高精度表面粗糙度图像识别系统的研制  

The Development of Image Recognition System with High Precision Surface Roughness

作　　者：谈冬兴 朱岳辉 徐新华[1] 

机构地区：[1]南京市计量监督检测院,江苏南京210049

出　　处：《计量与测试技术》2017年第1期34-35,38,共3页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：本文研究的是一套通过干涉显微镜成像,利用CCD相机提取干涉条纹进行图像识别和处理,实现高精度工件表面粗糙度快速、非接触、自动化的检测系统。该系统在干涉显微镜的结构基础上,安装了CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到的图像进行滤波、判别、二值化处理、提取边缘轮廓,并按照GB/T 1031-2009《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值》的要求进行计算,得到被测工件的表面粗糙度。经实验验证,该检测系统满足Ra值(0.01~0.1)μm和Rz值(0.1~1.0)μm测量要求,适用于高精度工件的表面粗糙度测量。

关 键 词：干涉显微镜 粗糙度 干涉条纹 图像识别 

分 类 号：TP391.41[自动化与计算机技术—计算机应用技术]