膜厚均匀性

作品数：79被引量：198H指数：9
导出分析报告
相关领域：理学电子电信更多>>
相关作者：蒋亚东付秀华杜晓松王涛张立超更多>>
相关机构：株式会社国际电气中国科学院光驰科技(上海)有限公司长春理工大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国家科技重大专项中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
喷涂仿真在飞机部件自动化喷涂中的应用
《中国新技术新产品》2024年第12期11-14,共4页陈佳伟 谢道秀 李洋 周富强 胡秋林 
本文基于飞机典型部件进行喷涂仿真研究,结合虚拟喷涂仿真软件和机器人运动仿真软件进行喷涂过程耦合仿真模拟,直观显示产品外表的仿真膜厚,评估产品外表的膜厚均匀性,优化喷涂路径以及喷涂参数。根据实物的仿形模型进行喷涂验证,结果...
关键词：机器人 喷涂 仿真 膜厚均匀性 
基于高频率公转速度变化策略的极紫外多层膜均匀性研究
《长春理工大学学报（自然科学版）》2024年第3期1-9,共9页徐国华 韩伟明 王佳兴 宋晓伟 
国家自然科学基金(U22A2070,62175018);重庆市科技局自然基金(CSTB2023NSCQ-MSX0302)。
应用自研高真空磁控溅射镀膜系统,在高反射率和高均匀性极紫外Mo/Si多层膜方面开展实验研究。采用高速匀速自转和调节公转转速相结合的行星运行式镀膜方法,在高频率公转速度变化策略下,实现了多层膜周期厚度的较高均匀性。实验结果表明...
关键词：磁控溅射 MO/SI多层膜 极紫外 膜厚均匀性 制备技术 
缸体类零件内腔硬质阳极氧化加极装置设计与改进
《电镀与涂饰》2024年第5期73-78,共6页申健 徐凯 王斌 刘焱 刘高飞 王小松 江海涛 马帅鹏 
川渝特高压交流工程高海拔特高压GIS温补、密封及现场安装关键技术研究(5200-202155591A-0-5-GC)。
[目的]某型号压气缸在现场安装时出现过盈配合问题,内腔硬质阳极氧化膜厚度分布不均及顶部膜厚过大是主因。[方法]设计并制作了加极装置,结合阳极氧化试验和有限元分析对其中的辅助电极进行改进。[结果]使用加极装置后,内腔阳极氧化膜...
关键词：缸体类零件 内腔 硬质阳极氧化 辅助电极 膜厚均匀性 电力线分布 有限元分析 
第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术
《真空》2023年第5期102-104,共3页张以忱 
值得指出的是,平行圆板形电容耦合的RF-PCVD装置在沉积过程中上极板上的沉积物较容易脱离而沾污沉积膜层,影响膜层质量。有时,膜厚均匀性也不够理想。2.5.3电感耦合RF-PECVD装置电感耦合装置,一般是把高频线圈置于真空沉积反应室外,利...
关键词：电感耦合 膜厚均匀性 真空沉积 电容耦合 交变磁场 沉积膜 膜层质量 沉积过程 
2.4米主镜反射膜膜厚均匀性的优化设计
《天文研究与技术》2023年第5期463-470,共8页陈鑑辉 伦宝利 秦松年 
“西部青年学者”人才项目(E129080101)资助.
膜厚均匀性是制备高性能光学薄膜的一项重要指标。为进一步提高2.4 m主镜反射膜膜厚均匀性,针对大口径望远镜镀膜设计了膜厚均匀性优化方案。基于真空热蒸发遵循的余弦分布律,结合ZZ3200型真空镀膜机的几何结构和望远镜镀膜的实际需求,...
关键词：望远镜镀膜 膜厚均匀性 球面夹具 修正挡板 
磁控溅射台
《中国科学院院刊》2023年第S01期44-44,共1页
主要技术与性能指标,系统极限真空度:≤6×10^(−5) Pa,溅射材料:Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si等,片内镀膜厚度均匀性:4英寸样片片间≤±2.9%;批间膜厚均匀性≤±3.9%(连续10炉),镀膜时工作真空度:0.1-10 Pa;起辉压力:0.3 Pa主要应...
关键词：极限真空度 厚度均匀性 膜厚均匀性 磁控溅射 金属薄膜 介质薄膜 集成电路 镀膜 
大口径超薄基板双面溅射膜厚均匀性研究被引量：1
《光子学报》2023年第6期109-117,共9页付秀华 刘俊岐 李卓霖 刘海成 任海峰 王一博 韩克旭 
2022年度中山市第二批社会公益与基础研究项目(No.2022B2005);长春市激光制造与检测装备科技创新中心长科技合(No.2014219);十三五共用技术预研基金(No.41423060202)。
可见光高透射近红外高截止滤光片采用大口径超薄尺寸的玻璃作为基板,在两面同时沉积制备而成,因此对薄膜均匀性及成膜后基板面型有着较高的要求。以Nb/Si作为薄膜靶材,采用反应溅射镀膜的方法,从靶材磁场强度分布、公-自转系统、基板夹...
关键词：光学薄膜 磁控溅射 膜厚均匀性 大口径超薄基板 红外截止滤光片 
涂装喷涂仿形制作和应用全过程质量控制被引量：1
《现代涂料与涂装》2023年第5期69-72,共4页俞锋 占早华 吕正芳 张志山 
主要介绍了涂装新车型油漆外观调试过程中外表面车身机器人喷涂仿形制作流程,从工艺策划和设计、工艺实施、实物状态等全过程进行了介绍,包括车身喷涂均匀性和车身喷涂难点问题等.
关键词：膜厚均匀性 造型 喷涂仿形 轨迹 机器人喷涂时间 
长波红外减反射膜及锥镜膜厚均匀性研究
《激光与红外》2023年第4期570-573,共4页孙琪 王美娇 张志 赵世萍 孙晓冰 
国家自然科学基金项目(Nos.11947060)资助。
红外探测因全天候、作用距离远和抗干扰性好等优点而被广泛应用。本文提出在锥镜上制备8~12μm反射率小于0.5%的长波红外减反射膜,利用Essential Macleod软件,在ZnS基片上完成了长波红外减反射膜的膜系设计。采用物理气相沉积方法,选择n...
关键词：长波红外 锥镜 减反射膜 膜层均匀性 
离子束溅射Lan-WDM滤光膜膜厚均匀性的研究
《长春理工大学学报（自然科学版）》2023年第2期25-31,共7页齐双阳 刘冬梅 朱忠尧 张于帅 韩克旭 
吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)。
光通信Lan-WDM滤光膜采用离子束溅射(IBS)沉积制备时,由于膜厚分布不均匀会导致光谱中心波长的漂移,影响有效镀膜区域。分析了离子束溅射膜厚分布特点,根据Ove Lyngnes提出的膜厚均匀性修正模型,通过修正Mask挡板来改善Ta_(2)O_(5)、SiO...
关键词：薄膜 离子束溅射 膜厚均匀性 修正挡板 窄带滤光片 
全选清除导出
共8页<12345678>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部