面形测量

作品数：295被引量：1417H指数：18
导出分析报告
相关领域：机械工程理学更多>>
相关作者：苏显渝张启灿陈文静刘元坤向立群更多>>
相关机构：四川大学中国科学院北京理工大学浙江大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项四川省学术和技术带头人培养资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
构造2D高斯复小波用于非均匀反射物面三维测量
《光学与光电技术》2025年第1期86-98,共13页张曼琦 陈文静 张启灿 
国家自然科学基金(62075143)资助项目。
得益于时频分析和多分辨特性,小波变换轮廓术(Wavelet Transform Profilometry,WTP)能从单帧条纹中高精度提取携带被测物面高度信息的相位图。小波变换轮廓术的相位解调难易程度和精度依赖于小波的选取。复小波可以直接用于条纹相位解...
关键词：结构光投影 三维面形测量 小波变换轮廓术 二维复小波 相位计算 
基于扩束动态干涉仪的晶圆抛光盘掠入射拼接面形测量方法
《光学学报》2025年第2期183-194,共12页芮九多 巫智勋 邓嘉信 张嘉博 韩志刚 王青 朱日宏 
国家自然科学基金(61875087)。
针对车间环境下晶圆抛光盘面形测量问题,提出使用基于扩束动态干涉仪的掠入射拼接干涉测量方法。该方法结合非球面扩束系统和子孔径拼接方法,弥补了动态干涉仪测量口径的不足;利用掠入射干涉测量解决了粗糙被测面光束散射问题,同时拓展...
关键词：晶圆抛光盘 动态干涉 掠入射 子孔径拼接 面形测量 
基于反射率修正的柱透镜面形光谱共焦测量研究
《激光与光电子学进展》2024年第17期171-178,共8页李春艳 刘畅 刘继红 李丹琳 蒋杰伟 
国家自然科学基金(62276210);陕西省自然科学基金资助项目(2022JM-387);陕西省重点研发计划资助项目(2020GY-127);西安邮电大学创新创业基金(CXJJYL2022024)。
为实现柱透镜面形的精确测量,研究了反射率引起的面形测量误差。首先介绍了光谱共焦位移传感系统的工作原理,并在空间坐标系下利用柱透镜的结构参数,推导了系统的光谱响应,建立了柱透镜面形测量模型。然后,对由各点反射率引起的光谱曲...
关键词：面形测量 反射率修正 光谱共焦 峰值漂移 柱透镜 
空间载波技术最优系统误差的设计方法
《应用激光》2024年第7期182-189,共8页孙佳兴 翟天保 黎欣瑜 崔佳雯 胡晓莉 李志松 
国家自然科学基金(51975116);上海市自然科学基金(21ZR1424600);上海市自然科学基金(21ZR1402900)。
在光学面形检测领域中,利用空间载波相移技术可以实现对待测面形的快速、动态测量,而系统误差的引入一直是制约其精度的重要因素。针对此问题,提出一种自适应引入最优系统误差的方法。该方法对不同规格的待测镜引入不同的载波量,将系统...
关键词：激光干涉 面形测量 空间载波移相 载波条纹 傅里叶变换 回程误差 
平面光学元件超平整吸附装载的优化设计与分析被引量：1
《机械工程学报》2024年第5期241-248,共8页赵承伟 张文豪 龚天诚 张逸云 王长涛 罗先刚 
四川省科技计划(2022YFG0001);中国科学院青年创新促进会(202238)资助项目。
在平面光学元件加工和应用中,采用真空吸附方式进行装载,具有快速、稳定的优势,而真空吸附对平面光学元件的面形影响不可忽视。基于有限元分析方法,针对功能窗口限制、倒立装载等特殊需求,对真空吸盘气道进行优化设计,并通过实验对真空...
关键词：真空吸附 气道优化 有限元分析 面形测量 扭矩控制 
凹非球面的非零位干涉检测技术
《中国光学（中英文）》2024年第1期140-149,共10页张旭 李世杰 刘丙才 田爱玲 梁海锋 蔡长龙 
陕西省科技厅资助项目(No.2022GY-222,No.2022GY-262);基础科研(No.JCKY2020426B009);“一带一路”外国专家创新人才交流项目(No.DL2022040006L)。
为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果。首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整...
关键词：非球面面形测量 非零位干涉检测 回程误差 数据处理 
射电望远镜天线主反射面面形测量方法综述被引量：2
《中国科学：物理学、力学、天文学》2024年第1期19-33,共15页班友 刘源杰 王娜 古丽加依娜·哈再孜汗 冯树飞 
国家重点研发计划(编号:2021YFC2203501);国家自然科学基金(编号:12303094,52165053);新疆维吾尔自治区自然科学基金(编号:2022D01C683);中国博士后科学基金(编号:2021M702751,2023T160549);广东省基础与应用基础研究基金(编号:2020A1515111043)资助项目。
射电望远镜主反射面面形精度是影响望远镜性能最重要的因素之一,因此主反射面面形测量的研究和应用是评价和补偿天线性能的重要基础.本文梳理了经纬仪测量法、激光测量法、全息测量法、摄影测量法等主要的大型反射面天线主反射面的面形...
关键词：射电望远镜 面形精度 面形测量方法 
大口径天线主反射面面形快速摄影测量方法研究
《中国科学：物理学、力学、天文学》2024年第1期65-74,共10页古丽加依娜·哈再孜汗 王娜 许谦 薛飞 
国家重点研发计划(编号:2021YFC2203501);国家自然科学基金(编号:12203095);新疆维吾尔自治区自然科学基金(编号:2022D01B220)资助项目。
本文针对110 m口径全可动射电望远镜(QiTai Radio Telescope, QTT)全工况下主反射面面形快速高精度测量问题提出了一种基于图像传感器的快速摄影测量方法.该方法将天线主反射面分成16个测量单元,通过每个测量单元的不同焦距的两台相机...
关键词：QTT 大口径射电望远镜 面形测量 摄影测量 
大气湍流下光学平面面形的估计
《光学技术》2023年第6期704-710,共7页李琳 刘永辉 
国家自然科学基金项目(61673277);上海理工大学横向科研项目(H-2021-302-129)。
针对大气湍流环境下光学元件平面面形PV值测量这一问题。首先建立了一种大气湍流下斐索干涉仪的模型,通过该模型得到1000张干涉条纹图像;然后提出了一种基于卷积神经网络估算PV值的方法,将干涉条纹图像作为卷积神经网络的输入,利用卷积...
关键词：大气湍流 平面面形测量 卷积神经网络 斐索干涉仪 
强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证
《强激光与粒子束》2023年第9期31-40,共10页王姗姗 石峰 乔硕 徐博文 郝群 宋辞 铁贵鹏 田野 翟德德 彭星 
国家重点研发计划项目(2021YFC2202403-2);国家自然科学基金项目(62175259)。
针对基于强光元件高精度面形在位检测需求,开展了面形测量误差敏感因素仿真分析,进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究,分析各类误差对测量面形误差的具体影响,设计并搭建在位检测系统,开展系统温度变化、系统重复性、系...
关键词：面形测量 在位检测 强光元件 误差分析 仿真模型 
全选清除导出
共30页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部