光学元件加工

作品数：20被引量：65H指数：5
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相关领域：机械工程电子电信更多>>
相关作者：张学军王健许乔程健陈明君更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院中国工程物理研究院哈尔滨工业大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《中国工程物理研究院科技年报》《金属加工（冷加工）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金陕西省教育厅省级重点实验室科研与建设计划项目陕西省自然科学基金四川省科技计划项目更多>>
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氟化钙抛光加工工艺及进展被引量：1
《航空制造技术》2022年第13期14-25,共12页彭云峰 杨磊 刘晓阳 
国家自然科学基金项目(52075463);深圳市科技计划项目(JCYJ20210324122001003)。
氟化钙(Calcium fluoride,CaF_(2))晶体是一种非常重要的光学晶体,因其具备高透射率和良好的长期辐射稳定性被广泛应用于光学仪器中。随着光刻技术向较短波长的发展,CaF_(2)更是成为极紫外光刻物镜的首选材料。CaF_(2)是一种典型的脆性...
关键词：氟化钙(CaF_(2)) 脆性材料 光学元件加工 超精密加工 抛光技术 
熔石英光学元件加工亚表面缺陷检测及抑制技术研究进展被引量：8
《机械工程学报》2021年第20期1-19,共19页陈明君 王会尧 程健 赵林杰 杨浩 刘启 谭超 尹朝阳 杨子灿 丁雯钰 
国家自然科学基金(51775147,51705105);基础加强(2019JCJQzDxx00);科学挑战计划(TZ2016006-0503-01);哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室自主课题(SKLRS201718A,SKLRS201803B);中国科协“青年人才托举工程”(2018QNRC001)资助项目。
熔石英材料因具有硬度大、热膨胀系数低、透射光谱范围广等良好的机械性能和热学、光学特性,广泛应用于国防、航天等领域中关键光学元件的制造。作为一种典型的硬脆材料,在传统的研磨抛光加工中,不可避免地会引入亚表面层的微裂纹、划...
关键词：熔石英元件 亚表面缺陷 磨削机理 检测技术 缺陷抑制 
基于C-T模型的光学元件加工表面的光学特性研究被引量：6
《光学技术》2021年第2期172-177,共6页王金海 李华 魏力 
基于C-T模型对光学元件加工表面微观形貌的双向反射分布函数(BRDF)进行了分析研究,针对光学元件精密切削表面建立了微观形貌仿真模型,利用Matlab软件仿真并分析了入射光参数和表面微观参数对BRDF的影响。结果表明,相同微观形貌参数下,B...
关键词：几何光学 双向反射分布函数 微观形貌 多次散射 
机器人气囊抛光SiC光学元件加工特性研究被引量：11
《西安交通大学学报》2020年第12期22-29,共8页黄智 周涛 吴湘 刘海涛 万勇健 郑晓 
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0500400);四川省科技计划资助项目(2020YFG0407)。
针对碳化硅光学元件已有的化学机械抛光、磁流变抛光、电化学抛光和催化剂辅助抛光等方式存在材料去除率低、成本高等问题,提出机器人气囊抛光方法,并对气囊抛光特性、抛光头机械结构进行了研究。首先基于Preston理论和赫兹接触理论以...
关键词：气囊抛光 碳化硅 去除函数 抛光头 
石英玻璃的高效可控精密磨削机理研究被引量：1
《金属加工（冷加工）》2020年第8期I0029-I0029,共1页王伟 王军(指导) 姚鹏(指导) 
本文针对目前石英玻璃光学元件加工效率低,塑性域磨削难以实现的问题,研究了石英玻璃的高效可控精密磨削机理。从材料的力学响应机理及磨粒与工件接触区的应力状态入手,研究了石英玻璃磨削过程中的材料去除机理。建立了单颗磨粒划擦石...
关键词：磨削过程 磨削工艺 材料去除机理 石英玻璃 磨削机理 临界函数 光学元件加工 裂纹损伤 
工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究
《激光杂志》2020年第8期201-204,共4页夏良静 
四川省统计局项目(No.2018GZL03)。
传统的数学模型无法将输入功率控制在合理的范围内,为此提出工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究。运用普林斯顿线性方程标定工艺参数,再运用对称算法计算光学元件加工精度误差。完成上述工作后,依据傅立叶变换理论,确定数学...
关键词：工艺参数 输入功率 光学元件 加工精度 数学模型 抛光模 
铜反射镜车削刀纹修抛工艺技术研究
《光学技术》2020年第4期495-501,共7页陈翔翔 李宏 郭忠达 阳志强 刘嘉缘 
陕西省重点研发计划项目(2017ZDXM-GY-122);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(18JS052)。
单点金刚石车削技术虽然可以使铜反射镜获得较好的表面粗糙度,但同时也产生了车削刀纹,刀纹引起镜面光的散射现象,严重影响系统的光学性能。为研究去除铜反射镜车削刀纹的修抛工艺最佳参数,采用4因素4水平正交实验法,通过ZJP350平面精...
关键词：应用光学 光学元件加工 去除车削刀纹 阻尼布修抛 正交实验 
液浮法抛光优化技术被引量：4
《光学技术》2019年第2期251-256,共6页弥谦 秦琳 李宏 郭忠达 
装备发展部共用技术项目(41423020111);陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(18JS052);陕西省科技厅重点研发计划项目(2017ZDXM-GY-122)
一种新的光学元件表面抛光工艺—液浮抛光技术,采用具有剪切增稠效应的非牛顿流体作为抛光液,流体在抛光区域形成液膜,实现对工件表面高效、低损伤的加工。以材料去除量以及工件表面粗糙度作为评价指标,利用正交实验法对K9玻璃抛光过程...
关键词：光学元件加工 液浮抛光法 剪切增稠液体 正交实验 极值法 
基于非牛顿流体新型液浮法抛光技术研究被引量：3
《应用光学》2019年第2期223-228,共6页秦琳 弥谦 李宏 
装备发展部共用技术项目(41423020111);陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(18JS052);陕西省科技厅重点研发计划项目
提出一种新的柔性抛光技术——液浮法抛光,通过软件仿真及实验对其进行探索性研究。针对抛光液为具有剪切增稠效应的流体,利用软件对该类液体的液浮法抛光技术模型进行流场分析,得到液浮抛光模型的流场压强、剪切力分布情况。仿真结果表...
关键词：光学元件加工 液浮抛光技术 剪切增稠 fluent流场分析 
光学表面微缺陷的高对比度暗场成像检测方法被引量：5
《机电技术》2019年第1期86-87,108,共3页张璇 宋德林 张涛 刘乾 耿鹏武 
提出了一种新型的暗场显微成像方法(环状孔径显微术,Circular-Aperture Microscopy,CAM)用于光学加工表面的缺陷检测。该方法的关键在于,在CAM物镜中心放置一个遮挡片用于消除照明直射光的影响,而缺陷的散射光能够通过物镜的环状透射区...
关键词：光学元件加工 缺陷检测 暗场显微成像 
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