微位移传感器

作品数:61被引量:233H指数:9
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高精度磁栅式隧道磁阻微位移传感器
《微纳电子技术》2024年第4期121-127,共7页李旺 解琨阳 金丽 景宁 钟毓杰 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
利用隧道磁阻(TMR)效应设计了一种结构相对简单的磁栅式高精度微位移传感器。首先,介绍了磁栅式隧道磁阻位移传感器检测原理,凭借隧道磁阻传感器高灵敏度的特点检测磁栅敏感轴上方的空间磁场,接着利用COMSOL有限元仿真软件对磁栅结构进...
关键词:微位移传感器 隧道磁阻 磁栅 细分插值电路 高分辨率位移检测 
具有温度补偿的高精度FBG微位移传感器的设计、制作及性能研究被引量:8
《光子学报》2021年第9期116-124,共9页陈振威 陈焕权 史雯慧 李建宇 郑加金 韦玮 
国家自然科学基金(No.62075100)。
为克服现有光纤布拉格光栅传感器设计结构复杂、温补误差大等缺陷,设计并制作了一种基于弹簧与滑块相结合的结构简单且高精度光纤布拉格光栅位移传感器,在一根光纤上获得温度补偿的同时,实现了高精度微位移测量,极大的减小了空间占用。...
关键词:光纤布拉格光栅 光纤传感器 位移传感器 高精度 温度补偿 
基于ADA2200的开关电容微位移传感器信号处理电路研究被引量:5
《南京理工大学学报》2018年第6期693-699,共7页林天衣 李武森 陈文建 戚永军 郑南 肖悦 
国家自然科学基金(U1531138)
为实现天文望远镜子镜之间微小位移的精密测量,采用信号处理电路去除噪声影响。采用基于开关电容技术的驱动与检测器和以ADA2200为中心的位移信号解调方法,设计了主要电路模块。电容检测模块包含了开关电容驱动和电容/电压(C/V)转换电...
关键词:主动光学 开关电容 微位移传感器 天文望远镜 电容检测 同步解调 采样模拟技术 
一种高灵敏度和宽调谐范围的水滴形微位移传感器研究
《激光杂志》2018年第6期23-25,共3页陈金华 方晓惠 
提出了一种具有高灵敏度和宽调谐范围的水滴形微位移传感器。该装置中,弯曲一根商用的单模光纤,该光纤的两端分别穿过两根紧靠并粘附在第一个调整架上的金属细管后,构成一个水滴形结构。由于弯曲的光纤内存在双折射,当宽带光源发出的光...
关键词:水滴形结构 微位移传感器 光纤弯曲诱导双折射 
高精度弓型光纤光栅微位移传感器被引量:13
《光学精密工程》2018年第3期556-564,共9页谭跃刚 陈宇佳 李瑞亚 毛健 刘芹 
国家自然科学基金资助项目(No.51375358)
为了测量控机床结构件、微加工工作台的微小变形量,设计了一种高精度弓型光纤布拉格光栅(FBG)微位移传感器。将光纤布拉格光栅的栅区部分粘贴在弓型上下壁处,当弓形件发生变形时,可测出上下壁的应变值,从而测得位移值并进行温度解耦。...
关键词:光纤传感 光纤光栅 微位移传感器 高精度 温度补偿 
用半导体微位移传感器测量磁致伸缩系数被引量:1
《大学物理》2017年第9期35-37,43,共4页倪敏 张一帆 郑源明 董琳 赵彩安 
简述磁致伸缩及其参数测量原理,设计了用半导体应变计取代常用的铝丝电阻应变片,研制成新型的半导体微位移传感器,并用标准长度量具对微位移传感器进行定标,从而直接测量出材料在磁场中微小长度变化量.既解决了原先教学实验不能随意更...
关键词:半导体应变片 磁致伸缩 半导体微位移传感器 
基于S型结构的光纤光栅微位移传感器的研究
《光通信技术》2016年第11期30-33,共4页周晓影 康娟 王小蕾 桑涛 
国家自然科学基金(61405185)资助
提出了一种特殊的光纤光栅传感器,该传感器在s型结构上刻写而成。在实验中,监测传感器透射光谱中的波谷特征波长实现微位移的测量。为了获取精准的测量数据,实验选取在1533.06nm(dipl)和1564.57nm(dip2)两处的干涉谷的特征波...
关键词:光纤光栅传感器 长周期光纤光栅 S型结构 微位移测量 
基于FPGA的平面螺旋电感式微位移传感器系统被引量:3
《传感器与微系统》2016年第6期66-68,共3页马文卓 陈向东 丁星 
基于平面螺旋电感和现场可编程门阵列(FPGA)技术,系统设计了一种以频率为输出的电感式微位移传感器,实现了电感式传感器的数字化输出与检测。系统主要由位移/电感转换模块、电感检测电路、差频模块、FPGA四部分组成,并在FPGA系统中搭...
关键词:平面螺旋电感 微位移传感器 现场可编程门阵列 3P5609AL1 
新型磁敏微位移传感器的研制
《数字技术与应用》2016年第4期86-86,共1页骆扬 李杰 田跃 
随着工业自动化的提高,纺织业,机器人,列车轨迹检测,工程中的桥梁中需要高精度抗干扰能力强的位移传感器,位移传感器工业有了突飞猛进的发展。为应对当前工业中迫切要求的高精度、低误差且抗干扰性强的微位移传感器,我们提出了基于单片...
关键词:高精度 抗干扰性强 单片机 传感器 
基于Otto结构的光纤SPR微位移传感器被引量:2
《光通信技术》2016年第4期30-32,共3页王雁茹 赵春柳 康娟 
国家自然科学基金(批准号:Nos.61505194)资助;浙江省国际科技合作专项项目(2013C24018)资助
提出一种基于Otto结构的高灵敏度光纤表面等离子体共振(SPR)微位移传感器。通过有限元分析软件COMSOL Multiphysics ULTIPHYSICS对该传感器的传感特性进行了理论数值研究,分析了表面等离子体共振波长与位移变化的关系。
关键词:表面等离子体共振(SPR) 光纤 微位移传感器 灵敏度 
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