MEMS传感器

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基于MEMS传感器的基坑土体变形监测试验研究与应用
《传感器与微系统》2025年第4期165-168,共4页顾正浩 虞洪 王风栋 吕鑫龙 邱俊 陈晓斌 
基于MEMS传感器技术,提出了一种基坑开挖变形监测系统。介绍了系统工作的基本原理和位移变形监测的计算方法。通过自行设计的试验装置,对该系统的误差进行试验校核,试验模型试验的误差在3 mm以下。依托湖州某地区深基坑工程,将该系统应...
关键词：MEMS传感器 倾角传感器 基坑变形监测 
MEMS传感器异质材料键合界面的可靠性分析
《合肥工业大学学报(自然科学版)》2025年第4期469-474,共6页袁婷 许高斌 关存贺 马渊明 冯建国 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008901);安徽省发改委研发创新资助项目(JZ2021AFKJ0050)。
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对...
关键词：微机电系统(MEMS)传感器 异质材料 键合界面 热应力 可靠性 
新型传感器技术在桥梁安全检测中的应用探索
《中国科技期刊数据库 工业A》2025年第4期024-027,共4页鞠显鹏 
随着桥梁数量的快速增加及其运行环境的复杂化,对桥梁安全检测提出了更高要求。本文研究了新型传感器技术在桥梁安全检测中的应用,从光纤传感器、MEMS传感器和无线传感器的特点入手,分析了其在应力、振动和温度等关键参数监测中的实际案...
关键词：桥梁安全检测 新型传感器 光纤传感器 MEMS传感器 
北京遥测技术研究所MEMS工程中心
《遥测遥控》2025年第2期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力...
关键词：薄膜压力传感器 遥测技术 角速率传感器 MEMS传感器 MEMS技术 洁净厂房 产品生产线 创新平台 
MEMS传感器在桥梁挠度测量中的应用研究
《价值工程》2025年第9期109-111,共3页张建明 
甘肃省高等学校创新基金项目:新型MEMS传感器在土木工程测量中的应用研究(2022A-303)。
桥梁变形监测是桥梁结构健康监测中的重要内容,研究低成本、具备人工智能技术监测桥梁变形意义重大。将桥梁简化为简支梁,基于有限元理论进行变形分析,合理布设MEMS倾角传感器,利用三次样条插值方法拟合桥梁挠度曲线,通过有限元计算和...
关键词：MEMS倾角传感器 有限元 三次样条插值 挠度曲线 
基于MEMS和无线通信的余震流动监测预警系统
《世界地震工程》2025年第1期133-144,共12页周浩 朱景宝 宋晋东 李山有 
中国地震局工程力学研究所基本科研业务费专项(2024C05);国家自然科学基金项目(42304074,51408564)。
余震作为地震后的主要次生灾害,对救援人员和受灾区域的安全构成严重威胁。为了有效监测余震活动并为救援行动提供及时信息,针对缺乏公共网络支持、需要高度机动性和适应复杂环境的监测背景,构建了一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanica...
关键词：余震监测 流动监测 MEMS传感器 无线通信技术 机器学习 
高速平板模型壁面剪切应力数值模拟研究
《空天技术》2025年第1期59-67,共9页付政伟 杨水旺 张琦 江宇璇 陈小婷 
北京振兴计量测试研究所青年创新项目(99300004636)。
针对高速飞行器壁面剪切应力测量试验环境以及壁面剪切应力传感器的精度影响因素,采用经典的楔形平板模型作为计算模型,利用ANSYS Fluent流体仿真软件对MEMS浮动元件壁面剪切应力传感器在Ma=6的高速流体中的试验环境进行仿真计算,确定...
关键词：高速平板模型 壁面剪切应力测量 MEMS传感器 CFD 
北京遥测技术研究所MEMS工程中心
《遥测遥控》2025年第1期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力...
关键词：薄膜压力传感器 遥测技术 高温压力传感器 加速度传感器 MEMS传感器 MEMS器件 MEMS技术 洁净厂房 
一种小体积MEMS传感器数据记录仪
《微纳电子技术》2025年第1期110-117,共8页尚义航 赵凯明 段俊萍 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(52175555);国家自然科学基金创新群体资助项目(51821003);山西省基础研究计划资助项目(20210302123074)。
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传...
关键词：传感器数据记录仪 微电子机械系统(MEMS) 小体积 高抗过载 低功耗 
基于旋转矩阵的MEMS-IMU传感器安装误差校准算法
《空天预警研究学报》2024年第6期420-425,共6页王鹏 余未 倪屹 
为解决微型惯性测量单元(MEMS-IMU)传感器的安装误差对测量结果的影响,提出了一种基于旋转矩阵的安装误差校准算法,以提高在安装误差较大情况下的角度测试精度.首先基于旋转矩阵和坐标变换对倾角传感器与被测物的安装误差建立数学模型,...
关键词：MEMS传感器 姿态解算 旋转矩阵 在线误差校准 
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