苗斌

作品数：14被引量：13H指数：2
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供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文主题：超声换能器微机械压电电极压电层更多>>
发文领域：电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》《微纳电子技术》《传感器与微系统》《上海师范大学学报（自然科学版中英文）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金江苏省科技支撑计划项目江苏省自然科学基金更多>>
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PMUT集成Helmholtz谐振腔对测距性能产生的影响分析
《压电与声光》2025年第1期113-120,128,共9页刘浩杰 塔桂峰 姚术涛 李加东 苗斌 商文玲 冯昌坤 陶金燕 
苏州市科技计划项目(SSD2023001);国家自然基金项目(62074159);国家重点研发计划(2021YFB3201600)。
压电微机械超声换能器(PMUT)是超声测距领域的重要传感器件,增强PMUT的测距性能对促进工程化应用具有重要意义。基于Helmholtz谐振腔体的吸声和扩声特性,设计了吸收PMUT背部声波的腔体结构及正向扩声的喇叭口结构。实验结果表明,在2 m...
关键词：压电微机械超声换能器(PMUT) Helmholtz谐振腔体 有限元仿真 超声测距 
气凝胶填充式微热板的设计及性能测试
《传感器与微系统》2024年第11期113-116,共4页何小霞 顾智琦 苗斌 徐瞻 李淑娴 李加东 
国家自然科学基金资助项目(62074159)。
为改善封闭膜式MEMS硅基微热板的热耗散问题,设计并制备了加热区域为200μm×200μm气凝胶填充式微热板结构,气凝胶填充采用刮涂工艺实现。背腔中填充的二氧化硅(SiO_(2))气凝胶可减小封闭膜微热板背腔引起的热损失,同时提升加热区域的...
关键词：微热板 气凝胶 隔热 烟尘传感器 
基于ScAlN薄膜的高频PMUT阵列的设计与制造被引量：1
《压电与声光》2024年第4期496-504,共9页塔桂峰 刘建河 李加东 姚术涛 刘浩杰 苗斌 商文玲 陶金燕 
苏州市科技计划基金资助项目(SSD2023001);国家自然基金资助项目(62074159);国家重点研发计划基金资助项目(2021YFB3201600)。
高频压电微机械超声换能器(PMUT)应用于各种场景,如指纹识别、无损检测、医疗成像。在当前非侵入式血管成像应用中,存在换能器使用锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)及局限于1-D PMUT阵列的问题。设计并制作了一种基于ScAlN材料压电薄膜的2D-PMUT...
关键词：高频压电微机械超声换能器阵列(PMUT) ScAlN薄膜 有限元仿真 器件制备 非侵入式血管成像 
基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
《压电与声光》2024年第3期409-413,428,共6页贺龙 李淑娴 苗斌 李加东 陈颖 苗小浦 吴森 
国家重点研发计划(2021YFB3201600);国家自然科学基金(面上项目)(62074159);苏州市科技计划项目(SSD2023001)
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探...
关键词：关键尺寸原子力显微镜探针 深沟槽 大悬垂侧壁 大高宽比 有效高度 
基于压电微机械超声换能器的扫描式手势识别传感器被引量：1
《微纳电子技术》2023年第11期1808-1816,共9页张士钦 胡益民 苗斌 王光华 李加东 
国家自然科学基金(面上项目)(52172005)。
超声手势识别是实现非接触交互的重要方式之一。基于压电微机械超声换能器(PMUT)的手势识别传感器具有功耗低、体积小、不受环境光影响等优点,当前主要是基于PMUT阵列的方式实现,提出了一种基于单振元PMUT的扫描式手势识别传感器。该传...
关键词：压电微机械超声换能器(PMUT) 手势识别传感器 电磁驱动 超声扫描 多层感知机(MLP) 
基于PZT薄膜的高频压电式微机械超声换能器的仿真与制备
《上海师范大学学报（自然科学版）》2023年第5期597-608,共12页刘亚琦 陈明珠 张巧珍 赵祥永 王巨杉 唐艳学 王飞飞 王书豪 汪尧进 苗斌 李加东 
国家自然科学基金(52172005,11574214,11974250)。
压电式微机械超声换能器(PMUT)是当前生物医学超声成像领域的研究热点.锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3),PZT)压电薄膜是近年来微机械超声换能器使用的核心压电材料.基于PZT压电薄膜,使用有限元软件COMSOL Multiphysics创建了三维有限元仿...
关键词：压电式微机械超声换能器(PMUT) 高频 锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3) PZT)薄膜 器件制备 
声压增强型压电微机械超声换能器被引量：1
《压电与声光》2023年第4期619-623,共5页张玉超 王光华 周红宇 张士钦 苗斌 李加东 
国家自然基金资助项目(62074159);国家重点研发计划基金资助项目(2021YFB3201600)。
压电微机械超声波换能器(PMUT)在医疗成像、测距、无损检测和流量感应等领域有着广阔的应用前景。针对传统结构PMUT输出声压较低的问题,该文提出了一种集成亥姆霍兹谐振腔的声压增强型PMUT。构建了声压增强型PMUT的等效电路模型,模拟并...
关键词：压电微机械超声波换能器(PMUT) 输出声压 亥姆霍兹谐振腔 等效电路 测距 
用于减小PMUT“盲区”的回波检测方法被引量：1
《压电与声光》2023年第3期363-367,共5页王光华 张玉超 胡益民 苗斌 张士钦 周红宇 赵祥永 李加东 
国家自然基金资助项目(编号:62074159);国家重点研发计划(项目编号:2021YFB3201600);国家自然科学基金资助项目(编号:52172005)。
收发一体式压电微机械超声波换能器(PMUT)的接收信号存在较长的拖尾,导致近场原始回波难以区分,造成测量盲区,对此提出了一种在拖尾段识别回波信号的方法。该方法利用解调对数放大器非线性压缩接收信号并进行包络处理,得到拖尾段具有明...
关键词：PMUT 收发一体式 拖尾 测量盲区 极值点 峰值 
基于压电微机械超声换能器的液体密度测量传感器
《压电与声光》2023年第3期374-378,共5页周红宇 张玉超 苗斌 李加东 
国家自然基金资助项目(编号:62074159);国家重点研发计划(项目编号:2021YFB3201600)。
液体产品的密度检测是审核产品品质的重要手段之一。针对当前传统密度检测装置体积大、功耗高、不易在线检测的问题,该文设计并制作了一种基于压电微机械超声换能器(PMUT)的液体密度测量传感器。该传感器由两个PMUT(半径为500μm,空气...
关键词：密度检测 压电微机械超声换能器 薄膜振动 
高动态位移ScAlN基超声换能器的设计及制作被引量：1
《压电与声光》2021年第2期183-186,191,共5页彭火祥 苗斌 徐瞻 刁莉娜 程晋荣 李加东 赵祥永 张巧珍 
超声探测作为重要的感知技术,其探测性能一直是学术界研究的热点。针对薄膜超声换能器谐振位移低,导致输出声压较低,从而影响探测性能的问题,该文提出了一种高动态位移的薄膜ScAlN基超声换能器结构,该结构直径为360μm,中心处膜层由4...
关键词：ScAlN薄膜 动态位移 新型pMUT结构 
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