微机械电子系统

作品数：62被引量：159H指数：6
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：陈健陈德勇王军波刘晓为刘恒更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所西安交通大学西北工业大学哈尔滨工业大学更多>>
相关期刊：《高科技与产业化》《弹道学报》《北京航空航天大学学报》《传感技术学报》更多>>
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低功耗检测CO_(2)的MEMS红外光源结构设计与仿真
《红外技术》2024年第8期858-863,共6页滕雪松 禹胜林 魏志杰 房村 熊思娴 王梦婷 
传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构...
关键词：微机械电子系统 红外光源 低功耗 稳固结构 
微机械电子系统研究生双语混合教学的教改与探索
《中国教育技术装备》2023年第22期140-141,145,共3页刘凤丽 曾鹏飞 
沈阳理工大学研究生教育综合改革立项项目“微机械电子系统(双语)精品课建设”(项目编号:2021JPK006);沈阳理工大学研究生教育综合改革立项项目“校企联合机械专业学位研究生培养机制研究”(项目编号:2021Y050151);辽宁省教育厅研究生教育教学改革研究项目“校企协同机械专业学位研究生实践创新能力培养路径研究”(项目编号:LNYJG2022101)。
微机械电子系统是机电工程及相关方向的研究生专业基础课,具有前沿性强、国际化程度高、多学科交叉的特点,双语教学是向学生传授本领域最新成果的理想教学方式。对双语教材、教学大纲的编写、网络平台的建设进行了总结。增加案例式教学...
关键词：微机械电子 双语教学 混合式教学 案例式教学 
基于EMD的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法被引量：17
《北京航空航天大学学报》2021年第9期1927-1932,共6页李文华 汪立新 沈强 李成 
陕西省自然科学基础研究计划(2020JQ-491)。
为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用...
关键词：微机械电子系统(MEMS)陀螺仪 自适应卡尔曼滤波(AKF) 时间序列模型 ALLAN方差 经验模态分解(EMD) 
低功耗一氧化碳传感器研究进展被引量：3
《工矿自动化》2021年第7期72-78,共7页王海波 
天地科技股份有限公司科技创新创业资金专项项目(2019-TD-ZD007)。
低功耗一氧化碳传感器是煤炭安全开采的重要保障和分布式无线传感技术的关键基础。阐述了低功耗一氧化碳传感器的工作原理,重点介绍了电化学和半导体一氧化碳传感器的最新研究进展,分析了它们的优缺点,展望了低功耗一氧化碳传感器的发...
关键词：分布式无线传感 低功耗一氧化碳传感器 电化学一氧化碳传感器 半导体一氧化碳传感器 微机械电子系统 
低功耗甲烷传感器研究进展被引量：9
《工矿自动化》2021年第5期16-23,共8页王海波 
天地科技股份有限公司科技创新创业资金专项项目(2019-TD-ZD007)。
针对分布式无线甲烷传感器需功耗低、微型化、响应时间短、可靠性高、安全性好的要求,介绍了基于微机械电子系统技术和纳米材料的低功耗催化燃烧式、热导式、电导式甲烷传感器的工作原理和研究进展,分析了它们的优缺点,展望了低功耗甲...
关键词：甲烷传感器 催化燃烧式甲烷传感器 热导式甲烷传感器 电导式甲烷传感器 低功耗 纳米材料 微机械电子系统 
基于微机械电子技术的黏度测量传感器被引量：5
《机械工程学报》2021年第8期13-22,共10页黄琳雅 赵立波 罗国希 李支康 吴德志 林启敬 杨萍 蒋庄德 
国家自然科学基金(51890884,51875449);中央高校基本科研业务费(xpt012020004);国家重大研究计划(2020YFB2009100)资助项目。
黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传...
关键词：流体黏度 测量方法 微机械电子系统 谐振 
高速芯片定制化单元仿真与后端整体互连仿真研究被引量：1
《信息系统工程》2021年第1期137-139,共3页葛羽屏 顾晓清 
论文研究在高速芯片RF精确的等效电路仿真领域,用合适的三维仿真引擎,对不断更新的系统芯片SIP(System In a Package系统级封装)进行参数提取分析。针对带有MEMS芯片的功能芯片系统,使用全波混合仿真定制方案,用有针对性的仿真工具和仿...
关键词：集成电路仿真 射频 MEMS(微机械电子系统) SIP(系统级封装) DIE to PACKAGE(裸芯片封装) 等效电路 SI(信号完整性) 
电子信息在机械系统中的应用研究——评《微机械电子系统及其应用》被引量：1
《铸造》2021年第1期135-135,共1页秦秀常 
电子信息行业作为一个新兴行业,是在通信技术、存储技术、计算机技术和互联网技术迅速发展之后衍生而来的,与这些高新技术行业都有着密不可分的联系。电子信息技术近年来发展极其迅速,主要应用于通信、计算机等现代化技术领域,实现信息...
关键词：电子信息 计算机技术 微机械电子系统 存储技术 高新技术行业 信息获取 信息处理 机械系统 
基于支持度的椭球拟合微机械电子系统加速度计现场标定方法研究被引量：2
《兵工学报》2020年第1期68-74,共7页周泉 姚敏立 沈晓卫 
国家自然科学基金项目(61179005)
为解决微机械电子系统(MEMS)中加速度计的零位漂移误差、标度因数误差和交叉耦合误差随时间推移而变化的问题,提出一种基于支持度的椭球拟合MEMS加速度计现场标定方法。该方法能够在室外进行简单、快捷和高效的标定,其本质是在传统的椭...
关键词：微机械电子系统加速度计 支持度 椭球拟合 现场标定 误差补偿 
基于MEMS传感器的道面坡度提取方法被引量：2
《传感技术学报》2019年第7期1050-1055,共6页苏志刚 吴柳莉 郝敬堂 
中央高校基本科研业务费中国民航大学专项项目(3122017111)
道面坡度测量对于精细化导航系统及场面运行模拟系统的开发具有重要的意义。采用微机械电子系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器进行加速度估计的方法提取道面坡度通常需要增加额外的传感器,同时还会受到累积误差的困扰。...
关键词：微机械电子系统传感器 坡度提取 零加速状态检测 旋转四元数 
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