新型表面电阻测试系统研究  

作　　者：任宇龙 荆晓冬 丁晨[1] 乔玉娥[1] 刘岩[1] 吴爱华[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所

出　　处：《中国计量》2023年第1期46-47,52,共3页China Metrology

摘　　要：针对现有防静电台面检测过程效率低、操作失误率高的问题,本文通过对检测数据采集存储、报告及合格标识自动生成等模块的研究,设计出一套新型表面电阻测试系统。该系统适用于大批量防静电台面集中检测,较传统的检测过程,省去了人工撰写原始数据、合格标识等步骤,简化了检测报告出具的方式,检测过程中可节约近30%的时间,能够极大地提高检测效率。通过为半导体生产厂家、各防静电检测机构提供行之有效的方案,解决了半导体生产单位EPA区域内大批量防静电台面检测的难题。

关 键 词：防静电台面 检测 表面电阻 自动化 效率 

分 类 号：TM934.1[电气工程—电力电子与电力传动]