赵琳

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供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
发文主题：样片均匀性纳米校准稳定性更多>>
发文领域：一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
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微纳米线距标准样片的研制与应用
《传感技术学报》2022年第11期1451-1457,共7页赵琳 张晓东 韩志国 李锁印 许晓青 冯亚南 吴爱华 
为了精确控制线宽尺寸参数,研制了一套周期尺寸为100 nm~10μm的线距标准样片。首先,依据样片的应用进行了图形设计,分别采用电子束直写和投影光刻技术开发出线距标准样片,并对制备出的样片进行考核,考核参数包括线距尺寸、均匀性、稳...
关键词：微纳米 线距样片 研制 CD-SEM 均匀性 稳定性 校准 
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