干涉显微镜

作品数：63被引量：103H指数：5
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基于多波长干涉的瞬态轮廓检测Mirau显微镜被引量：1
《光子学报》2024年第1期57-65,共9页龚玉婷 吕鑫 刘维 孔明 
浙江省自然科学基金(No.LY21E050016);国家自然科学基金(No.51775528)。
针对单波长Mirau干涉显微镜存在测量范围小和2π模糊等问题,提出了多波长Mirau偏振干涉显微镜,以实现微观轮廓的大动态范围测量的和表面粗糙度等显微结构的瞬态检测。系统利用R、G、B三个单色LED光源实现多波长干涉;利用彩色偏振相机获...
关键词：多波长干涉 瞬态检测 偏振成像 Mirau干涉显微镜 误差校正 
用于瞬态微观轮廓检测的Mirau偏振干涉显微镜被引量：5
《仪器仪表学报》2022年第2期92-99,共8页吕鑫 王道档 阮旸 孔明 许新科 
浙江省自然科学基金(LY21E050016,LY17E050014);国家自然科学基金(51775528)项目资助
基于PZT移相的传统Mirau干涉显微镜存在采样时间间隔长、易受外界环境扰动影响以及对比度不可调等问题,提出了用于瞬态微观轮廓检测的Mirau偏振干涉显微镜。系统利用线栅偏振片作为偏振分束器,实现偏振分光和条纹对比度的可调,以满足不...
关键词：Mirau干涉显微镜 可调对比度 偏振相机 误差校正 瞬态检测 
双波长干涉显微镜波长的双约束标定被引量：2
《光学精密工程》2021年第4期656-664,共9页刘乾 黄小津 李璐璐 张辉 
科学挑战计划项目(No.TZ2018006-0205);中国工程物理研究院院长基金资助项目(No.YZJJLX2017007);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.ZM18009)。
作为测量的精度来源,双波长干涉显微镜的光波长需要精确标定以溯源至长度基准。本文提出了一种基于两个光波长之间关系、波长与长度基准之间约束的标定方法。理论分析得到了表面重构误差与波长误差之间的关系,认为表面跳变与高度对两个...
关键词：精密测量 干涉显微镜 双波长干涉 波长标定 
用显微镜检查时应注意哪些事项
《健康忠告》2020年第6期261-261,共1页黄波 
显微镜是人类进入到原子时代的标志,它可以将一个全新的微生物世界在人类的视野中展现,人们可以通过它观看到数以百计的“新的”微小动物、植物等各种不同东西的内部结构。科学家们还能通过显微镜发现许多新物种,有助于临床医师治疗疾病...
关键词：干涉显微镜 生物显微镜 声学显微镜 显微分光光度计 倒置显微镜 暗视野显微镜 显微镜检查 偏振光显微镜 
基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究被引量：4
《光学仪器》2017年第2期1-7,共7页牛渊 张敏 王俊杰 徐永祥 
南京理工大学本科生科研训练"百千万"计划国家级项目(201510288069)
基于显微白光干涉术,利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图,并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合,台阶总高最大...
关键词：白光干涉 干涉显微镜 重心法 空间频域算法 移相算法 包络曲线拟合法 微光栅 
高精度表面粗糙度图像识别系统的研制被引量：2
《计量与测试技术》2017年第1期34-35,38,共3页谈冬兴 朱岳辉 徐新华 
本文研究的是一套通过干涉显微镜成像,利用CCD相机提取干涉条纹进行图像识别和处理,实现高精度工件表面粗糙度快速、非接触、自动化的检测系统。该系统在干涉显微镜的结构基础上,安装了CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到...
关键词：干涉显微镜 粗糙度 干涉条纹 图像识别 
一种便携式光学表面轮廓仪
《光学仪器》2016年第2期178-184,共7页张瑜 陈宇琪 陈磊 
国家自然科学基金资助项目(U1231111)
研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用...
关键词：短相干光相移干涉 表面轮廓 干涉显微镜 粗糙度 
传统计量光学仪器的拓展应用
《中国计量》2015年第3期115-116,共2页张金红 
在几何量计量领域,经典传统计量光学仪器名目繁多。随着检测手段的不断提高,一些更先进的检测设备替代了传统经典光学仪器,如三坐标测量机已基本替代了工具显微镜的大部分测量功能,高精度测微仪替代了光学计,袖珍触针式表面粗糙度测量...
关键词：光学仪器 万能工具显微镜 光切显微镜 三坐标测量机 光学计 测量功能 干涉显微镜 检测设备 拓展应用 测头 
基于空间频域算法的三维微观形貌的测量被引量：5
《光电工程》2014年第8期16-21,共6页徐永祥 张乾方 刘松松 刘义 
2012年江苏省"百千万计划"资助项目
白光干涉术测量表面形貌,解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域算法,具有受噪声影响小、计算精度高的优点。运用这一算法通过Mirau扫描干涉显微镜对台阶状样品表面进行了两次白光扫描测试,得出了台阶...
关键词：白光干涉 空间频域算法 三维形貌 干涉显微镜 
基于载频条纹分析的自定标相移数字全息显微术(英文)被引量：3
《中国激光》2013年第12期204-210,共7页徐振南 钟金钢 
国家自然科学基金(61077003)
相移误差在很大程度上影响着相移数字显微全息的测量精度。相移误差可大致分为数值误差和不均匀误差两类。相移器的标定错误和环境震动都能产生不可忽略的数值误差,因此自定标相移数字全息是值得探究的。提出了一种基于载频条纹分析方...
关键词：全息 数字全息 全息干涉仪 相位测量 干涉显微镜 
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