真空沉积

作品数：81被引量：130H指数：7
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可设计性构造近红外光驱动功能微机器人
《科学通报》2024年第28期4158-4162,共5页李万元 王吉壮 李丹 
微纳机器人(MNR)也称微纳马达,是一种可自主运动的微纳功能器件.作为一个全新的交叉研究领域,MNR在生物医学、环境修复和微纳制造等多个领域展现出巨大的应用潜力.MNR通常依赖于非对称的结构设计[1],并通过转化外界的声、光、电、热、...
关键词：微机器人 自主运动 功能器件 可设计性 非对称结构 真空沉积 驱动功能 微纳制造 
浅析真空沉积腔室的电气智能化设计
《中国设备工程》2024年第12期46-48,共3页贾坚江 
真空沉积腔是当前国内外薄膜太阳能领域的重要设备之一,腔体真空和温度均匀性要求很高,其结果直接影响镀膜效果,最终决定发电性能。为了使这些设备能够满足生产需求,创造出最理想的效益,应积极将智能化制造理念渗透到真空沉积腔的电气...
关键词：真空沉积 电气设计 智能化 PLC 组态软件 
第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术
《真空》2023年第5期102-104,共3页张以忱 
值得指出的是,平行圆板形电容耦合的RF-PCVD装置在沉积过程中上极板上的沉积物较容易脱离而沾污沉积膜层,影响膜层质量。有时,膜厚均匀性也不够理想。2.5.3电感耦合RF-PECVD装置电感耦合装置,一般是把高频线圈置于真空沉积反应室外,利...
关键词：电感耦合 膜厚均匀性 真空沉积 电容耦合 交变磁场 沉积膜 膜层质量 沉积过程 
柔性电子聚合物表面金属化工艺的研究进展
《功能材料》2023年第7期7080-7092,共13页张超 马迅 王静静 刘平 马凤仓 张柯 李伟 
国家自然科学基金项目(51971148)。
柔性聚合物具有低密度,极高的柔韧性和可变形等特点,可作为柔性电子器件的基材广泛应用于射频通讯天线、传感检测、医疗健康和微电子等领域。由于柔性聚合物的低导电性和较差的机械特性,限制了其进一步的发展。化学镀、激光成型和真空...
关键词：柔性电子聚合物 表面金属化 化学镀 激光改性 真空沉积 
面向产业化的全钙钛矿叠层光伏组件被引量：1
《化学进展》2022年第6期1247-1248,共2页孟磊 李永舫 
全钙钛矿叠层太阳电池具有低成本溶液处理的优势,在薄膜太阳能电池的大规模应用中显示出重要前景。此前,南京大学谭海仁课题组通过旋涂技术制备的小面积全钙钛矿叠层太阳电池的认证效率达到26.4%。近日,南京大学谭海仁课题组在Science...
关键词：薄膜太阳能电池 叠层太阳电池 光伏组件 南京大学 钙钛矿 真空沉积 溶液处理 大规模应用 
不同本底真空制备的Yb/Al多层膜结构和反射率研究被引量：2
《光子学报》2021年第11期271-278,共8页肖两省 齐润泽 来搏 黄秋实 吴佳莉 余越 辛子华 
国家自然科学基金(No.12003016)。
为研究本底真空对Yb/Al多层膜微结构和光学性能的影响,使用直流磁控溅射设备,在本底真空度分别为4×10^(-5)Pa、8×10^(-5)Pa、1×10^(-4)Pa、2×10^(-4)Pa和4×10^(-4)Pa条件下,制备了一组结构相同的SiC/(Yb/Al)_(3)周期多层膜。使用X...
关键词：紫外辐射 真空沉积 多层膜 反射 磁控溅射 
碳纤维基底真空沉积膜层的设计研究被引量：1
《航天制造技术》2020年第2期9-12,17,共5页翁艺航 史耀强 赵志杰 邙晓斌 侯俊 
天线反射器是卫星有效载荷中最重要的部分,是实现对地探测、反映产品探测灵敏度的关键部件。为保证碳纤维基底天线反射器在轨工作精度,同时满足特定的热控属性、电属性需求,提出采用真空沉积法在碳纤维基底表面镀制粘结膜层(NiCr)、反...
关键词：碳纤维基底 真空沉积 反射膜层 粘结膜层 保护膜层 
纳米生色——织物抗静电的新途径被引量：4
《染整技术》2020年第2期20-23,共4页刘琼溪 刘协权 倪新华 梁媛 
简述了织物静电的产生和危害,介绍了常用的织物抗静电方法,重点介绍了纳米生色面料优良的抗静电性能。与传统的织物抗静电方法相比,纳米生色面料的抗静电功能来自于纳米生色技术在面料表面形成的镀膜,无需再做抗静电后整理,环境友好、...
关键词：纳米生色 真空沉积 织物 抗静电 
纳米生色面料的防水透气性能与抗菌性能被引量：1
《染整技术》2020年第2期24-27,共4页刘琼溪 张欣 余荣沾 梁媛 
简述了纳米生色技术的原理,归纳了纳米生色技术的6大优势;给出了纳米生色面料防水透气性能和抗菌性能的实验结果。与传统方法比较,纳米生色面料的防水透气性能与抗菌性能是该技术赋予面料本身的自然属性,并没有做专门的处理,既绿色环保...
关键词：纳米生色 真空沉积 防水 透气性 抗菌性 
纳米生色面料防紫外线性能研究被引量：4
《染整技术》2019年第6期13-15,共3页刘琼溪 张欣 余荣沾 梁媛 
简述了纳米生色技术的原理,给出了纳米生色面料防紫外线实验结果。与传统的防紫外线技术比较,纳米生色面料防紫外线整理具有绿色环保、防护系数高和性价比高等优势,具有很好的推广应用价值。
关键词：纳米生色 真空沉积 防紫外线 
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