移相干涉仪

作品数:22被引量:46H指数:4
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相关领域:机械工程电子电信更多>>
相关作者:陈磊朱日宏吴栋左芬何勇更多>>
相关机构:南京理工大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所上海大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关期刊:《工业计量》《电子测量技术》《仪表技术》《Optoelectronics Letters》更多>>
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基于振频逆解算的高抗振移相干涉仪系统设计
《图像与信号处理》2024年第3期281-288,共8页胡俞喆 
本文设计并研制了一款具有高抗振性功能的移相式激光面型干涉仪系统。该系统通过快速获取连续非线性移相后获取样件干涉图组,并对其进行振频逆解算分析,自动判断干涉条纹图受振动干扰情况,筛选出受振动干扰相对较小的高质量干涉图组,可...
关键词:移相干涉仪 振频逆解算 高抗振 
抑制移相干涉仪中相干噪声的多模光纤扩展光源研究被引量:4
《光学学报》2022年第19期1-8,共8页胡晨辉 陈磊 黄晨 马致遥 钱月 张喆 李若琨 郑东晖 
国家自然科学基金(62005122,U1731115);江苏省自然科学基金(BK20200458);江苏省研究生科研与实践创新计划(KYCX20_0263)。
激光干涉仪中光学元件上的瑕疵、气泡和脏点等会在干涉图中引入类似“牛眼环”的相干噪声。为解决这一问题,提出一种基于多模光纤扩展光源的相干噪声抑制方法。该方法利用扩展光源抑制相干噪声,选择最优多模光纤纤芯保证良好的干涉条纹...
关键词:光纤光学 干涉测量 菲佐干涉仪 扩展光源 相干噪声 散斑 信噪比 
激光平面移相干涉仪示值误差测量结果不确定度评定被引量:1
《工业计量》2020年第S01期66-67,共2页谯梁 冉庆 龚柯安 
激光平面移相干涉仪是以干涉测量技术为核心的光学计量仪器,它具有高精度、高灵敏度、快速高效、非接触无损伤等特点。文章对该仪器应用于平面镜平面度测量时,对影响测量结果的各个影响量进行详细而全面地分析,为国家平面度量值传递提...
关键词:激光平面移相干涉仪 测量不确定度 平面度量传 
再论立式移相平面干涉仪
《计量技术》2019年第8期40-43,共4页张成悌 付天坤 龚柯安 
文章首先指出移相平面干涉仪普遍存在的问题,即该仪器测量平面度时存在量值不统一的问题,其测量不确定度与其测量重复度极不相匹配,主要是该仪器给不出其标准平晶在相应各点的多截面平面度偏差,无法进行修正,而是用控制标准平晶的平面...
关键词:立式移相干涉仪 卧式移相干涉仪 多截面平面度 球面度 球面样板 
集成光学移相干涉仪的研制与性能表征
《红外与激光工程》2019年第4期224-228,共5页郝寅雷 丁君珂 陈浩 蒋建光 孟浩然 刘欣悦 
浙江省自然科学基金(LY17F050007);深圳市科技计划项目(JCYJ20170816172409618)
干涉仪是综孔径望远镜的核心器件,与传统的分立元件干涉仪相比,集成光学移相干涉仪结构紧凑,用于构建综合孔径望远镜能显著优化望远镜结构并提高系统稳定性。文中报道了二氧化硅基集成光学移相干涉仪的设计和制作,并给出了对这种器件主...
关键词:移相干涉仪 综合孔径望远镜 集成光学 光波导 
移相干涉仪的改进方法与实现被引量:3
《物理实验》2017年第10期53-57,共5页王婷 赵云 孙文卿 王军 吴泉英 
江苏省"六大人才高峰"项目资助(No.2015-DZXX-026);苏州科技大学校科研基金项目资助(No.XKQ201513)
通过安装视频采集软件,从监视窗口记录相移过程.再从捕获视频中选出一组相移干涉图,经过相位计算,可得到波面分布.介绍了数据处理流程,编写了相关程序.将本方法与Zygo干涉仪MetroPro的计算结果进行了比较,φ_p和φ_(RMS)偏差分别为0.00...
关键词:移相干涉 视频采集 Zernike多项式拟合 
一种用于相移干涉仪的高压放大电路被引量:3
《电子测量技术》2017年第8期217-220,225,共5页段源鸿 韩森 唐寿鸿 卢庆杰 
基于自主研制高精度数字化相移干涉仪的需求,针对干涉仪的压电陶瓷移相器设计了一种高压放大电路。通过双极性运算放大器OP07构成低噪声,非斩波稳零的低压放大电路与中功率线性三极管MJE340和MJE350构成高压放大电路进行直流耦合,结合...
关键词:移相干涉仪 压电陶瓷 高压放大电路 运放OP07 功率三极管 
新型移相量块干涉仪的研制被引量:9
《计量学报》2017年第3期257-261,共5页张旭东 刘香斌 王世婕 王振华 吴月艳 
基金项目:中国计量科学研究院基本科研业务费(AKY1329;AKY1617)
研制了一台用于0.5~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量...
关键词:计量学 量块测量 移相干涉仪 相位解包裹 小数重合法 
可实现误差估计的移相量计算方法被引量:1
《光学精密工程》2016年第10期2565-2571,共7页刘乾 袁道成 何建国 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.ZZ15008);能力提升课题资助项(No.2015B0405)
针对移相干涉仪中移相器的标定,提出了一种基于干涉图计算移相量的迭代方法。该方法分为两步:首先假设移相量已知,构建三元最小二乘方程计算位相;然后假设位相已知,构建二元最小二乘方程计算移相量,同时依据三角函数关系和遍历原则,建...
关键词:移相干涉仪 移相器 标定 误差估计 迭代算法 
大口径PZT移相干涉仪的几个关键技术被引量:1
《光学学报》2014年第13期232-236,共5页武旭华 陈磊 
基金项目:江苏省自然科学基金青年基金(BK20140984)、南京信息工程大学校科研基金($812034001)
以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象,研究以压电陶瓷(PZT)实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案,主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试、大口径波面测试技术、移相器在线测试等关键技术,...
关键词:测量 光学测试 大口径干涉仪 PZT移相 关键技术 
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