热阴极离子规阴极灯丝断裂机理研究  

Study on Cathode Filament Fracture Mechanism of Hot-Cathode Ionization Gauge

作　　者：吴海[1] 赵英伟[1] 吴爱华[1] WU Hai;ZHAO Ying-wei;WU Ai-hua(The 13th Research Institute,CETC,Shijiazhuang 050051,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051

出　　处：《真空电子技术》2024年第4期64-67,共4页Vacuum Electronics

摘　　要：介绍热阴极离子规的工作原理及组成结构,从热阴极灯丝变细、材料缺陷和工艺缺陷3方面分析离子规阴极灯丝断裂机理,根据断裂机理提出使用过程中的一些建议,以便延长使用寿命。The working principle and composition structure of the hot cathode ion gauge are introduced.The cathode filament fracture mechanism of the ion gauge is analyzed from three aspects of filament thinning,material defects,and process defects.Based on the fracture mechanism,some suggestions during use process are put forward to extend the service life.

关 键 词：热阴极 离子规 灯丝 断裂机理 

分 类 号：TB772[一般工业技术—真空技术]