白光干涉

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通过白光干涉仪观察不同参数下CO_(2)点阵激光烧蚀甲面的变化
《基础医学与临床》2025年第3期354-359,共6页马红艳 王宏伟 
目的评估不同CO_(2)点阵激光参数对甲面微小治疗区(MTZ)形成的影响,并比较不同仪器对这些区域效果的观察。方法本研究在牛甲样品上应用60种不同的CO_(2)点阵激光参数组合,包括脉宽100~1000μs和功率10~60 W。随后,通过光学显微镜、倒置...
关键词：CO_(2)点阵激光 甲通道 热效应 白光干涉仪 
垂直扫描白光干涉轮廓测量的抗振恢复算法
《工具技术》2025年第3期154-160,共7页李泽昊 曲通 肖宇 刘晓军 
针对垂直扫描白光干涉轮廓测量精度与其垂直扫描干涉图像轴向定位精度的紧密关系,由于物镜驱动器定位精度及外界环境振动等因素的影响,实际轴向位置与其设定值存在一定偏差。本文基于白光干涉测量原理以及激光相移干涉技术,分析像素点...
关键词：白光干涉 轮廓测量 抗振 有效计算区域 最小二乘迭代 
基于灰度-高度映射的快速白光干涉在位测量
《中国科学：技术科学》2024年第11期2131-2142,共12页孟定坤 朱志伟 黄鹏 
国家自然科学基金项目(批准号:52105454,52275437,U2013211);中央高校基本科研业务费专项(编号:30921013102,30922010912);江苏省创新支撑计划(软科学研究)专项(编号:BZ2023058)资助项目。
为了提高微结构加工中的在位测量效率,本文提出一种基于白光干涉原理的微结构光学表面形貌快速在位测量方法.该方法仅采集特定轴向间隔的两幅干涉图像,进而通过所构建的灰度-高度映射关系实现微结构表面形貌的快速重建,避免了传统轴向...
关键词：微结构 在位测量 白光干涉 表面重建 
小色散啁啾光纤光栅制作及其色散测量方法研究
《中国激光》2024年第22期169-176,共8页姚霁峰 张钰民 高轶 田婧 宋言明 
北京学者计划(BJXZ2021-012-00046)。
小色散啁啾光纤布拉格光栅(CFBG)用于全光纤飞秒激光系统中振荡器腔内色散的补偿,决定了飞秒激光输出的脉冲宽度和脉冲质量。基于大啁啾相位掩模技术与高阶高斯函数切趾结合的折射率调制深度优化方法,在受限栅区长度下,获得了中心波长为...
关键词：啁啾光纤光栅 相位掩模 迈克耳孙白光干涉 色散测量 
应用于非本征光纤Fabry-Perot传感器的自适应FFT解调算法特性分析
《光学学报》2024年第22期1-9,共9页姚琼 娄睿哲 谢志敏 刘政 夏霁 王付印 熊水东 陈虎 
国防科技基础加强计划(2019-JCJQ-ZD-026-00)。
提出一种基于白光干涉的自适应快速傅里叶变换(FFT)解调算法,用于非本征光纤Fabry-Perot(F-P)传感器的信号解调。通过自适应调整实际采集光谱的采样长度,自适应FFT解调算法能够精确计算反射光谱的本征频率,对传感器相位正交解调信号进...
关键词：白光干涉 相位解调 快速傅里叶变换 非本征光纤Fabry-Perot传感器 自适应性 
坐标统一用三棱台标准器设计与精度分析
《机械工程学报》2024年第22期204-211,共8页程真英 龚文超 刘云龙 黄强先 李瑞君 
为解决具有深孔、微槽、弧面等复杂特征微器件的高精度测量问题,需要采用微纳米接触式测头和白光干涉测头进行复合测量。而在这两种测头构成的复合测量系统中,现有标准器无法对其进行高精度的坐标统一。因此,根据两种测头的测量原理,提...
关键词：标准器 坐标统一 复合测量 微纳米接触式测头 白光干涉测头 
白光干涉测量系统的测量不确定度评定
《中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术》2024年第10期0183-0186,共4页张永刚 
在新时期的社会发展下,随着我国工业水平的快速提升,使得越来越多的精密设备材料应运而生,为我国日常生产生活提供便利的同时,也能够进一步推动我国社会发展。而白光干涉测量系统是新时期社会发展下一种完善的、科学的测量技术,作为一...
关键词：白光 干涉测量系统 测量 不确定度评定 
基于区域定向上采样的白光干涉拟合算法
《光学学报》2024年第20期94-102,共9页周辰 万新军 韦晓孝 戴振秋 何晓冰 
国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项(2021YFF0700400)。
针对白光扫描干涉测量(SWLI)技术易受环境和扫描器件的非线性振动等影响,提出一种基于区域定向上采样的垂直扫描算法。首先,通过高精度光栅尺获得测量对象的实际扫描位置,然后对图像帧进行排序,利用重心法对相干峰进行粗略定位;然后,使...
关键词：测量 白光干涉 最小二乘估计 抗振测量 上采样 
针对曲面光学元件的五轴表面形貌测量系统结构参数标定
《激光与光电子学进展》2024年第17期204-212,共9页杨俊 沈毅君 刘嘉宇 温荣贤 任明俊 苏榕 
国家重点研发计划变革性专项课题(2019YFA0706701);国家自然科学基金项目(52175477);国家自然科学基金青年科学基金项目(52305546);国家自然基金合作研究项目(U22A20176);上海市高新技术领域项目(22511102103)。
针对曲面光学元件的表面形貌测量,将自研扫描白光干涉测头集成到Moore五轴运动平台上构建了一套五轴白光干涉测量系统。为了实现自动化测量,研究了该系统的运动学模型并解得逆运动学方程组。对于逆运动学方程组中的未知参数,提出一种使...
关键词：扫描白光干涉技术 表面形貌测量 五轴白光干涉测量系统 运动学模型 参数标定 
接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合
《光学精密工程》2024年第17期2698-2707,共10页程真英 徐东见 张成瑶 刘云龙 李瑞君 
国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004902);国家自然科学基金资助项目(No.52175506)。
针对复合测量中两测头空间坐标系不统一的问题,提出了基于标定器提供基准点结合单位四元数法求解空间变换矩阵的坐标统一方法,并以均方根误差(RMSE)来评估坐标统一的效果。设计并制作了一种新型标定器,为坐标统一提供稳定可靠的基准点,...
关键词：接触式测头 白光干涉测头 复合测量 坐标统一 数据融合 
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