吴爱华

作品数：3被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
发文主题：均匀性纳米稳定性校准粗糙度更多>>
发文领域：一般工业技术机械工程电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
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微纳米台阶标准的制备和评价被引量：1
《传感技术学报》2022年第11期1445-1450,共6页冯亚南 李锁印 韩志国 吴爱华 
台阶高度是半导体技术中重要的工艺参数,其准确度直接影响器件的整体性能。为了精确控制和表征台阶高度参数,制备了一套8 nm~50μm的台阶高度标准进行测量技术研究。首先,通过半导体热氧化工艺、反应离子刻蚀工艺制备台阶标准。其次,基...
关键词：微纳米 台阶高度 制备 白光干涉仪 平行度 粗糙度 均匀性 稳定性 
微纳米线距标准样片的研制与应用
《传感技术学报》2022年第11期1451-1457,共7页赵琳 张晓东 韩志国 李锁印 许晓青 冯亚南 吴爱华 
为了精确控制线宽尺寸参数,研制了一套周期尺寸为100 nm~10μm的线距标准样片。首先,依据样片的应用进行了图形设计,分别采用电子束直写和投影光刻技术开发出线距标准样片,并对制备出的样片进行考核,考核参数包括线距尺寸、均匀性、稳...
关键词：微纳米 线距样片 研制 CD-SEM 均匀性 稳定性 校准 
质量参数评价在微纳米间距标准样板中的应用
《传感技术学报》2022年第11期1458-1462,共5页许晓青 李锁印 赵琳 韩志国 张晓东 吴爱华 
微纳米间距标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保证。通过对微纳米间距样板作为标准物质基本要求的论述,指出了对比度、均匀性和稳定性考核在标准样板质量参数评价中的重要作用。以SEM作为测...
关键词：微纳米 质量参数 评价方法 间距 对比度 均匀性 稳定性 
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