韩志国

作品数：32被引量：58H指数：5
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：校准测量不确定度校准方法不确定度评定膜厚更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《精品》《计量学报》《测试技术学报》《电子工业专用设备》更多>>
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用于扫描电子显微镜校准的10μm格栅样板被引量：2
《计量学报》2022年第12期1544-1548,共5页张晓东 赵琳 李锁印 韩志国 许晓青 吴爱华 
扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器。为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准。首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10μm的格栅样板。其次...
关键词：计量学 格栅样板 扫描电子显微镜 矩形检测算法 原子力显微镜 校准 
基于多层膜沉积的循迹式线宽标准样片被引量：1
《计量学报》2022年第12期1549-1553,共5页赵琳 韩志国 张晓东 许晓青 李锁印 吴爱华 
国防技术基础计量项目(JSJL2019210B004)。
为了实现半导体行业内关键尺寸测量仪器的校准问题,展开了纳米尺寸线宽标准样片的研究工作。采用多层膜沉积技术研制了尺寸为20 nm和50 nm的纳米级线宽标准样片。针对标准样板整体尺寸小、仪器测量视场小所引起的校准时不便寻找的问题,...
关键词：计量学 线宽标准 关键尺寸 多层膜沉积 循迹标记 
用热反射热成像技术测量封装GaN/AlGaN HEMT芯片热阻
《半导体技术》2022年第11期921-925,共5页翟玉卫 张亚民 刘岩 韩志国 丁晨 吴爱华 
为解决封装GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的芯片热阻难以测量的问题,提出了采用热反射热成像测温装置测量芯片热阻的方法。采用365 nm波长紫外发光二极管(LED)作为测温装置的光源测量芯片沟道区域GaN材料的温度,以近似峰值结温;采...
关键词：GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT) 热反射 沟道 结温 热阻 
质量参数评价在微纳米间距标准样板中的应用
《传感技术学报》2022年第11期1458-1462,共5页许晓青 李锁印 赵琳 韩志国 张晓东 吴爱华 
微纳米间距标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保证。通过对微纳米间距样板作为标准物质基本要求的论述,指出了对比度、均匀性和稳定性考核在标准样板质量参数评价中的重要作用。以SEM作为测...
关键词：微纳米 质量参数 评价方法 间距 对比度 均匀性 稳定性 
基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法被引量：2
《测试技术学报》2022年第5期410-415,共6页张晓东 赵琳 李锁印 韩志国 许晓青 吴爱华 
扫描电子显微镜是半导体器件关键尺寸测量的重要仪器.为提高扫描电子显微镜的测量准确度和校准效率,研制了一套标称值为100 nm~10μm的线间隔样板和标称值为2μm~10μm的格栅样板.此外,针对现有校准规范中测长示值误差、正交畸变和线性...
关键词：扫描电子显微镜 线间隔样板 格栅样板 图像处理 校准方法 
基于线距标准样片的扫描电镜校准方法探讨被引量：2
《计算机与数字工程》2021年第4期644-648,共5页赵琳 张晓东 李锁印 韩志国 吴爱华 
为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法。首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标准样片,并对样片进行了质量参数考核。其次,分析了现有检定规...
关键词：扫描电镜 半导体工艺 标准样片 质量参数 校准方法 
纳米级线宽标准样片的设计与制备被引量：4
《计算机与数字工程》2021年第4期664-668,共5页韩志国 李锁印 冯亚南 赵琳 吴爱华 
介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm~200nm的线宽样片。以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线...
关键词：线宽标准样片 电子束 线宽偏差 线边缘粗糙度 均匀性 稳定性 
微米级台阶高度测量方法对比
《精品》2020年第17期261-262,共2页王强栋 韩志国 
本文通过两种台阶高度测试方法的测试比对,佐证了白光干涉技术在微米级台阶高度测量方面精度很高。首先,介绍了白光干涉仪的测量原理,详细介绍了该仪器的组成及测量过程;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,为台阶高度的测量...
关键词：白光干涉 台阶高度 标准样块 纳米测量机 
基于图像处理的线距测量方法被引量：6
《激光与光电子学进展》2020年第1期89-93,共5页张晓东 赵琳 韩志国 冯亚南 李锁印 
关键尺寸扫描电镜(CD-SEM)是对微纳尺寸线距标准样片定标的标准器具。为提高标准样片的定标准确度,研究一种基于图像处理技术的测量算法。首先,对研制样片的特征进行分析;其次,研究线性近似算法和线距测量算法,并分别对100nm^10μm的线...
关键词：测量 关键尺寸扫描电镜 线距标准样片 微纳尺寸 线性近似算法 图像处理 
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制被引量：11
《微纳电子技术》2019年第9期761-765,共5页韩志国 李锁印 冯亚南 赵琳 
针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移...
关键词：轮廓仪 探针沾污 探针缺陷 扫描位置 检查图形 
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