浅析真空沉积腔室的电气智能化设计  

作　　者：贾坚江 

机构地区：[1]龙焱能源科技(杭州)有限公司,浙江杭州310018

出　　处：《中国设备工程》2024年第12期46-48,共3页China Plant Engineering

摘　　要：真空沉积腔是当前国内外薄膜太阳能领域的重要设备之一,腔体真空和温度均匀性要求很高,其结果直接影响镀膜效果,最终决定发电性能。为了使这些设备能够满足生产需求,创造出最理想的效益,应积极将智能化制造理念渗透到真空沉积腔的电气设计方面,运用高端的PLC与组态软件提高真空腔体的真空稳定性和温度均匀性,确保能够生产出优质高效的薄膜电池。

关 键 词：真空沉积 电气设计 智能化 PLC 组态软件 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TM76[自动化与计算机技术—控制科学与工程]