非球面检测

作品数:83被引量:346H指数:11
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相关机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院北京理工大学中国科学院大学更多>>
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基于反射式空间光调制器的非球面面形干涉检测方法设计
《科学技术与工程》2024年第31期13262-13268,共7页刘嘉晖 陈福春 金钢 胡凯 丛海佳 
上海市浦江人才计划(23PJ1414800)。
目前光学系统中非球面数量多,针对各个非球面单独做补偿器检测面形加工成本高、通用性不好、加工难度大,为解决对多个参数不同的非球面需要不同的补偿器的问题,提出了一种基于空间光调制器(spatial light modulator,SLM)作为补偿器的干...
关键词:空间光调制器 干涉检测 非球面检测 ZEMAX 
单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法
《光学学报》2024年第20期83-93,共11页宗毅 孙晟遥 史玺源 于彩芸 刘一轩 段明亮 李建欣 
国家自然科学基金(62305161,62305169,62375128,62171225);中国博士后科学基金(2023M731684,2023M731752);江苏省卓越博士后计划(2023ZB569)。
非球面光学元件已广泛应用于现代光学系统中,但高精度、灵活的非球面面形检测仍是一个难题。提出了一种单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法,以实现非球面的高精度拼接干涉测量。该方法利用单光楔垂轴倾斜对波前进行调制,实...
关键词:测量 非球面检测 非零位干涉 子孔径拼接 单光楔补偿 
同步环带子孔径干涉非球面检测方法被引量:1
《光学学报》2024年第8期256-264,共9页苏媛 田爱玲 王红军 刘丙才 朱学亮 王思淇 任柯鑫 张郁文 
国防基础科研项目(JCKY2020426B009);陕西省科技厅项目(2023KXJ-066)。
提出一种可用于非球面面形检测的同步环带子孔径干涉(SASI)检测方法。该方法利用双焦点透镜形成两个测量波前来匹配非球面不同子孔径区域,进而实现非球面的同步环带子孔径干涉测量。分析SASI检测非球面面形的原理,确定双焦点透镜的焦点...
关键词:物理光学 干涉测量 非球面检测 非零位测量 同步环形子孔径 
大口径半环形高次非球面检测与轻量化分析被引量:1
《激光与光电子学进展》2023年第7期273-280,共8页崔金龙 胡明勇 毕亚超 封志伟 白茜 陈光宇 徐剑锋 
为了实现对大口径高次非球面镜的面形精度检测,本文针对一个内径572 mm、外径800 mm的半环形凹高次非球面反射镜,进行补偿检测系统设计和轻量化分析。基于三级像差理论,采用双透镜与单反射面的结构对非球面反射镜进行补偿检测,得到均方...
关键词:光学设计 高次非球面 轻量化 三级像差 补偿检测 有限元 
基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法
《仪器仪表学报》2022年第6期29-37,共9页兰梦辉 李兵 魏翔 吴修远 刘晓 
国家自然科学基金(52105482);苏州市重点产业技术创新项目(SYG201922);西安交通大学基本科研业务费—自由探索与创新类项目(xzy022021016)资助。
在基于Zygo干涉仪的非球面检测中,沿光轴(Z轴)方向的定位精度直接影响测量结果的准确性。本文提出了一种基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法,分析了非球面与参考球面波的理论模型,推导出了对应的最佳参考球面波半径、顶点偏离量以及...
关键词:非球面检测 干涉测量 Z轴定位 最小PV值 
非球面光学元件面型检测技术研究进展与最新应用被引量:32
《中国光学》2022年第2期161-186,共26页梁子健 杨甬英 赵宏洋 刘圣安 
国家自然科学基金资助项目(No.61627825)。
非球面光学元件,特别是其中的自由曲面元件,在设计自由度上相比于球面具有很大的优势,基于非球面构建的光学系统能够以简单的光机结构实现复杂的设计目的。面型检测技术是保障光学非球面加工精度的关键,针对不同种类的非球面以及非球面...
关键词:非球面检测 自由曲面检测 干涉检测 零位检测 非零位检测 
变步长搜索的计算全息图编码方法被引量:4
《中国光学》2021年第2期368-374,共7页邱宏伟 金春水 于杰 刘钰 张海涛 王丽萍 孙诗壮 
吉林省地方标准资助项目(No.DB22/T2651-2017)。
基于计算全息图(Computer-Generated Hologram,CGH)的非球面检测技术通过控制衍射光相位来生成所需要的参考波前,从而实现非球面的零位检测,近年来,该技术已经发展成为非球面的主流检测技术。对于CGH编码,采用传统编码方法实现高精度编...
关键词:计算全息图 计算全息编码 非球面检测 
非球面非零位检测成像系统误差分析
《科学与信息化》2021年第12期24-24,29,共2页曹磊 
光学非球面检测中,非零位补偿干涉法因其偏离零位条件,返回波前具有较大像差。其成像系统将因此引入新的像差,影响检测结果。分析非球面非零位检测系统中成像系统主要误差,包括成像系统对准误差与成像系统对非零位波前传播引入的误差。
关键词:非球面检测 非零位 成像系统 
利用激光跟踪仪测量大口径非球面几何参数被引量:5
《航天返回与遥感》2020年第3期47-59,共13页庞哲 宗肖颖 杜建祥 
国家重大科技专项工程。
在利用无像差点或补偿器测量非球面反射镜顶点曲率半径和二次非球面系数的方法中,一般采用测量杆来测量干涉仪会聚点到辅助镜或补偿器的距离以及辅助镜或补偿器到非球面顶点的距离。对于大口径非球面反射镜,由于顶点曲率半径长,辅助镜...
关键词:顶点曲率半径 二次非球面系数 几何参数测量 非球面检测 激光跟踪仪 长焦距相机 航天遥感 
基于MATLAB与非球面轮廓仪的Q-Type非球面检测技术被引量:1
《激光与光电子学进展》2019年第15期103-108,共6页贾孟 薛常喜 李闯 兰喜瑞 王蕾 王伦 吴百融 
吉林省重点科技研发项目(20180201030GX)
Q-type非球面广泛应用于光学系统设计中,针对Q-type非球面超精密加工过程中的面形检测问题,提出了一种MATLAB软件与Taylor Horbson PGI-1240非球面轮廓仪相结合的方法,以达到对Q-type非球面进行高精度检测的目的。检测结果表明,由Nanofo...
关键词:测量 Q-type非球面检测 MATLAB 非球面轮廓仪 单点金刚石车削 
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