吴爱华

作品数：82被引量：145H指数：7
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
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发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《现代科学仪器》《中国测试》《电子测量技术》《微波学报》更多>>
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THz波段便携冷噪声标准源研究
《计量学报》2024年第11期1733-1737,共5页栾鹏 刘晨 杜静 王一帮 霍晔 吴爱华 
介绍了中国电科第十三研究所新研究的170~260 GHz便携式冷噪声标准源的工作原理、结构特点、性能验证和不确定度评定。该装置采用浸于液氮制冷的矩形波导体内的匹配尖劈负载,将噪声功率通过波导传输线直接传输到室温输出波导端口的方案...
关键词：无线电计量 冷噪声标准源 噪声温度 太赫兹技术 尖劈负载 不确定度 
PCM设备电流参数在片校准方法研究
《宇航计测技术》2024年第5期45-49,共5页丁晨 刘岩 乔玉娥 翟玉卫 吴爱华 
针对PCM设备电流参数无法在探针端进行在片校准问题,提出了一种电流参数在片校准方法。利用半导体工艺中薄膜溅射法、离子注入法,研制在片取样电阻标准件,通过组建有温度控制的定标系统对标准件进行定标,测量结果可溯源至直流电阻参数...
关键词：电流 探针 校准 半导体 电阻 
热阴极离子规阴极灯丝断裂机理研究
《真空电子技术》2024年第4期64-67,共4页吴海 赵英伟 吴爱华 
介绍热阴极离子规的工作原理及组成结构,从热阴极灯丝变细、材料缺陷和工艺缺陷3方面分析离子规阴极灯丝断裂机理,根据断裂机理提出使用过程中的一些建议,以便延长使用寿命。
关键词：热阴极 离子规 灯丝 断裂机理 
在片电容测量系统溯源及测量方法研究被引量：1
《计量学报》2023年第11期1735-1739,共5页丁晨 乔玉娥 刘岩 翟玉卫 吴爱华 
针对在片电容参数溯源及测量不准确问题,提出一种溯源及测量方法,通过在片形式的直通线将测量结果与成熟的四端对标准电容器的量值联系起来,实现了在片电容参数的溯源。通过定量研究干扰回路对测量结果的影响,对探针系统及测量线缆的影...
关键词：计量学 在片电容参数 在片直通线 四端对标准电容器 干扰回路 溯源 
热反射率校准系数与温度的相关性研究
《中国测试》2023年第8期21-27,共7页翟玉卫 丁晨 李灏 荆晓冬 刘岩 吴爱华 
为验证热反射热成像测温中温度对热反射率校准系数(CTR)的影响,采用一套热反射热成像测温装置在较宽的温度范围内对由硅衬底和金组成的被测件进行两种空气热对流条件下的测试。热反射热成像测温装置采用530 nm波长LED作为光源;在20~90...
关键词：光热反射热成像 环境温度 热反射率校准系数 非线性 
电学法热阻测试切换误差评估方法研究被引量：1
《计量学报》2023年第7期1059-1063,共5页李灏 刘岩 翟玉卫 丁晨 丁立强 吴爱华 
半导体器件电学法热阻测试过程中,电流切换带来的误差是影响测试准确性的重要原因,且该误差目前尚无有效方法评估。在对误差原理分析基础上,设计了“双芯片”测试回路结构避免电流切换,得到不含切换误差的结温参考量值,实现了对仪器测...
关键词：计量学 结温测试 电流切换 双芯片回路 
PCM设备电容参数整体校准方法研究被引量：2
《计量学报》2023年第6期962-967,共6页乔玉娥 刘霞美 丁晨 朱超 吴爱华 
半导体行业中普遍使用的工艺过程监控设备(PCM设备),是芯片产品中测环节必不可少的测量设备。PCM设备电容参数的准确测量,是保证与电容制作相关工艺参数的重要手段。针对国内PCM设备电容参数暂无溯源途径现状,根据其测试原理,研究了基...
关键词：计量学 在片电容标准件 工艺过程监控设备 整体校准 定标装置 溯源 
Excel统计在半导体设备维修分配管理中的应用被引量：1
《设备管理与维修》2023年第11期76-78,共3页刘霞美 赵英伟 王秀海 朱超 吴爱华 
为使半导体设备维修任务分配更合理,提出一种利用Excel表格设计及运用函数公式进行维修人员分配的方法。通过对维修单分配过程中分配影响因素的分析,建立维修单分配模型、设计分配统计表,插入了窗体控件。通过对控件的设置、多个日期函...
关键词：半导体设备维修 影响因素 分配模型 分配管理 
自动和半自动探针台的载片台水平位移测量方法研究
《宇航计测技术》2023年第1期30-33,75,共5页霍晔 吴爱华 王一帮 栾鹏 刘晨 梁法国 杜静 
为解决自动和半自动探针台的载片台水平方向位移发生偏差时,导致探针压点位置不准,从而使测试结果不可靠,甚至伤及芯片和探针的问题。根据实际工艺和溯源机构的标准器具特性,设计了标准尺的图形,在苏打玻璃上电镀5μm宽的金线条,制作成1...
关键词：自动 探针台 位移 标准尺 不确定度 
新型表面电阻测试系统研究被引量：1
《中国计量》2023年第1期46-47,52,共3页任宇龙 荆晓冬 丁晨 乔玉娥 刘岩 吴爱华 
针对现有防静电台面检测过程效率低、操作失误率高的问题,本文通过对检测数据采集存储、报告及合格标识自动生成等模块的研究,设计出一套新型表面电阻测试系统。该系统适用于大批量防静电台面集中检测,较传统的检测过程,省去了人工撰写...
关键词：防静电台面 检测 表面电阻 自动化 效率 
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