敏感膜

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电容式压力传感器的设计和仿真分析
《传感器与微系统》2025年第4期88-91,共4页曹海燕 王慧慧 赵鹤然 孙晓东 张颖 
辽宁省高等学校基本科研项目(LJKQZ2021189)。
对微器件中应用较广泛的一种电容式MEMS压力传感器的结构进行了优化设计,提出了一种新型的电容式压力传感器设计方案,使MEMS结构与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容。通过Ansys软件建立模型并进行仿真分析,结果表明:传感器的性能与...
关键词：电容式压力传感器 互补金属氧化物半导体工艺 ANSYS软件 敏感膜 
压力传感器湿法腐蚀敏感膜的工艺研究
《压电与声光》2025年第1期63-68,共6页闫施锦 王丙寅 王志强 雷程 冀鹏飞 邱海兵 谭秋林 梁庭 
国家重点研发计划(2023YFB3209100);山西省重点研发计划(2023020302010)。
随着压力传感器的小型化和高频化发展,降低成本并提升制造工艺成为当前研究的关键。该文通过优化硅片湿法腐蚀工艺来降低压力传感器的制造成本,并使其性能更贴近设计要求。首先,深入研究了不同浓度TMAH(四甲基氢氧化铵)对硅片腐蚀效果...
关键词：压力传感器 湿法腐蚀 敏感膜 腐蚀形貌 粗糙度 
基于PVC基体的铵离子敏感膜制备及性能表征
《电力科技与环保》2024年第4期416-426,共11页雒建中 柏源 韦飞 周香 刘田田 梅蓉 金奇杰 徐海涛 闫新龙 林正根 
国家自然科学基金项目(22378417);国家能源集团科学技术研究院有限公司科技项目(HB2023Y02)。
铵离子选择电极是电厂脱硫废水氨氮检测传感器的核心部件,而铵离子敏感膜是影响传感器电极性能的关键因素。为获得性能较好的铵离子敏感膜,本文以PVC为敏感膜基体,针对增塑剂、离子添加剂和离子载体的这3种添加剂的组合变化筛选最佳配...
关键词：脱硫废水 铵离子选择电极 敏感膜 增塑剂 电极性能 
表面应力敏感膜传感图像的振动校正算法
《光学技术》2024年第4期466-471,共6页周大唐 何刚 严来军 陈爽 陈晓栋 
国家重点研发计划(2020YFA0405700);四川省科技厅项目(NO.2020YFS0454);试验技术研究项目(2022G02000420007)。
表面应力敏感膜传感系统在风洞中的不稳定振动给测量结果带来较大的误差,提出了一种自标定方法对表面应力敏感膜传感图像进行振动校正,消除不稳定平台振动的影响,减少测量误差。首先通过原始传感图像的互相关获得包含振动和有效信息的...
关键词：光学测量 振动校正 表面应力敏感膜 互相关 不稳定平台 透视变换 
基于光子自旋霍尔效应的甲烷检测理论研究
《激光技术》2024年第3期345-351,共7页侯自如 王哲飞 武永 
江苏省大学生创新创业训练计划资助项目(202310300079Y)。
为了实现对甲烷体积分数的高精度检测,采用多层结构激发了具有高品质因素的光子自旋霍尔效应现象。利用非对称的排列方式,将甲烷敏感膜引入结构中,通过敏感膜的折射率变化,实现对甲烷体积分数的检测;研究了气体孔隙率、周期数、金属厚...
关键词：传感器技术 甲烷体积分数 甲烷敏感膜 非互易 光子自旋霍尔效应 
新能源锂电池行业pH分析仪选型解析
《仪器仪表用户》2024年第2期19-21,24,共4页高宝艳 
现在pH分析仪在工业生产过程中的应用极广。首先,它是典型的水质分析仪表,在各个行业的循环水、去离子水和污水处理上都用pH分析仪来监测和控制水的pH值;其次,在精细化工行业中同样也要监测和控制产品的pH值,以保证产品的质量;最后,在...
关键词：工作原理 PH值 电极结构 敏感膜 电极杆 智能变送器 
一种棱镜otto型SPR甲烷气体传感器设计
《中国科技信息》2024年第2期119-121,共3页郭才城 
本文针对引起煤矿瓦斯爆炸的甲烷气体检测需求,提出一种基于otto结构的棱镜表面等离子体共振传感器。利用有限元法仿真分析了传感器的传感性能,研究了传感器结构参数对传感器性能的影响。在此基础上,通过在金属层表面修饰甲烷气体敏感膜...
关键词：表面等离子体共振传感器 甲烷气体传感器 传感器性能 敏感膜 传感器结构参数 金属层 SPR 棱镜 
MEMS麦克风芯片级技术原理专利分析
《中国科技信息》2023年第23期15-18,共4页高雅 叶会 薛文婷 
在MEMS麦克风领域,麦克风芯片按照工作原理可以分为电容式、压电式以及新型结构。其中电容式MEMS麦克风通常由一片极薄的敏感膜(通常称为振膜)和一个带电极板(通常称为背板)构成电容结构,其通过敏感膜和极板间的电容变化来探测声音振动...
关键词：敏感膜 压力传感器 电容变化 压电效应 压电材料 压电薄膜 压电式 电极板 
生物质基敏感膜的制备及湿度传感性能分析实验教学设计
《实验技术与管理》2023年第9期207-213,共7页唐丽荣 吕建华 陈博 王梦琳 卢贝丽 
福建农林大学金山学院第三批院级课程思政教育教学改革研究项目(jx220406);福建农林大学研究生教育教学改革研究项目(712018270378,69915001016);福建农林大学2021年本科教育教学改革研究重点项目(111421030);国家自然科学基金青年项目(32001267)。
文章以松香酸铜(copper abietate,Cu-A)和纳米纤维素(cellulose nanocrystals,CNCs)这两个具有独特化学结构的天然可再生资源为石英晶体微天平湿度传感材料,设计了松香酸铜/纳米纤维素(Cu-A/CNCs)复合敏感膜材料的优化合成、数据分析、...
关键词：创新实验 松香酸铜 纳米纤维素 湿度传感器 创新实践能力 
基于表面修饰多孔二氧化钛的pH敏感膜
《微纳电子技术》2022年第6期522-528,共7页施肖锋 侯晓雅 刘雷 张婕 
柔性、小型化pH检测在医药、工业、食品和环保等领域有着良好的应用前景。研究了基于表面修饰多孔二氧化钛的延伸场效应晶体管的pH敏感性。通过硅烷偶联剂及其后处理,对二氧化钛表面进行修饰,得到pH敏感官能团。通过旋涂法将敏感材料旋...
关键词：多孔二氧化钛 敏感膜 柔性材料 表面修饰 PH检测 
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