表面形貌测量

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基于电磁力的气浮触针位移传感器动态参数调控方法研究
《仪表技术与传感器》2025年第3期1-5,10,共6页祁博洋 常素萍 张国庆 刘尚军 
国家自然科学基金(51675207)。
基于气浮触针位移传感器的动态模型,分析动态特性的影响因素,研究基于电磁力的动态特性调控方法,并通过实验验证了该方法的可行性。实验结果表明:该方法能有效调控气浮触针位移传感器的动态特性参数;当线圈电流从1.0 A增大至1.8 A时,阻...
关键词：表面形貌测量 气浮触针 动态特性 电磁调控 
基于四波横向剪切干涉的表面形貌测量方法
《激光技术》2024年第6期906-912,共7页董正琼 黄贤文 徐仁 祝仁龙 周向东 聂磊 
国家自然科学基金资助项目(51975191);湖北省科技创新人才基金资助项目(2023DJC048)。
为了解决传统四波横向剪切干涉测量系统中特定分光器件存在的加工难度高、光谱适用范围受限等问题,利用空间光调制器替代分光光栅将入射光分为4束横向剪切相干子波,通过灵活调整光栅的折射率来调制子波衍射效率以适应照明光源,再根据子...
关键词：测量与计量 表面形貌测量 四波横向剪切干涉 空间光调制器 光程差重建 
针对曲面光学元件的五轴表面形貌测量系统结构参数标定
《激光与光电子学进展》2024年第17期204-212,共9页杨俊 沈毅君 刘嘉宇 温荣贤 任明俊 苏榕 
国家重点研发计划变革性专项课题(2019YFA0706701);国家自然科学基金项目(52175477);国家自然科学基金青年科学基金项目(52305546);国家自然基金合作研究项目(U22A20176);上海市高新技术领域项目(22511102103)。
针对曲面光学元件的表面形貌测量,将自研扫描白光干涉测头集成到Moore五轴运动平台上构建了一套五轴白光干涉测量系统。为了实现自动化测量,研究了该系统的运动学模型并解得逆运动学方程组。对于逆运动学方程组中的未知参数,提出一种使...
关键词：扫描白光干涉技术 表面形貌测量 五轴白光干涉测量系统 运动学模型 参数标定 
宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量
《光学精密工程》2024年第17期2625-2634,共10页刘乾 密乐 黄小津 
国防科工局技术基础科研项目(No.JSZL2022212B001)。
传统白光干涉测量方法对振动干扰非常敏感,振动干扰会引起扫描步长误差,进而降低白光干涉的测量精度。为抑制振动干扰的影响,提出一种三点反正弦的白光干涉测量算法。三点反正弦法将干涉图序列中每相邻三幅分为一组,利用扫描过程中干涉...
关键词：表面形貌测量 白光干涉测量 粗糙度 振动 
面向微光学元件表面形貌测量的涡旋相移数字全息技术
《中国光学（中英文）》2024年第4期852-861,共10页薛一梦 刘丙才 潘永强 房鑫萌 田爱玲 张瑞轩 
陕西省科技厅项目(No.2023KXJ-066);陕西省教育厅项目(No.23JY034);陕西省自然科学基础研究计划项目(NO.2024JC-YBMS-523)。
非接触、无损害的相移数字全息技术对微光学元件检测具有独特优势。因传统的相移数字全息技术需要对相移器进行精细控制和繁琐校准,同时其光路易受到机械振动干扰,导致全息再现像的质量降低。本文借助涡旋光特殊的相位分布,提出了一种...
关键词：涡旋相移 数字全息显微 螺旋相位板 相位重建 
白光显微干涉测量曲面样品形貌误差的校正方法
《应用光学》2024年第2期422-429,共8页李赫然 袁群 范筱昕 张佳乐 马剑秋 乔文佑 高志山 郭珍艳 雷李华 傅云霞 
国家自然科学基金(62175107,62205148);国家重点研发计划(2022YFF0706302);上海市自然科学基金(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)。
白光显微干涉术在平面阶跃型结构的形貌测量中具有显著优势。但在测量斜率变化的曲面样品时,由于物镜数值孔径的限制,样品表面反射光随着斜率的增大而减弱,干涉信号对比度降低,导致形貌测量结果的误差增大。基于表面传递函数(surface tr...
关键词：白光显微干涉仪 表面传递函数 表面形貌测量 误差校正 逆滤波算法 
基于宏微复合标定的跨尺度零件测量方法
《光学学报》2024年第6期269-281,共13页宋瑞 张益华 崔海华 
国家重点研发计划(2021YFB3401704);航空科学基金资助项目(2022Z072052002)。
为了实现对跨尺度零件微小结构的尺寸精度和定位精度的同时测量,提出一种基于宏微复合标定的测量方法。建立不同尺度传感器组合式测量的标定模型,利用变焦扫描显微系统测量零件微尺度特征,利用双目系统测量定位显微设备,从控制坐标转换...
关键词：表面形貌测量 跨尺度 多传感器方法 点云拼接 
基于交叉变异PSO算法的形貌测量系统误差补偿
《工具技术》2024年第2期155-160,共6页王浩 常素萍 张国庆 祁博洋 
国家自然科学基金面上项目(52075222)。
触针表面形貌测量系统具有高精度、高分辨率、稳定可靠和动态特性好等优点,在生产和科研中发挥着重要作用。但其杠杆结构造成的非线性误差,在大量程测量时会显著增大误差,影响测量精度。本文基于粒子自身的亲和力和浓度选择交叉变异提...
关键词：表面形貌测量 触针位移传感器 非线性误差补偿 新型粒子群算法 
融合共焦与变焦测量技术的复杂表面测量方法被引量：1
《华中科技大学学报（自然科学版）》2023年第10期1-5,共5页刘晓军 黄进康 柴常春 
国家自然科学基金面上项目(51975233)。
对于复杂多样性的表面,共焦测量法和变焦测量法均只能测量特定的区域信息,不能提供全局的最优测量.针对此问题,基于结构照明显微成像技术,提出了一种融合共焦测量技术与变焦测量技术的复杂表面测量方法.该方法通过建立坐标统一的双模式...
关键词：表面形貌测量 共焦测量 变焦测量 数据融合 表面置信度评价 
用于表面形貌测量的扫描白光干涉技术进展被引量：8
《激光与光电子学进展》2023年第3期60-80,共21页苏榕 刘嘉宇 乔潇悦 简振雄 张政 温荣贤 陈成 任明俊 朱利民 
科技部国家重点研发计划(2022YFE0204800);中国科学院国际伙伴计划项目(181231KYSB20200040);国家自然科学基金(62105204);上海市高新技术领域项目(22511102103)。
扫描白光干涉术是目前最精确的表面形貌测量技术之一,被广泛应用于工业与科研领域。从发明至今的三十余年间,在精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造领域的需求牵引下,该技术不断取得新的进展与突破。本文从技术应用、方法和算法创...
关键词：测量 白光干涉术 表面形貌 计量学 光学成像 干涉显微术 先进制造 
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