于量子技术的原子沉积光栅的研究进展与典型应用
《红外与激光工程》2024年第11期224-234,共11页雷李华 梁利杰 邓晓 
国家重点研发计划项目(2021YFF0603300);计量与校准技术实验室基金项目(JLKG2024001B001);国家市场监督管理总局科技计划项目(2023MK025)。
基于量子基准的精密测量技术建立在量子力学原理上,以超越经典方法的测量精度,成为现代科技发展的重要推动力。铬原子光刻光栅基于冷原子量子态的操控技术而制备,是精密测量领域的关键元件,其制备技术与应用研究备受关注。其可作为纳米...
关键词：光栅标准物质 原子光刻 原子跃迁频率 量子基准 
基于显微原理的微区应力测量技术
《激光与光电子学进展》2024年第17期179-187,共9页郑杰 高志山 金能 郭珍艳 袁群 朱丹 车啸宇 雷李华 傅云霞 
国家自然科学基金(62175107,62205148);国家重点研发计划(2022YFF0706302);上海市自然科学基金(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)。
微区应力在印制电路板焊接、透明导电膜镀制、显微光学系统装配等过程中普遍存在,将降低器件的性能和运行安全性。现有应力测量系统适用于大尺度的光学材料,不能用于微区应力测量。针对微区应力非接触无损测量问题,提出了一种基于显微...
关键词：测量 微区 应力检测 显微技术 相位延迟 
光频梳精密测量543 nm稳频He-Ne激光波长方法研究被引量：1
《中国激光》2024年第13期87-94,共8页俞秋叶 王建波 殷聪 毕文文 雷李华 张宝武 孔明 
国家重点研发计划(2021YFF0603300);国家自然科学基金(62075165)。
报道了一种利用光频梳精密测量543 nm He-Ne激光波长的实验方法,该方法采用偏频锁定技术将1086 nm连续分布式反馈光纤激光器锁定至光学频率梳,然后通过非线性光学晶体周期性极化铌酸锂(PPLN)倍频产生高稳定的543 nm连续激光。以倍频产生...
关键词：测量 计量学 激光稳频 光学频率梳 543 nm He-Ne稳频激光 光波长测量 偏频锁定 
基于曲面拟合的光学偏折系统显示屏标定方法
《计量学报》2024年第3期419-424,共6页郭创为 管钰晴 沈瑶琼 徐瑞书 朱言瑧 刘丽琴 张玉杰 雷李华 傅云霞 
上海市自然科学基金(21ZR1483100)。
针对透射式光学偏折系统中最关键的标定环节,提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型,分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示:平面屏幕模型波前像差均方根误...
关键词：光学计量 透射式光学偏折术 显示屏标定 波前测量 曲面拟合 
基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究被引量：1
《红外与激光工程》2024年第2期90-97,共8页雷李华 张玉杰 傅云霞 
上海市自然科学基金项目(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1425000)。
光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移...
关键词：精密位移测量 光栅干涉仪 光栅矢量衍射 周期性误差 
基于改进U-Net网络的相位解包裹技术研究被引量：2
《红外与激光工程》2024年第2期120-133,共14页徐瑞书 罗笑南 沈瑶琼 郭创为 张文涛 管钰晴 傅云霞 雷李华 
国家重点研发计划项目(2021YFF0603300);上海市市场监督管理局项目(D00RJ2310);上海市在线检测与控制技术重点实验室基金项目(A04202223003)。
提出了一种结合深度学习的空间相位解包裹方法,采用基于改进U-Net网络的编码器-解码器架构,同时加入包含双向长短期记忆网络(BILSTM)的CBiLSTM模块,并且结合注意力机制,避免了典型卷积神经网络学习全局空间依赖关系的固有缺陷的同时增...
关键词：相位解包裹 深度学习 注意力机制 长短期记忆网络 卷积神经网络 
Si/SiO_(2)多层膜线宽关键参数精细化表征技术研究被引量：1
《红外与激光工程》2024年第1期151-161,共11页褚小要 沈瑶琼 刘丽琴 邹文哲 管钰晴 郭创为 张玉杰 梁利杰 孔明 雷李华 
上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1425000)。
线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利...
关键词：自溯源标准物质 SEM放大倍率 线边缘粗糙度 线宽粗糙度 多层膜线宽 
声子极化激元干涉条纹周期的精密测量研究
《红外与激光工程》2023年第12期14-22,共9页尹志珺 王振兴 李荃 宋仁康 邓晓 雷李华 
国家自然科学基金面上项目(62075165,62175188);国家重点研发计划项目(2022YFF0605502);上海张江国家自主创新示范区专项发展资金重点项目(ZJ2021-ZD-008);上海市自然科学基金面上项目(23ZR1465800)。
二维材料由于其独特的物理化学性质,对纳米光子学及光电子学的应用与发展具有重要研究价值。特别是二维材料中声子与光子耦合激发产生的声子极化激元高度局域在纳米尺度,在片上光子学的光学操控和能量传输等前沿研究领域具有极大的应用...
关键词：自溯源光栅 二维材料 声子极化激元 纳米计量 
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