子孔径拼接

作品数：112被引量：350H指数：11
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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所南京理工大学中国科学院大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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基于扩束动态干涉仪的晶圆抛光盘掠入射拼接面形测量方法
《光学学报》2025年第2期183-194,共12页芮九多 巫智勋 邓嘉信 张嘉博 韩志刚 王青 朱日宏 
国家自然科学基金(61875087)。
针对车间环境下晶圆抛光盘面形测量问题,提出使用基于扩束动态干涉仪的掠入射拼接干涉测量方法。该方法结合非球面扩束系统和子孔径拼接方法,弥补了动态干涉仪测量口径的不足;利用掠入射干涉测量解决了粗糙被测面光束散射问题,同时拓展...
关键词：晶圆抛光盘 动态干涉 掠入射 子孔径拼接 面形测量 
单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法
《光学学报》2024年第20期83-93,共11页宗毅 孙晟遥 史玺源 于彩芸 刘一轩 段明亮 李建欣 
国家自然科学基金(62305161,62305169,62375128,62171225);中国博士后科学基金(2023M731684,2023M731752);江苏省卓越博士后计划(2023ZB569)。
非球面光学元件已广泛应用于现代光学系统中,但高精度、灵活的非球面面形检测仍是一个难题。提出了一种单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法,以实现非球面的高精度拼接干涉测量。该方法利用单光楔垂轴倾斜对波前进行调制,实...
关键词：测量 非球面检测 非零位干涉 子孔径拼接 单光楔补偿 
基于子孔径特征数据集的光学表面疵病拼接方法
《中国激光》2024年第13期95-104,共10页王颖茹 王红军 朱学亮 刘丙才 岳鑫 田爱玲 
基础科研项目(JCKY2020426B009);陕西省科技厅秦创原“科学家+工程师”队伍建设项目(2023KXJ-066)。
针对大口径光学元件表面疵病检测中子孔径图像数量较多、在全孔径拼接过程中存储及处理数据量大的问题,提出了一种基于子孔径特征数据集的光学表面疵病拼接方法。该方法由子孔径图像及其重叠区域图像中提取疵病特征数据构建子孔径特征...
关键词：疵病检测 特征提取 子孔径拼接 稀疏矩阵 
基于改进自适应粒子群退火的子孔径拼接干涉算法
《智能计算机与应用》2024年第4期128-135,共8页蒋宸哲 张雷洪 徐邦联 周智轩 韩森 张大伟 徐春凤 
国家重点研发计划(2022YFF0607701)。
本文提出一种基于改进自适应粒子群退火的子孔径拼接干涉算法,以补偿子孔径拼接时产生的调整及定位误差。通过在粒子群算法中引入自适应权重调整、动态自我认知调整以及退火算法,弥补了传统粒子群算法容易陷入局部最优解的缺点,平衡了...
关键词：粒子群算法 子孔径拼接 干涉测量法 ZERNIKE多项式 
高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特邀)
《红外与激光工程》2023年第9期39-46,共8页蔡梦雪 王孝坤 张志宇 李凌众 王晶 李文涵 张学军 
国家自然科学基金项目(62127901);中国科学院大学生创新实践训练计划项目(Y9I838S)。
由于仪器传递函数(Instrument Transfer Function,ITF)能准确反映仪器在空间频率上的响应特征,被广泛应用于仪器规范之中。目前多采用刻有单一台阶特征或不同周期正弦特征的平面测试板对干涉仪的ITF进行检测。针对平面测试板无法完成高...
关键词：高陡度球面 高陡度非球面 仪器传递函数 子孔径拼接 球面台阶测试板 
大口径连续位相板拼接检测技术研究
《航空精密制造技术》2022年第5期6-11,共6页柴文松 季鹏 王波 张海涛 李铎 
国家自然科学基金资助项目(51905130);应用光学国家重点实验室开放基金课题(SKLAO2002100IA05)
区别于传统平面拼接检测方式,将空间六自由度应用于连续位相板拼接检测,建立数学模型,通过最小二乘的方式实现孔径拼接融合,完成连续位相板的检测,恢复其波前特征。本文通过仿真分析该方法的精度,并搭建机械检测装置完成子孔径数据采集...
关键词：光学测量 大口径连续位相板 子孔径拼接 波前干涉检测 
子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀)被引量：6
《红外与激光工程》2022年第9期67-75,共9页苏航 王孝坤 程强 李凌众 王晶 李雯研 吴琼 唐瓦 罗霄 张学军 
吉林省重点研发计划(20200401065GX);国家自然科学基金(62127901);中国科学院大学生创新实践训练计划项目(Y91838S)。
为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法。由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过...
关键词：光学检测 大口径凸非球面 混合补偿 子孔径拼接检测 计算全息 
基于降采样粒子群优化的子孔径拼接干涉方法被引量：2
《光子学报》2022年第6期68-78,共11页王若言 朱丹 袁群 刘威剑 高志山 
国家重点研发计划(No.2019YFB2005500);国家自然科学基金(Nos.62175107,U1931120);江苏省六大人才高峰项目(No.RJFW-019);中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室基金(No.KLOMT190201);上海在线检测与控制技术重点实验室基金(No.ZX2021102)。
提出了一种基于粒子群优化的子孔径拼接方法,实现子孔径拼接调整误差和定位误差的同步消除。为了提升粒子群搜索算法的效率,利用降采样的方式缩小粒子群算法的搜索范围,然后通过梯度法获取像素级定位误差,实现各项误差系数的求解。以实...
关键词：应用光学 干涉测量 粒子群算法 子孔径拼接 降采样 
光学偏折子孔径拼接面形检测技术被引量：1
《红外与激光工程》2021年第11期261-267,共7页相超 王道档 窦进超 孔明 刘璐 许新科 
国家自然科学基金(51775528);浙江省自然科学基金(LY21E050016,LY17E050014,LY19F050008)。
针对大口径的高斜率动态范围光学元件的测量需求,提出了基于光学偏折技术的子孔径拼接测量方法。利用所搭建的条纹投影光学偏折测量系统,结合子孔径划分拼接方法,对各子孔径分别进行测量,并根据实际测量结果与测量系统模型光线追迹结果...
关键词：光学检测 条纹投影光学偏折 子孔径拼接 大动态范围 
平面镜子孔径加权拼接检测算法(特邀)被引量：4
《红外与激光工程》2021年第10期10-15,共6页闫力松 张斌智 王孝坤 黎发志 
国家自然科学基金(61805089);吉林省科技发展计划(20200401065GX);广东省基础与应用基础研究基金(2020A1515110259)。
为了解决大口径平面反射镜高精度检测问题,建立了一种基于全局优化的子孔径拼接检测数学模型,同时提出了一种拼接因子用于重叠区域取值。基于上述方法,结合工程实例,对一口径为120 mm的平面反射镜完成拼接检测,检测中共规划了四个待测...
关键词：光学检测 干涉测量 子孔径拼接 拼接因子 
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