刘乾

作品数：16被引量：61H指数：5
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发文主题：显微物镜色散白光干涉物镜显微镜更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《工具技术》《应用光学》《机电技术》《制造技术与机床》更多>>
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宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量
《光学精密工程》2024年第17期2625-2634,共10页刘乾 密乐 黄小津 
国防科工局技术基础科研项目(No.JSZL2022212B001)。
传统白光干涉测量方法对振动干扰非常敏感,振动干扰会引起扫描步长误差,进而降低白光干涉的测量精度。为抑制振动干扰的影响,提出一种三点反正弦的白光干涉测量算法。三点反正弦法将干涉图序列中每相邻三幅分为一组,利用扫描过程中干涉...
关键词：表面形貌测量 白光干涉测量 粗糙度 振动 
数学形态学区域分割的快速相位解包裹算法被引量：10
《光学精密工程》2021年第11期2724-2733,共10页李梦霞 曹博 卢佳玮 崔凯华 刘乾 
科学挑战计划项目(No.TZ2018006-0205);中物院超精密加工技术重点实验室基金项目(No.ZM18009)。
相位解包裹是光学干涉测量的关键环节,要求计算速度快、精度高、适应性强。根据包裹相位不同级次间存在明显边界的特点,本文提出数学形态学区域分割的快速相位解包裹算法。首先,采用数学形态学提取边界并分割相位区域。然后,计算区域之...
关键词：干涉测量 相位解包裹 数学形态学 区域分割 
液体透镜的透射波前特性研究
《应用光学》2021年第2期339-345,共7页卢佳玮 袁道成 刘乾 
中国工程物理研究院院长基金(YZJJLX2017007)。
液体透镜是一种新型光学元件,通过改变表面曲率而调整光焦度。液体透镜的透射波前质量会影响成像质量,将液体透镜应用于精密光学系统需要探明其透射波前变化特性。通过理论和仿真分析液体透镜通光孔径内不同高度入射光线的光程差随曲率...
关键词：光学测量 液体透镜 透射波前 光程差 
双波长干涉显微镜波长的双约束标定被引量：2
《光学精密工程》2021年第4期656-664,共9页刘乾 黄小津 李璐璐 张辉 
科学挑战计划项目(No.TZ2018006-0205);中国工程物理研究院院长基金资助项目(No.YZJJLX2017007);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.ZM18009)。
作为测量的精度来源,双波长干涉显微镜的光波长需要精确标定以溯源至长度基准。本文提出了一种基于两个光波长之间关系、波长与长度基准之间约束的标定方法。理论分析得到了表面重构误差与波长误差之间的关系,认为表面跳变与高度对两个...
关键词：精密测量 干涉显微镜 双波长干涉 波长标定 
任意正弦调制的正弦移相干涉波面测量方法被引量：1
《红外与激光工程》2019年第3期201-208,共8页刘乾 何建国 岳晓斌 
国家核科学挑战计划(JCKY2016212A506-0107);国家自然科学基金(51605454);中国工程物理研究院超精密加工实验室基金(ZZ15008);中国工程物理研究院院长基金(YZJJLX2017007)
针对正弦移相干涉(SinPSI)中位相调制无法精确控制的问题,提出了一种从时域频谱提取波面信息的任意正弦调制SinPSI方法(ASM-SinPSI)。首先,根据SinPSI信号频谱的第一、三个谱峰强度关系确定调制幅度,并采用空间随机点的方法避免了分母...
关键词：波面测量 正弦移相干涉 位相调制 
光学表面微缺陷的高对比度暗场成像检测方法被引量：5
《机电技术》2019年第1期86-87,108,共3页张璇 宋德林 张涛 刘乾 耿鹏武 
提出了一种新型的暗场显微成像方法(环状孔径显微术,Circular-Aperture Microscopy,CAM)用于光学加工表面的缺陷检测。该方法的关键在于,在CAM物镜中心放置一个遮挡片用于消除照明直射光的影响,而缺陷的散射光能够通过物镜的环状透射区...
关键词：光学元件加工 缺陷检测 暗场显微成像 
白光干涉仪传递函数的成因分析及其非线性研究被引量：2
《红外与激光工程》2017年第6期13-18,共6页刘乾 袁道成 何华彬 吉方 
国家自然科学基金(51605454);科学挑战专题(JCKY2016212A506-0107);中国工程物理研究院预先研究项目
为提高光学表面的功率谱密度检测精度,研究了白光干涉仪仪器传递函数(ITF)的产生机理和标定方法。将白光干涉仪作为非相干成像系统,对正弦表面干涉光强进行Bessel函数展开,通过干涉光强的频谱强度变化研究白光干涉仪对正弦表面高度的作...
关键词：光学表面测量 功率谱密度 白光干涉仪 仪器传递函数 
可实现误差估计的移相量计算方法被引量：1
《光学精密工程》2016年第10期2565-2571,共7页刘乾 袁道成 何建国 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.ZZ15008);能力提升课题资助项(No.2015B0405)
针对移相干涉仪中移相器的标定,提出了一种基于干涉图计算移相量的迭代方法。该方法分为两步:首先假设移相量已知,构建三元最小二乘方程计算位相;然后假设位相已知,构建二元最小二乘方程计算移相量,同时依据三角函数关系和遍历原则,建...
关键词：移相干涉仪 移相器 标定 误差估计 迭代算法 
基于频域分析的抗振移相干涉测量被引量：5
《光学精密工程》2015年第1期252-259,共8页刘乾 王洋 吉方 何建国 张连新 
国家科技重大专项资助项目(No.2013ZX04006011)
针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法。该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相...
关键词：移相干涉术 确定性加工 振动 频域分析 现场测量 
线性色散设计的光谱共焦测量技术被引量：9
《强激光与粒子束》2014年第5期52-57,共6页刘乾 王洋 杨维川 袁道成 
中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2010B0203026)
研制了高精度的光谱共焦位移测量系统并完成相关测试。基于色差理论和材料优化选择设计一种色差与波长成线性关系的色散物镜,有助于平衡系统在全测量范围的灵敏度。理论分析了系统参数对系统的影响规律,计算了针孔尺寸与系统的分辨率和...
关键词：光谱共焦 光学设计 色差 精密测量 位移传感器 
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