高志山

作品数：116被引量：483H指数：11
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发文主题：干涉仪干涉图显微物镜自由曲面面形更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
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基于双PD采样的涡旋光干涉位移快速测量方法研究(特邀)
《红外与激光工程》2025年第3期219-227,共9页罗聪 袁群 丁辰 马燚岑 侯湘楠 杨文卓 高志山 郭珍艳 徐尧 
国家自然科学基金项目(62327814,62175107);国家重点研发计划项目(2022YFF0706302,2023YFF0720601);江苏省高校青蓝工程项目。
涡旋光干涉因具有高灵敏度和高分辨率特性可用于位移的精密测量。但现有的研究中多采用面阵探测器作为涡旋光干涉图的采集手段,受限于面阵探测器帧率,测量速度难以提高。此研究中将面阵探测器替换为高速采样的单点光电探测器。依据涡旋...
关键词：涡旋光 微位移 干涉测量 光电探测器 快速 
基于近远场结合的微结构调制像差仿真
《光学精密工程》2025年第5期716-727,共12页鲍帅 高志山 霍霄 刘秋言 乔文佑 杨文卓 袁群 郭珍艳 
国家自然科学基金资助项目(No.62327814,No.62175107,No.62205148);国家重点研发计划资助项目(No.2022YFF0706302,No.2023YFF0720601);江苏省高校青蓝工程。
基于光学成像原理的低相干显微干涉能够有效重建微结构表面的三维形貌,然而在测量高深宽比结构底部形貌的过程中探测光会受到结构调制产生波前畸变,导致测量失败。通过仿真计算能够得到微结构的像差调制规律,为其像差校正和补偿提供先...
关键词：低相干显微干涉 样品调制像差 时域有限差分 带限缩放角谱 高深宽比微结构 
一种基于偏振相机的应力测量方法及其误差校正
《应用光学》2024年第6期1212-1218,共7页金能 高志山 郭珍艳 郑杰 车啸宇 袁群 朱丹 雷李华 傅云霞 
国家自然科学基金(62175107,62205148);国家重点研发计划(2022YFF0706302);上海市自然科学基金(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)。
基于Muller矩阵和Stokes矢量测量原理,提出了一种利用圆偏振光、无旋转元件的应力测量和在线误差校正方法。该方法通过偏振相机获取的光强信息计算出待测样品的相位延迟,对相位延迟进行溯源便可得到样品的应力分布。通过分析标准1/4波...
关键词：相位延迟 应力测量 波片 偏振相机 误差校正 
基于显微原理的微区应力测量技术
《激光与光电子学进展》2024年第17期179-187,共9页郑杰 高志山 金能 郭珍艳 袁群 朱丹 车啸宇 雷李华 傅云霞 
国家自然科学基金(62175107,62205148);国家重点研发计划(2022YFF0706302);上海市自然科学基金(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)。
微区应力在印制电路板焊接、透明导电膜镀制、显微光学系统装配等过程中普遍存在,将降低器件的性能和运行安全性。现有应力测量系统适用于大尺度的光学材料,不能用于微区应力测量。针对微区应力非接触无损测量问题,提出了一种基于显微...
关键词：测量 微区 应力检测 显微技术 相位延迟 
发挥蝙蝠翼高频脉冲特性的微结构线宽超分辨测量方法
《光学学报》2024年第13期137-144,共8页徐志毅 范筱昕 张佳乐 周圣航 郭珍艳 朱丹 高志山 袁群 
国家自然科学基金(62175107,62205148,62327814);国家重点研发计划(2022YFF0706302,2023YFF0720601);江苏省高校青蓝工程。
白光显微干涉是阶跃型微结构三维形貌无损测量的经典方法,但其低通滤波特性使阶跃边缘本应突变的三维形貌被平滑,导致边缘定位困难,影响线宽参数的计算提取。当微结构深度在光源相干长度内时,蝙蝠翼效应使阶跃边缘处的复原形貌产生尖锐...
关键词：线宽测量 超分辨 白光干涉 蝙蝠翼效应 信号采样 
基于视场相关局部参数优化的复杂物像映射光学设计方法被引量：1
《红外与激光工程》2024年第7期196-204,共9页陈露 封志明 赵锦春 刘辉 陈熙源 袁群 高志山 
国家自然科学基金项目(62305160);中国博士后科学基金项目(2023M731399);江苏省卓越博士后计划项目(JB23056);国家市场监督管理总局科技计划项目(2023MK038)。
成像光学系统的观测场景愈发复杂,为了实现物方到像方复杂的投影映射,传统的光学设计方法需优化控制不同视场的像高,该方法采样追迹计算量大。文中提出采用视场相关的局部参数作为优化控制目标,由局部焦距和局部F数实现复杂物像映射关...
关键词：光学设计 物像映射 局部焦距 局部F数 角分辨率 
白光显微干涉测量曲面样品形貌误差的校正方法
《应用光学》2024年第2期422-429,共8页李赫然 袁群 范筱昕 张佳乐 马剑秋 乔文佑 高志山 郭珍艳 雷李华 傅云霞 
国家自然科学基金(62175107,62205148);国家重点研发计划(2022YFF0706302);上海市自然科学基金(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)。
白光显微干涉术在平面阶跃型结构的形貌测量中具有显著优势。但在测量斜率变化的曲面样品时,由于物镜数值孔径的限制,样品表面反射光随着斜率的增大而减弱,干涉信号对比度降低,导致形貌测量结果的误差增大。基于表面传递函数(surface tr...
关键词：白光显微干涉仪 表面传递函数 表面形貌测量 误差校正 逆滤波算法 
时空域共轭干涉复函数耦合的双波长干涉算法
《红外与激光工程》2024年第4期183-193,共11页成金龙 朱立砚 陈露 杨忠明 高志山 袁群 
国家自然科学基金项目(62105116,62175107,62205148);江苏省高校2023年“青蓝工程”项目;江苏省高等学校基础科学(自然科学)研究面上项目(21KJB140004)。
为从双波长莫尔条纹中提取合成波长干涉信息以扩展测试量程,提出了时空域共轭干涉复函数耦合算法。利用干涉图间时域相移与空域载频的转换,低载频时分离频谱以获取时空域复函数,经共轭耦合提取合成波长干涉图,且不引入其他干涉信息。干...
关键词：测量 干涉 傅里叶变换 双波长 莫尔条纹 
融合光学椭率判据的自由曲面望远镜设计方法
《光子学报》2024年第3期74-90,共17页黄静 许宁晏 邹宇通 乔文佑 伦旭磊 孔梅梅 陆辰熙 高志山 袁群 
国家自然科学基金(No.U1931120);江苏省青蓝工程。
光学椭率是联系天文望远镜光学设计与暗物质探测科学目标的一项核心性能指标,然而目前还没有将椭率作为指标融入光学系统优化设计过程的完整方法。提出了一种融合光学椭率判据的自由曲面望远镜光学设计方法,依据椭率与彗差、像散等非旋...
关键词：光学设计 自由曲面 光学椭率 节点像差 ZERNIKE多项式 
基于局部焦距追迹计算优化的广角镜头设计方法被引量：2
《光子学报》2024年第3期91-99,共9页陈露 刘辉 封志明 陈熙源 张帆 许宁晏 袁群 高志山 
国家自然科学基金(No.62305160);中国博士后科学基金(No.2023M731399);江苏省卓越博士后计划(No.JB23056);国家市场监督管理总局科技计划项目(No.2023MK038)。
将焦距的内涵由零视场拓展至全视场,局部焦距可被用来表征各视场处极小视场角增量光线对应的像高增量,畸变则等效为随视场变化的局部焦距。继而,将局部焦距引入光学系统的设计过程用于畸变的表征与控制,可获得算测融合的效果。针对鱼眼...
关键词：光学设计 局部焦距 光线追迹 广角镜头 
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