压电薄膜

作品数:458被引量:1494H指数:16
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相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者:欧欣庞慰乔东海汤亮黄凯更多>>
相关机构:中国科学院电子科技大学株式会社村田制作所浙江大学更多>>
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船舶机舱低频振动噪声俘能系统
《机械设计》2025年第2期16-22,共7页曹屹锋 葛畅 马旋 
国家级大学生创新创业训练计划项目(202110217051,202210217036,202310217108)。
船舶机舱内各类动力机械存在着剧烈振动和大量噪声,根据振动和噪声能量的可利用性,采用压电、电磁学技术和理论声学等研究方法,设计了一套针对于船舶机舱振动和噪声能量收集利用的复合式发电装置。该装置由振动俘能模块、声音俘能模块...
关键词:复合式发电 亥姆霍兹共鸣器 压电陶瓷 压电薄膜 电磁结构 
基于PVDF压电薄膜的柔性高g值加速度传感器
《微纳电子技术》2025年第2期150-158,共9页杨晓鹏 范志强 臧清高 马万里 
山西省基础研究计划(202403021211157);山西省高校青年学术带头人项目(2024Q023);省部共建动态测试技术国家重点实验室开放研究基金(2022-SYSJJ-06)。
穿透引爆装置是武具控制系统中的核心部件,它能够测量火工品在穿透过程中的加速度过载。然而,传统的加速度传感器与引爆装置间一般选用刚性连接,这会造成高频振荡的传播,导致过载脉冲信号粘连、失准。基于聚偏二氟乙烯(PVDF)压电薄膜,...
关键词:穿透引爆装置 高g值加速度传感器 聚偏二氟乙烯(PVDF) 柔性过载测试 预应力 
一种低频高灵敏度压电MEMS声接收器设计
《压电与声光》2025年第1期28-31,58,共5页王登攀 黄晶 赵德锋 王飞 王露 刘文怡 苗晋威 张立宇 袁宇鹏 胡义东 
为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高...
关键词:压电薄膜 微机电系统(MEMS) 声接收器 
高掺钪AlN压电薄膜HBAR器件及工艺研究
《传感器与微系统》2025年第1期76-79,共4页赵佳 姜文铮 周琮泉 母志强 
上海市自然科学基金资助项目(21ZR1474500);上海市集成电路科技支撑专项基金资助项目(20DZ1100603)。
本文研究了高掺钪氮化铝(Al_(x) Sc_(1-x) N)压电薄膜高次谐波体声波谐振器(HBAR)的设计仿真与关键制备工艺。仿真研究了钪掺杂对压电材料和HBAR器件性能影响,研究表明:30%钪组分的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜能够提升谐振器近5倍的有效机...
关键词:掺钪氮化铝 高钪掺杂 压电薄膜 电感耦合等离子体刻蚀 高次谐波体声波谐振器 
薄膜型压电复合驱动器输出特性研究
《仪表技术与传感器》2025年第1期45-50,共6页王兴 邹赫麟 
山西省科技厅基础研究计划青年基金(202203021212017);太原学院引进人才科研启动项目(24TYKY223);国家自然科学基金(51775088)。
针对压电驱动结构输出振幅小的问题,基于压电方程与力学理论,构建了“弹簧结构”压电驱动器输出振幅解析模型,研究了复合基板厚度h与压电薄膜厚度h p对输出振幅的影响规律。理论研究表明:h<0.8h p时,驱动器输出振幅随复合基板厚度增大...
关键词:驱动器 压电薄膜 理论模型 振幅 振动测试 复合基板 
用于智能包装及物流监控的PVDF压电薄膜传感器研究
《传感技术学报》2024年第11期1856-1863,共8页魏昌洲 唐霞 张韬 张一帆 
江苏自然科学基金项目(BK20201142);国家自然科学基金项目(51605280);江苏省高等教育教改研究立项课题项目(2021JSJG464);江苏省产学研合作项目(BY2019043)。
在物联网+时代,物流运输监管需要包装智能化。智能包装能够记录运输过程中的物流信息,并提供给用户及监管部门。结合现有包装生产技术,研制一种低成本、一次性使用、可量产的柔性压电传感器十分必要。用PVDF压电墨水,通过涂布的方法在...
关键词:柔性压电传感器 PVDF墨水 涂布印刷 智能包装 
基于柔性压电薄膜的可穿戴脉搏传感器设计
《电子测量与仪器学报》2024年第10期35-47,共13页曹从军 赖凯旋 王旭升 夏卫民 时金祥 
国家重点研发计划项目(SQ2023YFB3200021)项目资助。
针对传统脉搏传感器存在的穿戴不适、携带不便以及精度不高等问题,本文设计一种基于P(VDF-TrFE)柔性压电薄膜的可穿戴脉搏传感器,旨在实现人体脉搏信号的连续检测,为心血管疾病的预防和治疗提供有力支持。首先,采用溶液流延法制备P(VDF-...
关键词:P(VDF-TrFE)压电薄膜 脉搏检测 圆形阵列式传感器 信号调理电路 可穿戴设备 
GIS局部放电声信号仿真分析及故障定位系统设计被引量:1
《实验室研究与探索》2024年第10期94-99,共6页张晓鹏 朱苛娄 武琼 赵辉 陈浩敏 梁锦照 
南方电网公司科技项目(GZHKJXM20200002)。
针对气体绝缘全封闭组合电器(GIS)内部绝缘放电故障定位难题,基于独立声检测传感技术,提出GIS局部放电准确监测方案。对GIS内部放电声信号传播机理进行了仿真分析,结合压电薄膜材料和声检测传感技术设计了一种高灵敏度声学传感器;搭建GI...
关键词:气体绝缘开关 放电故障 压电薄膜传感器 故障定位 
基于MEMS声发射传感器的齿轮故障检测系统
《压电与声光》2024年第5期638-643,共6页张继轩 豆涵杰 刘涛 李志浩 杨晓 张明洋 毛宇宸 牟笑静 
国家重点研发计划(2021YFB2012100)。
声发射传感器广泛应用于装备实时健康检测,而传统使用的压电陶瓷换能器存在体积大、能耗高、难集成及成本高等问题,因此设计了基于ScAlN的六边形压电薄膜声发射传感器。该传感器的体积为Φ18 mm×6 mm,在40~500 kHz带宽内,其表面波和纵...
关键词:微机电系统(MEMS) 压电薄膜超声换能器 声发射 声阻抗匹配 齿轮故障检测 
基于压电信号的复合材料疲劳寿命评估方法
《复合材料学报》2024年第9期4897-4908,共12页肖玉善 吴振 任晓辉 
国家自然科学基金(12172295)。
复合材料结构应变特征随着疲劳加载发生变化,因此本文尝试实时监测疲劳周期内复合材料结构的应变特征信号,通过应变信号评估结构疲劳寿命。然而已有研究表明,电阻式应变片在长时间动态测试中经常出现提前疲劳失效,不适合疲劳全周期内应...
关键词:复合材料 剩余刚度 疲劳 PVDF压电薄膜 疲劳评估 随机森林回归 
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