介质薄膜

作品数：83被引量：149H指数：6
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基于粗糙介质薄膜的高性能MEMS红外光源研究
《功能材料与器件学报》2024年第4期190-196,共7页郭星辰 王翊 周宏 刘延祥 陆仲明 李铁 
项目号:2020JCJQZD19222
目前,工业领域对于气体监测的需求日益增长,在各种气体传感器中,红外传感器由于其高精度、高选择性的优势得到了广泛开发应用。红外光源是红外传感器中的关键元件,其发射率决定了传感器的性能,传统的发射率提高方法主要为制作表面微结...
关键词：微机电系统 红外光源 红外气体传感器 粗糙介质薄膜 
电容器用高方阻金属化薄膜电极设计、解析与性能调控被引量：1
《电力电容器与无功补偿》2024年第1期128-139,共12页董琦 李浩林 党智敏 
国家重点研发计划(2021YFB2401504)。
金属化介质薄膜是高压电容器的关键组成部分,由于其突出的耐温耐压性能,被广泛应用于电力系统、脉冲功率和新能源汽车等领域。金属化薄膜具有优异的自愈特性,但在大电流冲击下,极薄的金属电极极易出现断裂、失效等现象,是影响电容器安...
关键词：金属化介质薄膜 高方阻 电极结构 表界面工程 电气特性 
电容器用介质薄膜多物理场下电导测量实验平台
《电力电容器与无功补偿》2024年第1期95-101,共7页赵子轩 佟宇晶 张心桐 屠幼萍 
国家重点研发计划(2021YFB2401503)。
金属化膜电容器具有更高的工作电压和储能密度,现阶段广泛应用于新能源电力系统中。然而这些应用场景对金属化膜电容器在复杂环境下的性能提出了更高的要求。其中介质薄膜作为核心元件,其电学性能直接关系到电容器的耐压程度和储能密度...
关键词：金属化膜电容器 介质薄膜 多物理场 电导测量 
磁控溅射台
《中国科学院院刊》2023年第S01期44-44,共1页
主要技术与性能指标,系统极限真空度:≤6×10^(−5) Pa,溅射材料:Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si等,片内镀膜厚度均匀性:4英寸样片片间≤±2.9%;批间膜厚均匀性≤±3.9%(连续10炉),镀膜时工作真空度:0.1-10 Pa;起辉压力:0.3 Pa主要应...
关键词：极限真空度 厚度均匀性 膜厚均匀性 磁控溅射 金属薄膜 介质薄膜 集成电路 镀膜 
拉盖尔-高斯光束在拓扑绝缘体分层介质薄膜的相位分布被引量：1
《激光与光电子学进展》2022年第5期296-301,共6页孟惠 王明军 宁铎 任神河 
国家自然科学基金(61771385)。
拓扑绝缘体(TI)是一种具有特殊能带结构的新型量子物态。它的体内结构像绝缘体一样不导电,而表面像导体一样具有金属性能够导电,能够实现无损耗传播能量和信息,良好的光学透射率。利用平面角谱展开法和传输矩阵理论研究了拉盖尔-高斯(LG...
关键词：表面光学 拉盖尔-高斯光束 拓扑绝缘体 相位结构 分层介质 传输矩阵理论 
利用分光计测量介质薄膜的厚度与折射率被引量：4
《大学物理实验》2021年第6期4-6,共3页曾孝奇 邵明珍 陈佶 杨珺 
南科大教改项目(Y01051944);2020年高年学校教学研究项目(DJZW202029zn)。
提出一个在分光计平台上同时测量介质薄膜厚度与折射率的实验方案。改变光线入射角,测量薄膜样品的反射率,利用数值拟合的方法同时得到了薄膜的参数。实验结果与厂家提供的参考值及由椭偏仪测试结果吻合得较好。该实验内容可作为分光计...
关键词：分光计 多光束干涉 厚度与折射率 介质薄膜 
HfO_(2)介质薄膜表面原位低温沉积石墨烯研究
《稀有金属与硬质合金》2021年第5期41-46,共6页曹振勇 王伟 刘姗 樊瑞祥 
河北省自然科学基金项目(F2019202377)。
研究了高k介质HfO_(2)薄膜制备工艺和石墨烯原位沉积工艺的结合。采用真空电子束蒸镀在重掺杂Si衬底上室温沉积HfO2薄膜,并对薄膜样品分别进行400、450、500℃的恒温90 s快速退火处理。AFM测试结果表明,退火处理后HfO2薄膜表面的均方根...
关键词：石墨烯 HfO_(2)薄膜 真空电子束蒸镀 快速退火 原位低温沉积 PECVD 工艺结合 
基于MWCNT-PDMS高灵敏度电容式柔性压力传感器被引量：7
《微纳电子技术》2021年第10期920-925,共6页徐国际 张文磊 李廷鱼 顼建乐 郭丽芳 李刚 
国家自然科学基金资助项目(U1810204,61901293,22002083,21905099);山西省自然科学基金资助项目(201901D111099,201901D211074);山西省高校科技创新研究项目(2016138)。
作为柔性电子器件的重要分支,高灵敏度柔性压力传感器已成为当前研究热点。选取聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为柔性介质薄膜和氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇酯(ITO-PET)作为柔性电极构建三明治结构电容式柔性压力传感器,通过在PDMS薄膜内掺杂...
关键词：电容式柔性压力传感器 多壁碳纳米管(MWCNT) 柔性电子器件 柔性介质薄膜 柔性电极 
不同波长对介质薄膜损伤阈值的影响研究被引量：6
《光学与光电技术》2020年第4期96-105,共10页邓小红 苏俊宏(指导) 
国家自然科学基金(61378050);陕西省科技计划(2018KWZ-02)资助项目
激光诱导损伤阈值(Laser-Induced Damage Threshold,LIDT)是衡量薄膜光学元件抗激光作用能力的重要指标,其大小受脉冲激光各种输出参数、激光作用方式、薄膜材料及制备方式以及损伤识别方法等诸多因素的影响。以K9玻璃为基底,采用离子...
关键词：薄膜 损伤阈值 损伤识别 膜厚 波长 
清华电机系李琦、何金良在高温电容器介质薄膜方面取得重要进展
《绝缘材料》2018年第11期80-80,共1页
10月3日，清华大学电机系李琦副教授、何金良教授及合作者在《先进材料》（Advanced Materials）期刊上发表了题为《一种显著提高聚合物电介质高温储能特性的通用化、高通量、环境友好的制备方法》 （A Scalable, High-Throughput and E...
关键词：清华大学电机系 介质薄膜 高温 电容器 金 先进材料 储能特性 制备方法 
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