微热板

作品数：57被引量：109H指数：6
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气凝胶填充式微热板的设计及性能测试
《传感器与微系统》2024年第11期113-116,共4页何小霞 顾智琦 苗斌 徐瞻 李淑娴 李加东 
国家自然科学基金资助项目(62074159)。
为改善封闭膜式MEMS硅基微热板的热耗散问题,设计并制备了加热区域为200μm×200μm气凝胶填充式微热板结构,气凝胶填充采用刮涂工艺实现。背腔中填充的二氧化硅(SiO_(2))气凝胶可减小封闭膜微热板背腔引起的热损失,同时提升加热区域的...
关键词：微热板 气凝胶 隔热 烟尘传感器 
MEMS微热板结构设计与仿真
《传感器与微系统》2024年第10期100-104,共5页王玫 王旭丹 姜利英 
国家自然科学基金资助项目(62073299);河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(242102210216);中原科技创新领军人才项目(224200510026)。
微热板作为很多微机电系统(MEMS)传感器和执行器的基础结构,对器件性能影响极大,在气体传感器、燃料电池等领域都有着重要的应用。本文提出了几种悬浮式结构的微热板设计,并利用有限元分析方法(FEA),在气体传感器常用的工作温度400℃下...
关键词：微热板 有限元分析方法 MEMS传感器 气体传感器 低压化学气相沉积 
共面式MEMS气体传感器微热板设计与仿真
《河南科技》2024年第8期18-22,共5页周晓斌 王玫 王旭丹 
河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(242102210216)。
【目的】常见膜式结构和悬浮式结构的MEMS气体传感器在垂直方向上存在寄生电场,会对气体传感器的检测信号造成一定影响。为了降低寄生电场对气体传感器性能的影响,提出了一种共面结构的MEMS气体传感器,并对其微热板进行了建模仿真及优...
关键词：共面结构 MEMS 气体传感器 微热板 有限元仿真 
CMOS红外光源的设计与实现
《传感器与微系统》2024年第2期120-123,126,共5页王林峰 余隽 李中洲 黄正兴 朱慧超 唐祯安 
国家重点研发计划资助项目(2019YFB2005702);国家自然科学基金资助项目(61874018)。
基于红外气体传感器微型化、低成本和低功耗的发展需要,设计了一种用于非色散红外(NDIR)集成气体传感器的互补金属氧化物半导体(CMOS)红外光源。它以非等间隔的蛇形钨(W)薄膜电阻作为加热丝,以二氧化硅(SiO_(2))和氮化硅(Si_(3)N_(4))...
关键词：互补金属氧化物半导体红外光源 非色散红外集成气体传感器 辐射增强层 钨丝微热板 
MEMS气体传感器微热板芯片热均匀性设计及性能被引量：1
《微纳电子技术》2023年第11期1834-1841,共8页田昕 陶继方 庞子瑞 林玉哲 赵佳 袁泓晔 郑春宏 贺帅斌 于泽平 
基于微电子机械系统(MEMS)技术的气体传感器具有灵敏度高、尺寸小、响应速度快、功耗低等优点,成为下一代半导体气体传感器的重要发展方向,其中敏感氧化物材料的温度均匀性对其探测灵敏度、选择性和可靠性均有重要影响。聚焦MEMS气体传...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 气体传感器 微热板芯片 有限元仿真 低功耗 
MEMS微热板研究进展被引量：4
《传感器与微系统》2023年第7期6-10,共5页沈伟强 杨俊超 马薇 张根伟 杨杰 曹树亚 
国家重点研发计划资助项目(2018YFC0809300)。
随着微纳加工技术的不断进步,传感器逐渐向微型化、低功耗、低成本发展。采用微机电系统(MEMS)工艺制备的微热板作为加热和支撑平台,为敏感材料提供稳定的加热温度。因此,微热板的热性能和机械性能是研制过程中重点关注的问题。本文从...
关键词：气体传感器 微机电系统 微热板 加热电极 
低功耗微热板ZnO甲烷传感器仿真及性能研究被引量：5
《工程科学学报》2023年第6期987-994,共8页李加明 焦明之 钱晨 
国家自然科学基金资助项目(52174222);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2020QN69);国家自然科学基金青年基金资助项目(62204260)。
随着微机电系统(MEMS)的发展,运用该技术的半导体传感器也跟着迅速发展,逐渐走向微型化、集成化和智能化.基于MEMS的微加热板(MHP)的金属氧化物甲烷传感器具有功耗小、响应快等优点,广泛应用于甲烷检测.其中,氧化锌(ZnO)甲烷敏感材料因...
关键词：甲烷 微加热板 有限元分析 磁控溅射 氧化锌 
用于微热板气体传感器的EHD打印有限元仿真
《仪表技术与传感器》2022年第10期6-10,共5页邹文静 姚冠宇 朱慧超 余隽 黄正兴 
国家自然科学基金项目(61874018)。
为了研究通过电流体动力学(EHD)打印在微热板上涂覆气敏材料过程中各参数对锥射流形成的影响,采用多物理场有限元仿真软件分析了锥射流形成过程。高速摄像机拍摄锥射流形成过程与仿真锥射流形成过程一致,验证了仿真分析的有效性。仿真...
关键词：电流体动力学打印 有限元仿真 微热板气体传感器 气敏材料 薄膜 
基于微热板的加热控温集成电路设计
《集成电路应用》2022年第9期4-5,共2页王辉 
阐述PWM方式进行控温的集成电路设计,根据微热板的热学特性建立相应的电学模型,利用功耗与电流之间的关系得出最小测试电流,对加热控温电路进行仿真和优化设计。
关键词：集成电路设计 微热板 加热温控 
MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究被引量：5
《传感器与微系统》2022年第5期36-38,43,共4页张伟岩 岳宏 刘继江 尹春岳 孙略升 王烜赫 
通过Ansys仿真分析,对微机电系统(MEMS)气体传感器悬膜式微热板整体结构进行优化,有效地降低热串扰,减少加热层向硅基底的热量传导,从而降低传感器的功耗;并设计圆弧应力匀散结构,降低微热板的热应力。测试气敏结果表明:该传感器对NO_(2...
关键词：微热板 隔热 热应力 敏感膜 气敏性能 
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