光栅干涉仪

作品数：41被引量：92H指数：6
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光栅干涉精密纳米测量技术被引量：2
《光学精密工程》2024年第17期2591-2611,共21页李星辉 崔璨 
广东省基础与应用基础研究基金资助项目(No.2021B1515120007);深圳市稳定支持计划项目(No.WDZC20231124201906001);国家自然科学基金资助项目(No.62275142)。
光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数...
关键词：精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿 
基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究被引量：1
《红外与激光工程》2024年第2期90-97,共8页雷李华 张玉杰 傅云霞 
上海市自然科学基金项目(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1425000)。
光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移...
关键词：精密位移测量 光栅干涉仪 光栅矢量衍射 周期性误差 
基于单路利特罗型光栅干涉仪的超精密位移测量技术研究被引量：2
《计量科学与技术》2024年第2期40-45,75,共7页朱宏宇 吴益泽 冯婧桐 林子超 禹静 薛栋柏 邓晓 程鑫彬 
国家重点研发计划项目(2022YFF0605502,2022YFF0607600);国家自然科学基金面上项目(62075165)。
基于光栅干涉仪的超精密位移测量技术是先进制造领域的关键共性技术,采用更高刻线密度的光栅是提升光栅干涉仪测量精度与分辨率的有效途径。随着电子束制备光栅技术的提升,采用电子束加工高刻线密度光栅(大于3000线/mm)作为测量基准是...
关键词：计量学 精密位移测量 光栅干涉仪 电子束直写光栅 激光干涉仪 利特罗衍射 
基于光栅干涉仪的暗场成像的Cramér-Rao下界
《中国医学物理学杂志》2023年第9期1105-1113,共9页刘波 陈子涵 顾瑶 陈恒 王志立 
国家自然科学基金(U1532113,11475170,11905041);中央高校基本科研基金(PA2020GDKC0024,JZ2022HGTB0244)。
在光栅相衬成像中,通常使用相位步进法进行数据采集和信息提取。然而,对于相位步进法在提取暗场信号的算法效率还没有得到充分的评估。本研究引入Cramér-Rao下界对提取暗场信号的算法效率进行评估。基于理论分析和数值计算发现目前完...
关键词：暗场成像 光栅干涉仪 Cramér-Rao下界 可见度 
双三角形相位光栅X射线干涉仪的条纹可见度
《物理学报》2023年第14期305-315,共11页陈子涵 宋梦齐 陈恒 王志立 
国家自然科学基金(批准号:11475170,U1532113,11905041);中央高校基本科研业务费(批准号:JZ2022HGTB0244);安徽省自然科学基金(批准号:2208085MA18)资助的课题。
X射线光栅干涉仪成像需要高条纹可见度以获得高信噪比图像.最近的报道证实,X射线双矩形相位光栅干涉仪实验测量的条纹可见度较低.为此,提出了基于双三角形相位光栅X射线干涉仪的条纹可见度研究.利用X射线双相位光栅干涉仪的强度变化规律...
关键词：X射线成像 光栅干涉仪 三角形相位光栅 条纹可见度 
自溯源型MOEMS加速度计谐振子设计仿真研究被引量：1
《计量科学与技术》2023年第6期9-15,43,共8页常郅坤 张婉怡 沈箫雨 牟群 韩晓玲 宋松 牛鹏飞 邓晓 程鑫彬 
国家重点研发计划项目(2022YFF0607600、2022YFF0605502);国家自然科学基金面上项目(62075165);上海张江国家自主创新示范区专项发展资金重大项目(ZJ2021-ZD-008)。
MOEMS加速度计是加速度传感器未来的发展趋势之一,光学位移检测手段是决定测量精度的核心因素,与之配套的谐振子设计、匹配关系是充分发挥其性能的关键要素。自溯源光栅干涉仪是一种超精密位移测量方法,具有测量直接溯源、精度高、小型...
关键词：计量学 MOEMS加速度计 自溯源光栅干涉仪 谐振子 COMSOL有限元仿真 固有频率 灵敏度 应力分布 
基于光栅干涉仪的纳米位移台校准方法研究被引量：5
《计量科学与技术》2023年第6期37-43,共7页刘丽琴 管钰晴 邹文哲 郭创为 张玉杰 徐瑞书 傅云霞 雷李华 
上海市2021年度“科技创新行动计划”自然科学基金项目(21ZR1483100);上海市2021年度“科技创新行动计划”优秀学术/技术带头人项目(21XD1425000);国家重点研发计划青年科学家项目(2021YFF0603300)。
随着集成电路制造关键尺寸向着5 nm的节点迈进,我国集成电路检测设备产业化的呼声剧增,纳米位移台作为集成电路制造、超精密加工、精密科学仪器制造等领域检测设备的关键器件,研究人员对其重复定位精度、线性度的要求越来越高。光栅干...
关键词：计量学 光栅干涉仪 标准光栅 位移校准 纳米位移台 
基于平面反射式全息光栅的激光自混合纳米位移测量研究被引量：4
《红外与激光工程》2023年第4期227-234,共8页张玉杰 徐雷 管钰晴 邹文哲 郭创为 雷李华 傅云霞 郭珍艳 顾振杰 邓晓 
国家重点研发计划(2021YFF0603300);上海市学术/技术带头人项目(21XD1425000);上海科技自然科学基金(21ZR1483100)。
纳米位移测量技术是实现高精度纳米制造的基础。激光自混合干涉为精密纳米位移测量提供了一种结构简便、成本低廉,同时测量精度可达纳米量级的精密位移测量方法。区别于传统基于反射镜或散射面为反馈元件的激光自混合干涉测量方案,研究...
关键词：纳米位移测量 激光自混合 光栅干涉仪 全息光栅 
利用劳条件求取双相位光栅干涉仪灵敏度
《光子学报》2023年第1期162-170,共9页杨君 黄建衡 单雨征 雷耀虎 宗方轲 郭金川 
国家自然科学基金(Nos.62075141,12075156);广东省基础与应用基础研究基金(No.2021A1515010048)。
目前针对双相位光栅干涉仪灵敏度的分析存在着灵敏度模型不合理、理论结果不完整等问题,制约着系统灵敏度的提高。对此,提出了新的灵敏度模型,即物体所产生的条纹移动与光源位置变化产生的条纹移动是等效的。该灵敏度模型将物体对X射线...
关键词：X射线相衬成像 Talbot-Lau干涉仪 双相位光栅干涉仪 灵敏度 劳条件 
基于微焦点X射线光栅干涉仪的波前传感与面形测量技术
《光学学报》2022年第23期244-251,共8页赵帅 王秋平 张磊 王克逸 
国家重点研发计划(2016YFA0401303);中央高校基本科研业务费(WK5290000002)。
为了支撑高性能光源波前调控与先进实验技术开发,并在工作波长下实现实验室级面形测量,搭建了微焦点X射线光栅干涉仪实验平台。X射线光栅干涉仪是一种具有极高灵敏度的波前传感技术,可定量测量X射线波前畸变。利用相位步进和傅里叶分析...
关键词：X射线光学 X射线光栅干涉仪 波前传感 面形测量 
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