微位移

作品数:642被引量:2101H指数:17
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相关作者:谭久彬宫金良张彦斐高健李孟委更多>>
相关机构:中国科学院哈尔滨工业大学浙江大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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基于双PD采样的涡旋光干涉位移快速测量方法研究(特邀)
《红外与激光工程》2025年第3期219-227,共9页罗聪 袁群 丁辰 马燚岑 侯湘楠 杨文卓 高志山 郭珍艳 徐尧 
国家自然科学基金项目(62327814,62175107);国家重点研发计划项目(2022YFF0706302,2023YFF0720601);江苏省高校青蓝工程项目。
涡旋光干涉因具有高灵敏度和高分辨率特性可用于位移的精密测量。但现有的研究中多采用面阵探测器作为涡旋光干涉图的采集手段,受限于面阵探测器帧率,测量速度难以提高。此研究中将面阵探测器替换为高速采样的单点光电探测器。依据涡旋...
关键词:涡旋光 微位移 干涉测量 光电探测器 快速 
微夹持器夹持力的测量和控制技术研究
《传感器与微系统》2025年第3期33-36,共4页钟俊杰 崔良玉 韩建鑫 胡高峰 崔华程 
天津市科技计划资助项目(20YDTPJC00640);天津市教委科研计划资助项目(2022ZD030)。
为实现微型器件的装配和操作,设计了一种微夹持器,最大行程224.62μm。通过位移和力的标定,分析夹持过程,得到力和位移的关系式。并建立Prandtl-Ishlinskii逆模型与系统级联,消除了系统的迟滞现象,实现输入输出线性化。实验结果验证了...
关键词:微夹持器 压电驱动器 Prandtl-ishlinskii模型 微位移 夹持力 
基于双层三维太赫兹超材料的多功能传感器
《光电工程》2024年第10期41-48,共8页邓光晟 郭澳然 程新奇 杨军 蔡斐 
国家重点研发计划资助项目(2023YFF0719403);国家自然科学基金资助项目(62001150);安徽省自然科学基金资助项目(2208085MF160)。
传感器作为集成化器件中至关重要的部分,其多功能性越来越受到重视。本文介绍了一种基于双层三维谐振结构耦合的太赫兹超材料多功能传感器。传感装置包括上下两层聚酰亚胺薄膜基底,附着在下层聚酰亚胺薄膜基底上的石墨层,以及在石墨层...
关键词:三维超材料 多功能测量 折射率 微位移 
离子推力器C-C复合栅多工况热态微位移研究
《真空》2024年第5期90-96,共7页高斌 李娟 陈娟娟 李如月 王彦龙 
国家自然科学基金(No.62371213);甘肃省自然科学基金项目(No.22JR5RA784)。
针对LIPS-100离子推力器C-C一体化复合栅极组件设计问题,利用热特性计算模型开展栅极热力学特性研究。采用Workbench瞬态热分析法研究了两种曲面朝向的C-C栅极热性能参数,并与传统金属钼栅进行了对比分析。结果表明:等工况、等球面构型...
关键词:离子推力器 栅极组件 C-C复合材料 热形变位移 
膜片式液压微位移执行器设计与特性分析
《液压与气动》2024年第9期18-24,共7页贺伟 国凯 孙杰 
国家自然科学基金面上项目(52175419);山东省自然科学基金(ZR2020ME159);泰山学者特聘专家项目(ts20190975)。
微位移执行器是实现高精度控制的关键装置,广泛应用于精密伺服系统、芯片生产以及超精密加工领域。针对传统微位移执行器结构复杂、输出力小、行程短等问题,提出基于帕斯卡原理的膜片式液压微位移执行器。首先,建立了复合载荷下执行器...
关键词:微位移 膜片式 液压执行器 
基于小波阈值滤波和S-G滤波相结合的激光自混合干涉微位移重构
《强激光与粒子束》2024年第8期9-16,共8页尤亚强 李鑫涛 刘晖 和丹 
陕西省秦创原“科学家+工程师”队伍项目(2023KXJ-129);西安工程大学柯桥纺织产业创新研究院暨西安工程大学(柯桥)研究生创新学院产学研协同创新项目(19KQYB12)。
在半导体激光器自混合干涉(SMI)微位移测量中,相位信息的准确提取对于位移的高精度重构至关重要。然而,测量噪声会对SMI信号引入相位误差,位移重构精度较低。针对信号去噪问题,小波阈值去噪算法能够滤除多数信号的噪声,但该算法在SMI信...
关键词:自混合干涉 相位展开 位移重构 小波阈值滤波 Savitzky-Golay滤波 
高精度磁栅式隧道磁阻微位移传感器
《微纳电子技术》2024年第4期121-127,共7页李旺 解琨阳 金丽 景宁 钟毓杰 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
利用隧道磁阻(TMR)效应设计了一种结构相对简单的磁栅式高精度微位移传感器。首先,介绍了磁栅式隧道磁阻位移传感器检测原理,凭借隧道磁阻传感器高灵敏度的特点检测磁栅敏感轴上方的空间磁场,接着利用COMSOL有限元仿真软件对磁栅结构进...
关键词:微位移传感器 隧道磁阻 磁栅 细分插值电路 高分辨率位移检测 
量子自旋调控的微位移检测系统设计与测量被引量:1
《计量学报》2024年第4期465-470,共6页李中豪 刘雨奇 张浩 刘鑫 张家璇 
国家自然科学基金(62103385)。
以氮空位(NV)色心磁强计为基础,量子自旋调控为技术手段,结合空间梯度磁场的均匀变化,实现基于固态量子自旋的高精度微位移检测。首先,通过永磁体构建均匀变化的梯度磁场,并获得梯度磁场与位移的关联关系;其次,搭建量子自旋调控系统,并...
关键词:几何量计量 微位移 固态量子自旋 氮空位色心 磁强计 拉姆齐 
基于光纤内窥镜图像的标定方法
《光通信技术》2023年第6期72-76,共5页范庆辉 欧峰 袁彪 文勇 
光纤内窥镜被广泛应用于复杂结构狭小空间里的破坏损伤探测,但因其固有特性及外界噪声影响致使采集到的图像呈现蜂窝网格状,且存在30%左右的桶形畸变。针对此问题,提出了一种基于光纤内窥镜图像标定方法,首先设计了可自由移动的标定系统...
关键词:光纤内窥镜 标定系统 畸变矫正 微位移 
基于压电陶瓷的并联六自由度平台的位姿控制模型与验证被引量:2
《现代制造工程》2023年第7期143-149,共7页蔡如岩 刘曰涛 姜佩岑 于长松 韩振 付连壮 
国家自然科学基金资助项目(51805299)。
针对传统电机驱动的小型Stewart平台无法达到纳米级定位的问题,设计了一种基于压电陶瓷的并联六自由度平台。该平台采用球副连接、对称分布及单层结构的设计,起到提升小型Stewart平台的定位精度的目的。通过分析并联六自由度平台定位原...
关键词:压电陶瓷 微位移 定位原理 位姿控制模型 并联六自由度平台 
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