红外光源

作品数：155被引量：266H指数：8
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基于粗糙介质薄膜的高性能MEMS红外光源研究
《功能材料与器件学报》2024年第4期190-196,共7页郭星辰 王翊 周宏 刘延祥 陆仲明 李铁 
项目号:2020JCJQZD19222
目前,工业领域对于气体监测的需求日益增长,在各种气体传感器中,红外传感器由于其高精度、高选择性的优势得到了广泛开发应用。红外光源是红外传感器中的关键元件,其发射率决定了传感器的性能,传统的发射率提高方法主要为制作表面微结...
关键词：微机电系统 红外光源 红外气体传感器 粗糙介质薄膜 
低功耗检测CO_(2)的MEMS红外光源结构设计与仿真
《红外技术》2024年第8期858-863,共6页滕雪松 禹胜林 魏志杰 房村 熊思娴 王梦婷 
传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构...
关键词：微机械电子系统 红外光源 低功耗 稳固结构 
基于微纳结构的MEMS红外窄带热光源及其应用
《激光与光电子学进展》2024年第13期139-152,共14页李若禺 郭小伟 张驰 李绍荣 
四川省科技计划项目(2022ZYD0110);中国烟草总公司四川分公司项目(SCYC202120)。
热发射光谱在环境监测、天体物理、医学诊断和药物研发等领域得到广泛关注和利用。基于微机电系统的红外光源虽然有效缩小了器件体积,但仍存在光谱分布范围广、发射率较低等缺点,通过对微纳结构的合理利用,可以控制热发射的光谱特性,有...
关键词：热发射 红外光源 窄带发射 微机电系统 
基于纳米铂黑材料的超高辐射率MEMS红外光源研究
《传感器与微系统》2024年第3期39-42,51,共5页树东生 陶继方 徐茂森 赵佳 李炎 张小水 
国家重点研发计划资助项目(SQ2019YFB200002)。
本文基于微机电系统(MEMS)设计和加工技术,研制了一种高辐射率、低功耗、高调制速率的MEMS红外(IR)光源,通过在工艺中引入高可靠的纳米铂黑(Pt-black)材料作为红外辐射层,在2~14μm光谱范围内成功实现了99.5%以上的平均辐射效率。在5V...
关键词：微机电系统 微型红外光源 红外气体传感器 微机电系统红外光源 
CMOS红外光源的设计与实现
《传感器与微系统》2024年第2期120-123,126,共5页王林峰 余隽 李中洲 黄正兴 朱慧超 唐祯安 
国家重点研发计划资助项目(2019YFB2005702);国家自然科学基金资助项目(61874018)。
基于红外气体传感器微型化、低成本和低功耗的发展需要,设计了一种用于非色散红外(NDIR)集成气体传感器的互补金属氧化物半导体(CMOS)红外光源。它以非等间隔的蛇形钨(W)薄膜电阻作为加热丝,以二氧化硅(SiO_(2))和氮化硅(Si_(3)N_(4))...
关键词：互补金属氧化物半导体红外光源 非色散红外集成气体传感器 辐射增强层 钨丝微热板 
新型快速红外光源光纤检测系统及其用于油田采出液持水率检测研究
《重庆理工大学学报（自然科学）》2023年第12期147-154,共8页刘玉国 毛晓楠 张瑞霞 岳广韬 魏伟 闫丽丽 
“十三五”国家科技重大专项重点项目“胜利油田特高含水期提高采收率技术(二期)”课题四特高含水油田高效采油工程技术(2016ZX05011-004);中石化股份有限公司“水驱油藏水平井高效找堵水技术研究与应用”项目(P19005-3)。
获得较为精准的原油持水率数据,对于注水策略调整、原油开采能力评估、油井开发寿命预测等均具有重要意义。现有检测方法均存在较大检测误差与缺陷,亟须新的方法与设备提升检测效率。原油采出液各组分对不同波长光信号的吸收存在差异,...
关键词：光纤 近红外 持水率 油田 
三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究被引量：1
《传感器与微系统》2023年第4期43-46,共4页李海生 许高斌 冯建国 马渊明 
设计并研究了一种三端梁结构的微机电系统(MEMS)红外光源,用于非色散红外吸收光谱气体传感器。MEMS红外光源以硅(Si)为基底,铂/钛(Pt/Ti)层为加热单元和传感单元,采用圆环状电阻结构实现了低功耗和良好的温度均匀性。光源采用三梁固支...
关键词：微机电系统 红外光源 三端梁结构 金属反射层 
基于红外光吸收法的大气环境污染物浓度自动监测方法研究被引量：3
《环境科学与管理》2023年第4期129-134,共6页刘曦阳 
针对大气环境污染物浓度监测值准确度较差的问题,设计基于红外光吸收法的大气环境污染物浓度自动监测平台。平台由光学系统模块、气路系统模块、红外光谱数据预处理模块、测量模块构成。光学系统模块由探测器与红外光源两部分构成。气...
关键词：红外光吸收法 大气环境污染物 红外探测器 污染物浓度监测 红外光源 
国六柴油发动机尾气排放检测装置设计研究被引量：1
《西部交通科技》2022年第9期166-168,共3页梁海明 
广西壮族自治区交通运输厅2020年度第三批广西交通运输行业重点科技项目“国六柴油发动机尾气排放快速检测装置关键技术研究”(编号:JZY2020KZD04)。
针对传统汽车尾气检测分析仪存在体型较大、操作繁琐、检测功能单一等问题,文章提出设计一款国六柴油发动机尾气排放检测装置。该装置硬件方面主要由氧传感器、滤纸烟度计检测、温度传感器,红外光源、水分离器、80C51单片机等组成,软件...
关键词：氧传感器 滤纸烟度计检测 温度传感器 红外光源 水分离器 80C51单片机 
一种用于CO_(2)气体传感器的新型MEMS红外光源被引量：5
《半导体光电》2021年第5期635-640,共6页杨靖 李小飞 李中洲 余隽 唐祯安 梅勇 张灵舒 袁宇鹏 
国家重点研发计划项目(2017YFB0406404)。
基于CO_(2)红外气体传感器微型化、智能化、低功耗的发展要求,创新性地提出一种中心温度为407℃的CO_(2)检测用微电子机械系统(MEMS)红外光源芯片。采用X型悬空桥式微热板结构,内部发热区域以环形走线的钨(W)电极为加热丝,以SiO_(2)和Si...
关键词：CO_(2) MEMS红外光源 微热板 功耗 热响应时间 
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