纳米测量机

作品数：27被引量：123H指数：6
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激光干涉仪在纳米测量中的典型应用被引量：2
《计测技术》2023年第1期91-101,共11页李强 任冬梅 朱振宇 李华丰 王霁 段小艳 
国家“十三五”技术基础科研项目(JSJL2016205C003)。
激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这...
关键词：纳米测量 激光干涉仪 位移测量 纳米测量机 线膨胀系数 
基于纳米测量机的微结构三维坐标测量被引量：8
《光学精密工程》2020年第10期2252-2259,共8页吴俊杰 李源 
上海市市场监督管理局科技项目资助(No.2019-02);上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.19YF1441700);国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004904)。
针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量...
关键词：微纳米测量 纳米测量机 三维微接触测头 高深宽比 侧壁倾角 
微米级台阶高度测量方法对比
《精品》2020年第17期261-262,共2页王强栋 韩志国 
本文通过两种台阶高度测试方法的测试比对,佐证了白光干涉技术在微米级台阶高度测量方面精度很高。首先,介绍了白光干涉仪的测量原理,详细介绍了该仪器的组成及测量过程;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,为台阶高度的测量...
关键词：白光干涉 台阶高度 标准样块 纳米测量机 
基于光栅应变传感器的纳米测量机探针设计被引量：1
《应用光学》2017年第3期506-513,共8页冯旭刚 杜翠翠 章家岩 
安徽省教育厅自然科学重点项目(KJ2015A058;KJ2013A054)
为了提高纳米坐标测量机探针的测量精度,且能满足对复杂曲面或微结构进行精确测量的要求,提出了一种新颖的基于微探针系统的光纤布拉格光栅(FBG)探针。该探针具有较高灵敏度和可重复性。提出该新型FBG探针,即探针里有一个熔融的球形顶端...
关键词：光纤布拉格光栅 光纤探针 ANSYS 11 坐标测量机(CMM) 应变分布 分辨率 
用于微纳米几何量尺寸测量的三维微接触式测头被引量：1
《上海计量测试》2014年第5期2-5,共4页李源 吴俊杰 
国家质检总局公益专项(201110051)
为实现微纳尺度器件三维几何形貌测量及表征,基于电容和压阻原理,开发了两种三维微接触式测头。其中电容测头测量范围4.5μm,轴向分辨力和横向分辨力分别为10 nm和25 nm;压阻测头测量范围4.6μm,轴向分辨力和横向分辨力分别为5 nm和10 n...
关键词：微接触式测头 电容传感器 压阻传感器 纳米测量机 
微纳米测量机测头结构的参数设计及分析被引量：8
《计量学报》2013年第5期401-405,共5页陈贺 陈晓怀 王珊 杨桥 李瑞君 
国家自然科学基金（51275148）;863计划重点项（2008AA042409）
设计了一种高精度的接触扫描式测头，提出了4种测头弹性结构的设计方案。根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求，选择了最优的设计结构。对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析，分析结果表明设计...
关键词：计量学 接触扫描式测头 微纳米测量机 力学分析 弹性结构设计 
微纳米测量机工作台的结构及性能分析被引量：6
《组合机床与自动化加工技术》2012年第11期32-34,共3页陈贺 陈晓怀 
863计划重点项目(2008AA042409)
对微纳米测量机新型工作台进行了结构及静、动态性能分析。比较了不同结构的X、Y工作台的静态变形和刚度;对三维工作台进行了模态和谐响应分析,得到振动频率和振动位移。分析表明:合理的结构设计能够减小工作台的变形量,增加工作台的稳...
关键词：微纳米测量机 三维工作台 性能分析 结构变形 
采用变速白光扫描干涉术测量大尺度台阶结构被引量：4
《光电子．激光》2012年第8期1529-1534,共6页郭彤 章英 李峰 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金(91023022);质检公益性行业科研专项(201110051)资助项目
针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中,存在测量时间长、信号利用率低等问题,本文提出了应用于白光扫描干涉测量的变速扫描策略,并开发了基于预定义模式的变速扫描和基于自动对焦模式的变速扫描两种具体的实现方式...
关键词：白光干涉术 大尺度台阶 变速扫描 纳米测量机(NMM) 自动对焦 
用于标定镀膜机的膜厚样板的制备和测量
《工业计量》2012年第1期5-8,共4页刘一 赵俊 邹子英 雷李华 
国家质检总局科技计划项目:高精度台阶标准片的研制(2008qk74);机密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金:纳米几何量标准样板的制备和溯源性研究(pil0913)
镀膜在国民经济生活中得到广泛应用。影响镀膜性能的一个主要参数是膜层在整个基片上的厚度均匀性。利用挡板在基片上多个区域沉积台阶,测量台阶高度的差值用于分析膜厚的均匀性。通过集成非接触聚焦式测头的纳米测量机进行测量,针对镀...
关键词：膜厚均匀性 纳米测量机 激光聚焦式测头 
纳米测量机传感器信号显示与切换系统的设计
《自动化仪表》2012年第1期63-65,69,共4页卢歆 雷李华 沈瑶琼 李源 王丽华 
国家质检总局科研计划基金资助项目(编号:2009QK097)
为提高纳米坐标测量机的测量效率,降低因测头切换频繁引起的设备故障率,设计了一个具有测头测量信号/观察信号切换并能够实时显示测量信号电压值的装置。该装置主要以C8051F单片机为核心,通过A/D转换芯片和液晶显示模块实现信号电压值...
关键词：C8051F 信号切换 液晶显示 纳米测量机 A/D转换 
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