沈瑶琼

作品数：7被引量：7H指数：2
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供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
发文主题：光栅光阑衍射效应衍射图样薄膜厚度更多>>
发文领域：机械工程电子电信一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《上海计量测试》《计量学报》《红外与激光工程》《自动化仪表》更多>>
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基于曲面拟合的光学偏折系统显示屏标定方法
《计量学报》2024年第3期419-424,共6页郭创为 管钰晴 沈瑶琼 徐瑞书 朱言瑧 刘丽琴 张玉杰 雷李华 傅云霞 
上海市自然科学基金(21ZR1483100)。
针对透射式光学偏折系统中最关键的标定环节,提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型,分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示:平面屏幕模型波前像差均方根误...
关键词：光学计量 透射式光学偏折术 显示屏标定 波前测量 曲面拟合 
基于改进U-Net网络的相位解包裹技术研究被引量：2
《红外与激光工程》2024年第2期120-133,共14页徐瑞书 罗笑南 沈瑶琼 郭创为 张文涛 管钰晴 傅云霞 雷李华 
国家重点研发计划项目(2021YFF0603300);上海市市场监督管理局项目(D00RJ2310);上海市在线检测与控制技术重点实验室基金项目(A04202223003)。
提出了一种结合深度学习的空间相位解包裹方法,采用基于改进U-Net网络的编码器-解码器架构,同时加入包含双向长短期记忆网络(BILSTM)的CBiLSTM模块,并且结合注意力机制,避免了典型卷积神经网络学习全局空间依赖关系的固有缺陷的同时增...
关键词：相位解包裹 深度学习 注意力机制 长短期记忆网络 卷积神经网络 
Si/SiO_(2)多层膜线宽关键参数精细化表征技术研究被引量：1
《红外与激光工程》2024年第1期151-161,共11页褚小要 沈瑶琼 刘丽琴 邹文哲 管钰晴 郭创为 张玉杰 梁利杰 孔明 雷李华 
上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1425000)。
线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利...
关键词：自溯源标准物质 SEM放大倍率 线边缘粗糙度 线宽粗糙度 多层膜线宽 
法定计量检定机构的人力资源管理系统
《上海计量测试》2018年第6期58-59,共2页李智玮 沈瑶琼 肖飞 孙薇斌 程涛 金永贺 
0 引言上海市计量测试技术研究院是经上海市质量技术监督局授权批准设立的法定计量检定机构。机构下设电子与电气所、机械与制造所、热工与能源所、化学与电离辐射所、在线与通用所、强制检定中心、基础性能检测中心、材料质量检测中心...
关键词：法定计量检定机构 人力资源管理系统 上海市计量测试技术研究院 人事管理信息系统 上海市质量技术监督局 质量检测中心 统计分析工作 电离辐射 
接触式干涉仪的调整和修理
《上海计量测试》2012年第4期43-45,47,共4页沈瑶琼 
0引言 接触式干涉仪是以光波干涉原理为基础，采用微差比较法测量长度的高准确度仪器。主要用于检定尺寸小于150mm的2等和2等以下的量块，也可对其他高准确度零件进行测量或作高准确度定位。在一般计量部门．接触式干涉仪较多地使用于...
关键词：接触式干涉仪 修理 调整 高准确度 干涉原理 计量部门 比较法 测量 
纳米测量机传感器信号显示与切换系统的设计
《自动化仪表》2012年第1期63-65,69,共4页卢歆 雷李华 沈瑶琼 李源 王丽华 
国家质检总局科研计划基金资助项目(编号:2009QK097)
为提高纳米坐标测量机的测量效率,降低因测头切换频繁引起的设备故障率,设计了一个具有测头测量信号/观察信号切换并能够实时显示测量信号电压值的装置。该装置主要以C8051F单片机为核心,通过A/D转换芯片和液晶显示模块实现信号电压值...
关键词：C8051F 信号切换 液晶显示 纳米测量机 A/D转换 
MEMS三维微触觉测头的低频振动测试系统被引量：4
《天津大学学报》2009年第3期273-277,共5页李源 傅星 谢初南 沈瑶琼 安兆亮 栗大超 胡小唐 
上海市博士后基金重点资助项目(07R214208)
针对一种MEMS三维微触觉测头,构建了基于Suss Microtec三维微定位器和PI压电陶瓷的动态测试装置,对测头的动态性能进行了表征.分别测试了测头在轴向和横向负载下对不同幅度低频振动信号的响应情况,研究了测量过程的短时重复性能.结果表...
关键词：微触觉测头 振动测试 三维测量 微机电系统 
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