非球面非零位检测成像系统误差分析  

作　　者：曹磊[1] 

机构地区：[1]安徽省计量科学研究院,安徽合肥230000

出　　处：《科学与信息化》2021年第12期24-24,29,共2页Technology and Information

摘　　要：光学非球面检测中,非零位补偿干涉法因其偏离零位条件,返回波前具有较大像差。其成像系统将因此引入新的像差,影响检测结果。分析非球面非零位检测系统中成像系统主要误差,包括成像系统对准误差与成像系统对非零位波前传播引入的误差。

关 键 词：非球面检测 非零位 成像系统 

分 类 号：TH7[机械工程—仪器科学与技术]